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纳米硅薄膜及纳米硅薄膜太阳电池 被引量:4
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作者 赵占霞 崔容强 +4 位作者 古丽娜 陈凤翔 储开芹 孟凡英 周之斌 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-26,共5页
综述了纳米硅薄膜及纳米硅薄膜太阳电池的制备方法、结构特性、光电特性等 ,显示出其有重要的应用前景。迄今为止 ,最好的纳米晶硅薄膜太阳电池的光电转换效率已达 8.7%。
关键词 太阳电池 纳米晶硅薄膜 rf溅射方法 rf—PECVD方法
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