石英谐振式力传感器及几个工程问题的研究

本文介绍了一种高准确度石英谐振式力传感器，针对其在工程化过程中遇到的一系列问题，从理论到实验进行了研究，解决了组合式结构石英传感器的蠕变问题，并研究了传感器的稳定性与谐振器厚度及支撑状况的关系。

石英谐振式力传感器及其稳定性的研究

介绍了一种高精度石英谐振式力传感器，对敏感器件——谐振器、膜片及力传递系数进行了研究、设计与计算，从理论到实验对传感器的稳定性进行了研究，指出增加谐振器厚度及改善谐振器支撑条件均可提高传感器的稳定性和临界载荷。

双膜片石英谐振式力传感器设计及其性能研究

将石英谐振器分别假设为正交各向异性体和各向同性体 ,利用有限元法对其进行失稳时临界力的计算和分析 ,得出了传感器结构稳定性与谐振器厚度及支撑条件的关系。在此基础上 ,对传感器结构进行了改进 ,并对单、双膜片结构传感器的各种性能进行了实验研究 ,得出如下结论 :传感器由单膜片结构改制成双膜片结构后 ,其非线性误差、滞后误差、重复性误差和蠕变误差普遍降低 ,滞后和重复性指标的提高尤为显著 ;另外 ,双膜片结构传感器的抗偏载及横向冲击能力大大增强 。