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PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列的市场前景
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作者 孙志君 《传感器世界》 2000年第10期1-8,共8页
本文全面深入地分析了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列技术的市场前景。从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi阵列与InSb和HgCdTe阵列技术作了详细的比较,评述了PtSi阵列技术的发展现状和面临... 本文全面深入地分析了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列技术的市场前景。从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi阵列与InSb和HgCdTe阵列技术作了详细的比较,评述了PtSi阵列技术的发展现状和面临的现实,分析了PtSi阵列技术的应用范围,目前面临的市场状况和可预料的今后时间内PtSi阵列技术的前景。 展开更多
关键词 ptsi阵列 肖特基势垒 红外焦平面 红外探测
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256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究 被引量:1
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作者 陈四海 易新建 +2 位作者 王宏臣 孔令彬 马宏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期340-342,共3页
基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单... 基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了 2 .0倍 . 展开更多
关键词 ptsi红外焦平面阵列 微透镜阵列 单片集成技术 标量衍射 信噪比
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国外PtSi-SBIRFPA的技术进展及市场前景
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作者 程开富 《四川真空》 2003年第1期45-55,共11页
本文全面深入地介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列(PtSi-SBIRFPA)的技术进展及市场前景.从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi单片式红外焦平面陈列(PtSi-MIRFPA)与InSb和HgCdTe混合式红... 本文全面深入地介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列(PtSi-SBIRFPA)的技术进展及市场前景.从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi单片式红外焦平面陈列(PtSi-MIRFPA)与InSb和HgCdTe混合式红外焦平面阵列(InSb和HgCdTeHIRFPA)技术作了详细的比较,评述了PtSi-MIRFPA技术的发展现状和面临的现实,分析了PtSi-MIRFPA技术的应用范围,目前的市场状况和今后的技术前景。 展开更多
关键词 ptsi肖特基势垒红外焦平面阵列 ptsi-SBIRFPA 红外探测器 红外辐射信号 像素 响应
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