基于反射电子能量损失谱的Zn光学性质研究

本文首先通过分析低能电子的反射电子能量损失谱(REELS)获取了Zn的有效能量损失函数Im{-1/eεff(ω)},进而借助Kramers-Kronig分析得到了Zn的介电函数和光学常数。该光学常数不是通常的体光学常数,包含了表面和体的两部分贡献。根据反射电子在材料内的穿透深度可知,用本方法计算出的Zn的光学常数适用于膜厚在10nm内的材料。