太阳能硅料化学清洗研究进展

多晶硅作为太阳能光伏发电的主要材料,在太阳能光伏产业市场迅速发展的大背景下,对硅料清洁度的需求也逐步增加。化学清洗是目前硅料清洗的主要方法。本文综述了近年来硅料化学清洗的基本方法(RCA)及根据硅料的不同由RCA法发展出的其他化学清洗方法。