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RTP硅太阳电池的研究进展
被引量:
2
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作者
查超麟
刘祖明
+2 位作者
陈庭金
李景天
张忠文
《云南师范大学学报(自然科学版)》
2003年第4期25-33,共9页
用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太...
用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太阳电池的发展过程 ,提出了 RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。
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关键词
rtp硅太阳电池
研究进展
快速热处理
快速扩散模型
制作工艺
扩散机理
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职称材料
题名
RTP硅太阳电池的研究进展
被引量:
2
1
作者
查超麟
刘祖明
陈庭金
李景天
张忠文
机构
云南师范大学能源与环境科学学院
云南半导体器件厂
出处
《云南师范大学学报(自然科学版)》
2003年第4期25-33,共9页
基金
国家"8 63"资助项目 ( 2 0 0 1 AA5 1 3 0 40 )
文摘
用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太阳电池的发展过程 ,提出了 RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。
关键词
rtp硅太阳电池
研究进展
快速热处理
快速扩散模型
制作工艺
扩散机理
Keywords
rtp
silicon solar cells
rapid thermal diffusion
crystalline silicon monocrystrlline silicon solar cells
multicrystalline silicon solar cells
分类号
TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
RTP硅太阳电池的研究进展
查超麟
刘祖明
陈庭金
李景天
张忠文
《云南师范大学学报(自然科学版)》
2003
2
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