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红光RCLED研究与进展 被引量:1
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作者 杨启伟 李建军 《照明工程学报》 2021年第2期36-43,共8页
谐振腔发光二极管(Resonant Cavity Light-emitting Diode,RCLED)利用谐振腔改变自发辐射的空间分布,使其具有效率高、方向性好、光谱半宽窄及波长稳定等优点。基于AlGaInP材料的红光RCLED不但在短程光通讯领域已得到广泛应用,而且在高... 谐振腔发光二极管(Resonant Cavity Light-emitting Diode,RCLED)利用谐振腔改变自发辐射的空间分布,使其具有效率高、方向性好、光谱半宽窄及波长稳定等优点。基于AlGaInP材料的红光RCLED不但在短程光通讯领域已得到广泛应用,而且在高效率红光Micro LED方向也有良好的应用前景。本文针对课题组近年来的工作,阐述了RCLED基本原理,总结了高效率红光RCLED、面向POF的红光RCLED以及Micro-RCLED的研究进展。 展开更多
关键词 谐振腔发光二极管 POF的红光rcled Micro-rcled 高效率红光rcled
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RCLED单色光源在物理实验中应用的可行性研究 被引量:4
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作者 张明轩 屈双惠 +1 位作者 吴淑花 张玮 《中国照明电器》 2010年第7期8-10,共3页
谐振腔发光二极管(Resonant Cavity LED,RCLED)是一种新型发光二极管,它具备了普通发光二极管和垂直腔面半导体激光器的优点,使半导体光源的单色性和波长稳定性都有了质的变化。由于谐振腔的限制,RCLED光谱的半高宽(Full Width at Half ... 谐振腔发光二极管(Resonant Cavity LED,RCLED)是一种新型发光二极管,它具备了普通发光二极管和垂直腔面半导体激光器的优点,使半导体光源的单色性和波长稳定性都有了质的变化。由于谐振腔的限制,RCLED光谱的半高宽(Full Width at Half Maximum,FWHM)比普通发光二极管窄95%以上;另外,由于RCLED的谐振腔受温度等外因条件影响极小,光源也具有非常好的波长稳定性。这使RCLED作为单色光源在物理实验中应用成为可能。 展开更多
关键词 rcled FWHM 单色光源 波长漂移
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激光剥离GaN表面的抛光技术 被引量:1
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作者 应磊莹 刘文杰 +2 位作者 张江勇 胡晓龙 张保平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期758-762,共5页
激光剥离(LLO)技术是研制新型氮化镓(GaN)基谐振腔结构光电子器件的关键技术。然而LLO后的GaN表面往往具有较大的粗糙度,而制作谐振腔结构器件需要很高的表面平整度,因此需要对LLO后的GaN表面进行抛光。分别采用金刚石粉抛光液和胶粒二... 激光剥离(LLO)技术是研制新型氮化镓(GaN)基谐振腔结构光电子器件的关键技术。然而LLO后的GaN表面往往具有较大的粗糙度,而制作谐振腔结构器件需要很高的表面平整度,因此需要对LLO后的GaN表面进行抛光。分别采用金刚石粉抛光液和胶粒二氧化硅抛光液进行机械抛光和化学机械抛光(CMP),并对比了两种方法获得的抛光结果,研究发现前者会在抛光后的GaN表面引入划痕,而采用后者可以得到亚纳米级平整度的表面。进一步的实验结果表明,胶粒二氧化硅抛光液同样适用于图形化衬底外延片激光剥离后的GaN表面抛光。 展开更多
关键词 激光剥离(LLO) GAN 化学机械抛光(CMP) 垂直结构发光二极管(VSLED) 谐振腔发光二极管(rcled) 垂直腔面发射激光器(VCSEL)
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顶部反射镜对GaN基共振腔发光二极管性能的影响研究
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作者 赵淑钰 徐滨滨 +1 位作者 赵振宇 吕雪芹 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期229-236,共8页
本文在GaN基共振腔发光二极管(RCLED)顶部设计制备了高反膜结构分布式布拉格反射镜(DBR)和滤波器结构DBR,对比分析了两种反射镜的反射率曲线特征以及对应的RCLED器件的光输出纵模模式、光谱线宽和输出光强等性能差异,详细研究了顶部反... 本文在GaN基共振腔发光二极管(RCLED)顶部设计制备了高反膜结构分布式布拉格反射镜(DBR)和滤波器结构DBR,对比分析了两种反射镜的反射率曲线特征以及对应的RCLED器件的光输出纵模模式、光谱线宽和输出光强等性能差异,详细研究了顶部反射镜的光反射特性对RCLED器件输出光谱性能的影响机理.研究结果表明,顶部反射镜是RCLED的重要组成部分,其反射率曲线特征决定器件的光输出性能.常规高反膜结构DBR顶部反射镜的反射率曲线具有较宽的高反射带,将其作为顶部反射镜可有效压窄RCLED发光纵模线宽,但是发光光谱仍呈现多纵模光输出特征.滤波器结构DBR顶部反射镜的反射率曲线在中心波长处具有较窄的透光凹带,利用透光凹带对输出光的调制作用,器件可实现单纵模光输出,在光通信、光纤传感等领域展示了广阔的应用前景.通过进一步设计RCLED顶部反射镜结构,可以改变其反射率曲线特性,进而优化RCLED器件的输出光谱特性,以满足器件在多个领域的应用需求. 展开更多
关键词 GaN基rcled 高反膜结构DBR 滤波器结构DBR 单纵模发光
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Effect of the Cladding Layer Cavity on the Efficiency of 650 nm Resonant Cavity Light Emitting Diodes
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作者 Jianjun Li Tao Liu +1 位作者 Jiachun Li Xuan Ya 《Optics and Photonics Journal》 2013年第2期284-287,共4页
