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High-performance RF Switch in 0.13 μm RF SOI process 被引量:3
1
作者 Hong Guan Hao Sun +3 位作者 Junlin Bao Zhipeng Wang Shuguang Zhou Hongwei Zhu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2019年第2期25-28,共4页
A high-performance single-pole single-throw(SPST) RF switch for mobile phone RF front-end modules(FEMs) was designed and characterized in a 0.13 μm partially depleted silicon-on-insulator(PD SOI) process. In this pap... A high-performance single-pole single-throw(SPST) RF switch for mobile phone RF front-end modules(FEMs) was designed and characterized in a 0.13 μm partially depleted silicon-on-insulator(PD SOI) process. In this paper, the traditional seriesshunt configuration design was improved by introducing a suitably large DC bias resistor and leakage-preventing PMOS, together with the floating body technique. The performance of the RF switch is greatly improved. Furthermore, a new Ron × Coff testing method is also proposed. The size of this SPST RF switch is 0.2 mm2. This switch can be widely used for present 4 G and forthcoming 5 G mobile phone FEMs. 展开更多
关键词 rf SWITCH soi INSERTION loss ISOLATION LINEARITY
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一种新的解析提取RF SOI MOS变容管衬底模型参数的方法
2
作者 沈国荣 陈小川 刘军 《中国集成电路》 2015年第6期59-64,共6页
本文提出一种适用于RF SOI工艺MOS变容管行为表征的新模型。提出的模型考虑了SOI衬底的物理特性,并给出了解析提取衬底寄生网络模型参数的方法。采用提出的模型,精确预见了RF SOI MOS变容管器件特性,测量和模型仿真结果,在20 GHz频率范... 本文提出一种适用于RF SOI工艺MOS变容管行为表征的新模型。提出的模型考虑了SOI衬底的物理特性,并给出了解析提取衬底寄生网络模型参数的方法。采用提出的模型,精确预见了RF SOI MOS变容管器件特性,测量和模型仿真结果,在20 GHz频率范围内得到很好的吻合。 展开更多
关键词 MOS变容管 衬底模型 解析提取
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辐照对PDSOI RF MOS体接触结构器件性能的影响
3
作者 刘梦新 刘刚 韩郑生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期863-867,共5页
基于抗辐照加固0.35μmPDSOI CMOS工艺制作了RF NMOS器件,研究了电离总剂量辐照对不同体接触结构、栅结构器件性能的影响。在其静态工作模式下,分别考虑了辐照对器件转移特性、泄漏电流、跨导及输出特性的影响;在其交流工作模式下,分别... 基于抗辐照加固0.35μmPDSOI CMOS工艺制作了RF NMOS器件,研究了电离总剂量辐照对不同体接触结构、栅结构器件性能的影响。在其静态工作模式下,分别考虑了辐照对器件转移特性、泄漏电流、跨导及输出特性的影响;在其交流工作模式下,分别考虑了辐照对其交流小信号电流增益、最大有效/稳定增益、截止频率和最高震荡频率的影响。试验结果表明,与同类非加固工艺器件相比,此种PDSOI RF NMOS抗辐照性能更好,其中以LBBC和LTS型体接触器件受电离总剂量辐照影响最小,并且可获得截止频率22.39 GHz和最高振荡频率29.19 GHz。 展开更多
关键词 部分耗尽 绝缘体上硅 电离总剂量辐照 射频 增益
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基于Silvaco的RFSOICMOS工艺仿真
4
作者 张剑 商世广 《纳米科技》 2013年第5期5-9,20,共6页
