RF集成电路工艺探讨

射频集成电路的研究和制作将大大拓展集成电路的应用空间。本文介绍了当今RF设计的主流工艺 ,并分别对基于硅的深亚微米CMOS工艺在RF设计中的可行性和困难进行了研究 ,评述了其中存在的问题。