分子泵叶轮装配过盈量设计与应力分析

动叶轮作为分子泵的关键部件,与芯轴过盈装配,要求在高速状态下仍保持一定的过盈量。本文计算了动叶轮在高速转动时的径向变形、过盈装配时的初始应力状态和转动时应力状态,根据径向变形量的差异和应力优化了装配过盈量,既保证了动叶轮转子强度又使过盈联接可靠。

径向微型分子泵结构设计及抽气性能仿真

微型分子泵用于航天器上微小型探测仪器的高真空环境获得。着眼于简化结构,减小体积与装配难度,面向径向微型分子泵,针对其核心部件——定转子进行结构设计,并利用ANSYS、COMSOL软件作仿真分析,探究定转子径向结构、叶片角度、节弦比等对泵抽气性能的影响;比较径向与轴向分子泵的抽气效果。结果表明,在同等抽气系统体积下,径向微型分子泵在获得高压缩比方面更具优势。

径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用

通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜工艺,是在扩散泵和涡轮分子泵抽气能力的制约下总结出来的。径流泵机组的问世,为多弧离子镀膜提供了更加宽广的镀膜工艺选择空间。这样就有必要对抽气工艺和镀膜工艺进行重组和优化,进一步提升多弧离子镀膜设备的性能和经济效益。