差动式石英谐振力传感器

】利用ＡＴ切型的厚度剪切石英晶体谐振器沿不同方向施加外力时，将会获得不同的灵敏度这一特点，本文研究了一种新型的差动石英谐振式力敏传感器。将两个同频率的敏感石英谐振器以对称简支方式固定在传感器内，使外力分别沿两个敏感谐振器的ｘ轴和ｚ′轴作用，产生两个方向相反的频率变化，通过电路混频，形成差动输出。分析结果表明，采用这种差动方式将使传感器性能得到明显提高。