High efficiency 650 nm resonant cavity light emitting diodes (RCLEDs) with a cladding layer cavity are reported. The epitaxial structure is grown with a metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) system. Al 0.5Ga... High efficiency 650 nm resonant cavity light emitting diodes (RCLEDs) with a cladding layer cavity are reported. The epitaxial structure is grown with a metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) system. Al 0.5Ga 0.5 As/Al As is used for the distributed Bragg reflectors (DBRs), and GaInP/AlGaInP multiple-quantum wells for the active region. Two RCLED samples have been fabricated, one with a cladding layer cavity and the other without. Experimental results show that the cladding layer cavity can improve the internal quantum efficiency effectively, so that an external quantum efficiency of 7.4% at 20 mA is reached. Meanwhile, the sample with cladding layer cavity also shows a spectral stability as the injected current changing from 20 mA to 100 mA. 展开更多
关键词 650 NM rcled MOCVD DBR
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短波长谐振腔发光二极管外延及性能研究 被引量:1
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作者 尉吉勇 黄柏标 +5 位作者 秦晓燕 张晓阳 张琦 姚书山 朱宝富 李宪林 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1304-1306,1311,共4页
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长650 nm谐振腔半导体发光二极管(RCLED),利用光致发光(PL)谱和电致发光(EL)谱研究了其发光特性。由于上、下布拉格反射镜的影响,导致其PL强度只有普通LED的1/20;EL谱纯度有了很大提高,半峰宽(FW... 利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长650 nm谐振腔半导体发光二极管(RCLED),利用光致发光(PL)谱和电致发光(EL)谱研究了其发光特性。由于上、下布拉格反射镜的影响,导致其PL强度只有普通LED的1/20;EL谱纯度有了很大提高,半峰宽(FWHM)由普通LED的20 nm降到4 nm以下。最好的器件测试结果表明,可以在60 mA、2.71 V下,实现1.45 mW以上发射功率,最窄FWHM在3 nm。 展开更多
关键词 谐振腔半导体发光二极管(rcled) 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 光致发光(PL) 电致发光(EL)
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Epitaxy and Characteristics of Resonant Cavity LEDs at 650nm 被引量:1
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作者 康玉柱 李建军 +5 位作者 丁亮 杨臻 韩军 邓军 邹德恕 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期47-49,共3页
Resonant-cavity light-emitting diodes (RCLED) at 650 nm wavelength were grown by metal organic chemical vapor deposition. In order to improve the interface quality and reduce the device voltage, an A1GalnP material ... Resonant-cavity light-emitting diodes (RCLED) at 650 nm wavelength were grown by metal organic chemical vapor deposition. In order to improve the interface quality and reduce the device voltage, an A1GalnP material system has been chosen to grow the top DBRs. The emission properties of the RCLED were characterized by measuring PL and EL spectra. The average emission power of the device is 0.5 mW at 20 mA and 2.2 V, and its spectrum full .width at half maximum is about 10 nm. 展开更多
关键词 rcled MOCVD PL spectrum EL spectrum
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