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脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望 被引量:8
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作者 戢明 宋全胜 曾晓雁 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-26,共5页
综述了脉冲激光沉积 (PLD)薄膜技术的研究现状 ,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分 :PLD法沉积薄膜的机理 ,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料 ,分别进行了阐述 ,对相关的研究工作提出了建议 。
关键词 脉冲激光沉积 薄膜 激光激发等离子体 制备
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超短脉冲激光与液滴相互作用过程物理机理研究进展 被引量:1
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作者 唐懋 张冲 +2 位作者 孙牧文 张宏超 陆健 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第25期3322-3334,共13页
超短脉冲激光与液滴相互作用在激光大气传输、光谱增强、极紫外光源以及生物医学等中扮演着重要的角色.这些应用背后涉及多个物理过程,包括等离子体的产生与演化、等离子体的能量沉积、相变和流体动力学等.经过几十年的发展,这一现象背... 超短脉冲激光与液滴相互作用在激光大气传输、光谱增强、极紫外光源以及生物医学等中扮演着重要的角色.这些应用背后涉及多个物理过程,包括等离子体的产生与演化、等离子体的能量沉积、相变和流体动力学等.经过几十年的发展,这一现象背后的物理机理研究已取得巨大进步,助力了相关实际应用的进步,尤其是激光大气传输中的雾霾清除和纳米光刻中极紫外光源的产生.本文综述了超短激光与液滴相互作用物理机理的研究进展,围绕主要物理过程展示最新的研究成果,重点阐释了液滴内部等离子体演化、液滴击穿光谱、超短脉冲激光在大气中的传输、等离子体能量沉积、相变以及液滴形变等现象背后的物理机理,并对当前研究中存在的不足进行了总结,对未来发展进行了展望. 展开更多
关键词 超短脉冲激光 液滴 激光诱导等离子体 强场电离 液滴形变
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