近年来,随着便携式系统和无线通讯系统的迅速发展,电子产品的消费已经转移到射频领域。这为SOI技术的应用开辟了广阔的前景:一方面,由于射频领域的便携式系统和无线通讯系统多数是使用电池作为能源的,因此降低系统功耗和驱动电压... 近年来,随着便携式系统和无线通讯系统的迅速发展,电子产品的消费已经转移到射频领域。这为SOI技术的应用开辟了广阔的前景:一方面,由于射频领域的便携式系统和无线通讯系统多数是使用电池作为能源的,因此降低系统功耗和驱动电压就成为需要解决的首要问题。在这方面,SOIcMOS技术由于寄生电容小而成为解决功耗问题的一项关键技术。另一方面,射频领域的发展要求集成水平和工作频率提高,藕合噪声问题变得更加关键。采用全氧隔离的SOICMOS技术实现了器件和基片之间的完全隔离,显著降低了高频RF和数字、混合信号器件之间的串扰现象,从而使藕合噪声问题得到很大改善。文章详细介绍了0.5umSOICMOS的工艺流程,并利用silvaco软件对工艺进行仿真。 展开更多
关键词 射频soi CMOS 工艺仿真 Silvaco
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RF-SOI技术应对RF技术革新 被引量:4
5
作者 刘燚 《集成电路应用》 2017年第11期35-37,共3页
2017国际RF-SOI论坛在上海召开。这次举办的2017国际RF-SOI论坛,是由上海新敖科技和国际SOI产业联盟共同主办,延续了2016年"物联网与5G"的主题,邀请了来自国内外的多位专家介绍国际最先进的RF-SOI技术和市场动态及趋势,推动国... 2017国际RF-SOI论坛在上海召开。这次举办的2017国际RF-SOI论坛,是由上海新敖科技和国际SOI产业联盟共同主办,延续了2016年"物联网与5G"的主题,邀请了来自国内外的多位专家介绍国际最先进的RF-SOI技术和市场动态及趋势,推动国内RF-SOI产业链的健康发展。本次论坛的主题是讨论在产业链各个环节建立SOI生态系统。 展开更多
关键词 集成电路制造 rf-soi 产业生态系统
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RFSOICMOS技术及其应用
6
作者 云振新 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第7期39-41,共3页
介绍了RF SOI CMOS技术的特点。着重论述了RF SOI CMOS技术的低串扰特性、低损耗特性及其优质无源元件的性能。最后,阐述了RF SOI CMOS技术在RF系统片上集成方面的应用情况。
关键词 soi rf系统级芯片 CMOS
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引入射频诱导效应的BCT PD-SOI MOSFET建模技术研究 被引量:1
7
作者 黎莹 王军 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第3期347-353,共7页
为了精确模拟高漏源电压(V_(DS))条件下体接触(Body Contact,BCT)部分耗尽型(Partial Depletion,PD)绝缘体上硅(Silicon-on-Insulator,SOI)MOSFET器件的异常射频诱导效应,建立了一个基于碰撞电离和寄生BJT机理的RL网络模型。首先分析了S... 为了精确模拟高漏源电压(V_(DS))条件下体接触(Body Contact,BCT)部分耗尽型(Partial Depletion,PD)绝缘体上硅(Silicon-on-Insulator,SOI)MOSFET器件的异常射频诱导效应,建立了一个基于碰撞电离和寄生BJT机理的RL网络模型。首先分析了SCBE模型的体区输出导纳参数,并利用该参数的解析式推导出一种电阻与电感串联的网络拓扑;然后基于直接提取法准确提取RL网络模型的参数;最后,通过仿真得出S21、S22参数分别在史密斯圆图的下半圆和上半圆按顺时针旋转的现象,同时在0.01~20 GHz范围内模型模拟的S参数与实测的S参数的相对误差为2.1%,验证了RL网络模型的有效性和准确性。 展开更多
关键词 BCT PD-soi MOSFET 小信号等效电路 射频诱导效应 S参数
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Performance Prospects of Fully-Depleted SOI MOSFET-Based Diodes Applied to Schenkel Circuit for RF-ID Chips
8
作者 Yasuhisa Omura Yukio Iida 《Circuits and Systems》 2013年第2期173-180,共8页
The feasibility of using the SOI-MOSFET as a quasi-diode to replace the Schottky-barrier diode in the Schenkel circuit is examined by device simulations primarily and experiments partly. Practical expressions of boost... The feasibility of using the SOI-MOSFET as a quasi-diode to replace the Schottky-barrier diode in the Schenkel circuit is examined by device simulations primarily and experiments partly. Practical expressions of boost-up efficiency for d. c. condition and a. c. condition are proposed and are examined by simulations. It is shown that the SOI-MOSFET-based quasi-diode is a promising device for the Schenkel circuit because high boost-up efficiency can be gained easily. An a. c. analysis indicates that the fully-depleted condition should hold to suppress the floating-body effect for GHz-level RF applications of a quasi-diode. 展开更多
