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脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望
被引量:
8
1
作者
戢明
宋全胜
曾晓雁
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期22-26,共5页
综述了脉冲激光沉积 (PLD)薄膜技术的研究现状 ,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分 :PLD法沉积薄膜的机理 ,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料 ,分别进行了阐述 ,对相关的研究工作提出了建议 。
关键词
脉冲激光沉积
薄膜
激光激发等离子体
制备
下载PDF
职称材料
超短脉冲激光与液滴相互作用过程物理机理研究进展
被引量:
1
2
作者
唐懋
张冲
+2 位作者
孙牧文
张宏超
陆健
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第25期3322-3334,共13页
超短脉冲激光与液滴相互作用在激光大气传输、光谱增强、极紫外光源以及生物医学等中扮演着重要的角色.这些应用背后涉及多个物理过程,包括等离子体的产生与演化、等离子体的能量沉积、相变和流体动力学等.经过几十年的发展,这一现象背...
超短脉冲激光与液滴相互作用在激光大气传输、光谱增强、极紫外光源以及生物医学等中扮演着重要的角色.这些应用背后涉及多个物理过程,包括等离子体的产生与演化、等离子体的能量沉积、相变和流体动力学等.经过几十年的发展,这一现象背后的物理机理研究已取得巨大进步,助力了相关实际应用的进步,尤其是激光大气传输中的雾霾清除和纳米光刻中极紫外光源的产生.本文综述了超短激光与液滴相互作用物理机理的研究进展,围绕主要物理过程展示最新的研究成果,重点阐释了液滴内部等离子体演化、液滴击穿光谱、超短脉冲激光在大气中的传输、等离子体能量沉积、相变以及液滴形变等现象背后的物理机理,并对当前研究中存在的不足进行了总结,对未来发展进行了展望.
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关键词
超短脉冲激光
液滴
激光诱导等离子体
强场电离
液滴形变
原文传递
题名
脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望
被引量:
8
1
作者
戢明
宋全胜
曾晓雁
机构
华中科技大学激光技术国家重点实验室
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期22-26,共5页
文摘
综述了脉冲激光沉积 (PLD)薄膜技术的研究现状 ,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分 :PLD法沉积薄膜的机理 ,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料 ,分别进行了阐述 ,对相关的研究工作提出了建议 。
关键词
脉冲激光沉积
薄膜
激光激发等离子体
制备
Keywords
pulsed laser deposition
,
laser induced plasma
,
droplet
,
particulate
分类号
TB43 [一般工业技术]
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
超短脉冲激光与液滴相互作用过程物理机理研究进展
被引量:
1
2
作者
唐懋
张冲
孙牧文
张宏超
陆健
机构
南京理工大学理学院
香港大学物理系
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第25期3322-3334,共13页
基金
国家自然科学基金(11774176)资助。
文摘
超短脉冲激光与液滴相互作用在激光大气传输、光谱增强、极紫外光源以及生物医学等中扮演着重要的角色.这些应用背后涉及多个物理过程,包括等离子体的产生与演化、等离子体的能量沉积、相变和流体动力学等.经过几十年的发展,这一现象背后的物理机理研究已取得巨大进步,助力了相关实际应用的进步,尤其是激光大气传输中的雾霾清除和纳米光刻中极紫外光源的产生.本文综述了超短激光与液滴相互作用物理机理的研究进展,围绕主要物理过程展示最新的研究成果,重点阐释了液滴内部等离子体演化、液滴击穿光谱、超短脉冲激光在大气中的传输、等离子体能量沉积、相变以及液滴形变等现象背后的物理机理,并对当前研究中存在的不足进行了总结,对未来发展进行了展望.
关键词
超短脉冲激光
液滴
激光诱导等离子体
强场电离
液滴形变
Keywords
ultrashort
laser
pulse
droplet
laser
-
induced
plasma
strong field ionization
droplet
deformation
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望
戢明
宋全胜
曾晓雁
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
8
下载PDF
职称材料
2
超短脉冲激光与液滴相互作用过程物理机理研究进展
唐懋
张冲
孙牧文
张宏超
陆健
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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