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RTP硅太阳电池的研究进展 被引量:2
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作者 查超麟 刘祖明 +2 位作者 陈庭金 李景天 张忠文 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2003年第4期25-33,共9页
用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太... 用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太阳电池的发展过程 ,提出了 RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。 展开更多
关键词 rtp硅太阳电池 研究进展 快速热处理 快速扩散模型 制作工艺 扩散机理
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