关键词 rf-ID Schenkel CIRCUIT soi-MOSFET Quasi-Diode Low-Power
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低插入损耗高隔离度SOI射频开关电路的研究 被引量:5
9
作者 田亮 陈磊 +2 位作者 周进 黄爱波 赖宗声 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期653-656,共4页
基于0.18μm RF SOI CMOS工艺,提出了一种可广泛应用于无线通信系统中的低插入损耗高隔离度SOI射频开关电路。该电路利用SOI器件的特殊结构(隐埋氧化层BOX,高阻衬底)和特殊SOI器件(FB,BC,BT等),使电路采用的器件较之体硅CMOS器件具有更... 基于0.18μm RF SOI CMOS工艺,提出了一种可广泛应用于无线通信系统中的低插入损耗高隔离度SOI射频开关电路。该电路利用SOI器件的特殊结构(隐埋氧化层BOX,高阻衬底)和特殊SOI器件(FB,BC,BT等),使电路采用的器件较之体硅CMOS器件具有更优的隔离性能,实现了降低插入损耗和增加隔离度的目的。该电路经过模拟仿真,在频率为2.4GHz时,插入损耗和隔离度分别为-1dB和40dB。 展开更多
关键词 soi 射频开关 CMOS 低插入损耗 高隔离度
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基于CMOS SOI工艺的射频开关设计 被引量:7
10
作者 蒋东铭 陈新宇 +1 位作者 许正荣 张有涛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期142-145,162,共5页
采用0.18μm CMOS SOI工艺技术研制加工的单刀双掷射频开关,集成了开关电路、驱动器和静电保护电路。在DC^6GHz频带内,测得插入损耗0.7dB@2GHz、1dB@4GHz、1.5dB@6GHz,隔离度37dB@2GHz、31dB@4GHz、27dB@6GHz,在5GHz以内端口输入输出驻... 采用0.18μm CMOS SOI工艺技术研制加工的单刀双掷射频开关,集成了开关电路、驱动器和静电保护电路。在DC^6GHz频带内,测得插入损耗0.7dB@2GHz、1dB@4GHz、1.5dB@6GHz,隔离度37dB@2GHz、31dB@4GHz、27dB@6GHz,在5GHz以内端口输入输出驻波比≤1.5:1,输入功率1dB压缩点达到33dBm,IP3达到42dBm。可应用于移动通信系统。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体 绝缘衬底上硅 射频开关 驱动器 集成
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SOI在射频电路中的应用 被引量:2
11
作者 骆苏华 刘卫丽 +5 位作者 张苗 狄增峰 王石冶 宋志棠 孙晓玮 林成鲁 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期67-70,共4页
随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大。 SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性。与CMOS工艺的 兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示... 随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大。 SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性。与CMOS工艺的 兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示巨大优势。文章分析了RF电路 发展中遇到的挑战和SOI在RF电路中的应用优势,综述了SOI RF电路的最新进展。 展开更多
关键词 射频集成电路 高阻soi FD-soi CMOS SIMOX
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SOI和pHEMT双刀五掷开关对比设计与实现 被引量:1
12
作者 张志浩 黄亮 +1 位作者 余凯 章国豪 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期246-252,共7页
采用0.32μm CMOS-SOI工艺和D-mode 0.5μm GaAs pHEMT工艺设计了同一款双刀五掷射频开关,CMOS-SOI开关的设计应用了负压偏置电路和堆叠管子技术实现,GaAs pHEMT版本采用直流电压悬浮技术和三栅管与前馈电容技术实现。在0.9 GHz和1.9 GH... 采用0.32μm CMOS-SOI工艺和D-mode 0.5μm GaAs pHEMT工艺设计了同一款双刀五掷射频开关,CMOS-SOI开关的设计应用了负压偏置电路和堆叠管子技术实现,GaAs pHEMT版本采用直流电压悬浮技术和三栅管与前馈电容技术实现。在0.9 GHz和1.9 GHz时,SOI和pHEMT开关的插入损耗分别为0.41dB/0.65dB和0.27dB/0.52dB,隔离度分别为26.9dB/25.7dB和24.1dB/31.3dB。两个版本在输入功率为28dBm且频率为1.9GHz时,二次、三次谐波均小于-49dBm。 展开更多
关键词 双刀五掷射频开关 绝缘硅 高电子迁移率晶体管 插入损耗 隔离度 功率处理能力
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SOI横向栅控双极晶体管特性研究 被引量:1
13
作者 顾爱军 孙锋 洪根深 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期819-821,共3页
横向SOI双极技术具有工艺简单、寄生电容小等优势,被认为是射频领域最有希望的技术之一。为了得到可用于射频领域的SOI横向栅控双极晶体管特性,采用一种SOI横向栅控双极晶体管器件结构,研究范围包括工艺实现过程和器件性能特性。实验表... 横向SOI双极技术具有工艺简单、寄生电容小等优势,被认为是射频领域最有希望的技术之一。为了得到可用于射频领域的SOI横向栅控双极晶体管特性,采用一种SOI横向栅控双极晶体管器件结构,研究范围包括工艺实现过程和器件性能特性。实验表明,该器件工艺与平面CMOS工艺完全兼容,通过对栅端电压的控制,可以实现hFE在一个较大的范围内自由调节,具有更大的使用灵活性。 展开更多
关键词 soi 横向双极晶体管 射频
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RF-S01建模:一种精确的体接触RF-LDMOSFET大信号模型
14
作者 刘军 孙玲玲 +3 位作者 李文钧 钟文华 吴颜明 何佳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1786-1793,共8页
提出一种精确的体接触RF-SOI(radio frequency silicon-on-insulator)LDMOSFET(lateral double diffusedMOSFET)大信号等效电路模型.模型漏电流及偏置相关电容模型方程连续、任意阶次可导.发展出一种新的可满足电荷守恒栅源、栅漏电容模... 提出一种精确的体接触RF-SOI(radio frequency silicon-on-insulator)LDMOSFET(lateral double diffusedMOSFET)大信号等效电路模型.模型漏电流及偏置相关电容模型方程连续、任意阶次可导.发展出一种新的可满足电荷守恒栅源、栅漏电容模型.对漂移区电阻以及LDD(lightly doped drain)区下侧寄生效应偏置相关特性进行了考虑.对自热效应引起的热功率耗散以及跨导/漏导频率分布效应也作了考虑.模型最终应用到一20栅指(每指尺寸为长L=1μm,宽W=50μm)体接触高阻SOI RF-LDMOSFET建模中.测量和仿真所得I-V,S参数,谐波功率特性对比结果验证了模型具有良好的精度. 展开更多
关键词 rf-soi LDMOSFET 体接触 大信号模型 可导 谐波功率
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一种新的SOI射频集成电路结构与工艺
15
作者 杨荣 李俊峰 +1 位作者 钱鹤 韩郑生 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期569-571,共3页
 立足于与常规CMOS兼容的SOI工艺,提出了电子束/I线混合光刻制造SOI射频集成电路的集成结构和工艺方案。该方案只使用9块掩模版即完成了LDMOS、NMOS、电感、电容和电阻等元件的集成。经过对LDMOS、NMOS的工艺、器件的数值模拟和体硅衬...  立足于与常规CMOS兼容的SOI工艺,提出了电子束/I线混合光刻制造SOI射频集成电路的集成结构和工艺方案。该方案只使用9块掩模版即完成了LDMOS、NMOS、电感、电容和电阻等元件的集成。经过对LDMOS、NMOS的工艺、器件的数值模拟和体硅衬底电感的初步实验,获得了良好的有源和无源器件特性,证明这一简洁的集成工艺方案是可行的。 展开更多
关键词 soi工艺 射频集成电路 LDMOS NMOS 掩模版 光刻 硅衬底 集成工艺 CMOS 有源
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一种简化衬底模型的SOI MOS变容管模型
16
作者 李文钧 陈小川 刘军 《电子器件》 CAS 北大核心 2016年第6期1297-1301,共5页
提出一种适用于反型层RF SOI MOS变容管行为表征模型。在BSIMSOI的基础上,模型采用简化的衬底模型和外围射频寄生模型来表征变容管的射频寄生效应,同时采用T、π互转的方式提出参数提取算法。模型最终应用到华虹宏力SOI工艺提供的不同栅... 提出一种适用于反型层RF SOI MOS变容管行为表征模型。在BSIMSOI的基础上,模型采用简化的衬底模型和外围射频寄生模型来表征变容管的射频寄生效应,同时采用T、π互转的方式提出参数提取算法。模型最终应用到华虹宏力SOI工艺提供的不同栅指,每栅指长度为1.6μm、宽度为5μm的MOS变容管器件,并且在15 GHz以下,模型与测量数据的CV、QV以及S参数有较好的拟合。在高频情况下,模型既保证了精度又解决了参数提取困难等问题。 展开更多
关键词 soi MOS变容管 简化衬底模型 数据拟合 参数提取算法
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SOICMOS模拟集成电路发展概述 被引量:1
17
作者 刘忠立 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期384-389,共6页
 从SOICMOS模拟集成电路(IC)中存在的关键问题——浮体效应——及其影响出发,介绍了在解决浮体效应以后,已实现的有代表性的模拟集成电路的发展状况。特别指出了SOICMOS在实现RF电路及SOC芯片中的优点。
关键词 soi CMOS 模拟集成电路 浮体效应 SOC
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噪声系数最小1.6 dB有高带外抑制的5~6 GHz射频接收前端芯片
18
作者 傅海鹏 程志强 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期2192-2198,共7页
为了满足射频通信前端接收部分对高线性与带外信号抑制能力的要求,基于130 nm绝缘体上硅工艺设计并实现工作在5~6 GHz的射频接收前端芯片.该前端芯片由带有旁路和带外抑制功能的低噪声放大器(LNA)、射频开关和带隙基准偏置电路等组成.... 为了满足射频通信前端接收部分对高线性与带外信号抑制能力的要求,基于130 nm绝缘体上硅工艺设计并实现工作在5~6 GHz的射频接收前端芯片.该前端芯片由带有旁路和带外抑制功能的低噪声放大器(LNA)、射频开关和带隙基准偏置电路等组成.基于共源共栅结构的LNA,在输入匹配中使用LC陷波实现带外抑制;在偏置电路中,使用带隙基准电流源对LNA的偏置进行温度补偿,屏蔽电源纹波影响.对该前端芯片进行流片加工并测试,结果表明,当工作频率为5~6 GHz时,芯片的接收增益为13.4~14.0 dB,输入与输出反射系数均小于-10 dB,频带内的最小噪声系数为1.6 dB,在工作频率内1 dB压缩点的输入功率大于-4 dBm,输入三阶交调点大于+7 dBm.低噪声放大器在整个工作频段内无条件稳定,在2 V供电电压下电路的直流功耗为30 mW,芯片面积为0.56 mm2. 展开更多
关键词 低噪声放大器(LNA) 带外抑制 绝缘体上硅工艺 射频接收前端 有源偏置
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一种新型的SOI MOSFET衬底模型提取方法
19
作者 周文勇 刘军 汪洁 《电子器件》 CAS 北大核心 2016年第6期1302-1308,共7页
衬底寄生网络建模和参数提取,对RF SOI MOSFET器件输出特性的模拟有着非常重要的影响。考虑BOX层引入的体区和Si衬底隔离,将源、体和衬底短接接地,测试栅、漏二端口S参数的传统测试结构,无法准确区分衬底网络影响。提出一种改进的测试结... 衬底寄生网络建模和参数提取,对RF SOI MOSFET器件输出特性的模拟有着非常重要的影响。考虑BOX层引入的体区和Si衬底隔离,将源、体和衬底短接接地,测试栅、漏二端口S参数的传统测试结构,无法准确区分衬底网络影响。提出一种改进的测试结构,通过把SOI MOSFET的漏和源短接为信号输出端、栅为信号输入端,测试栅、漏/源短接二端口S参数的方法,把衬底寄生在二端口S参数中直接体现出来,并开发出一种解析提取衬底网络模型参数的方法,支持SOI MOSFET衬底网络模型的精确建立。采用该方法对一组不同栅指数目的SOI MOSFET进行建模,测量和模型仿真所得S参数在20 GHz频段范围内得到很好吻合。 展开更多
关键词 rf soi MOSFET 衬底模型 测试结构 参数提取
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改性离子注入高阻SOI衬底的共面波导特性研究
20
作者 程实 常永伟 +1 位作者 魏星 费璐 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2017年第6期70-74,共5页
因良好的射频性能,高阻SOI(High-Resistivity Silicon-on-Insulator,HR-SOI)被广泛应用于射频集成电路(RFICs)。通过提取共面波导传输线(Co-Plane Waveguide,CPW)的射频损耗来表征衬底材料的射频性能。高阻SOI衬底由于表面寄生电导效应(... 因良好的射频性能,高阻SOI(High-Resistivity Silicon-on-Insulator,HR-SOI)被广泛应用于射频集成电路(RFICs)。通过提取共面波导传输线(Co-Plane Waveguide,CPW)的射频损耗来表征衬底材料的射频性能。高阻SOI衬底由于表面寄生电导效应(Parasitic Surface Conductance,PSC),射频性能恶化。设计并制备了一种新型的改性结构来优化高阻SOI的射频性能,通过将硅离子注入到绝缘埋层中来消除表面寄生电导效应。在0~8 GHz范围内,传输线损耗优于时下业界最先进的TR-SOI的结果(Trap-Rich Layer Silicon-on-Insulator)。由于工艺简单,易于集成化,是极具潜力的射频SOI材料。 展开更多
关键词 高阻soi 共面波导传输线 射频损耗 表面寄生电导效应 硅离子注入 TR-soi
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