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Design of portable and intelligent infuser device for rapid fluid transfusion based on micro-electro-mechanical system 被引量:1
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作者 WANG Qing CHONG Yinbao +1 位作者 ZHAO An LIU Jiuling 《Journal of Medical Colleges of PLA(China)》 CAS 2013年第2期100-106,共7页
Objective:A novel portable and intelligent fluid resuscitation infuser is proposed in this paper. It satisfies the demands of long time use in harsh environment, such as traffic accident, natural disaster, battlefield... Objective:A novel portable and intelligent fluid resuscitation infuser is proposed in this paper. It satisfies the demands of long time use in harsh environment, such as traffic accident, natural disaster, battlefield, evacuation, pre-hospital emergency and so on. Methods:Miniature linear motor and liquid blood cartridge compose the pump body. It's based on the biological impedance method to measure and control, which resolve the disadvantage of traditional infuser device:large power dissipation, big size, AC power supply only and can't be use in field. The whole device weights 250 gram and sizes as two mobile phone together. Results:Model device experiment shows:six number 7 standard AAA size alkaline batteries will run the pump for approximately 8-10 h at 6 liters per hour; IV bag can be placed at any position of patient, even under the stretcher. Conclusion:It provides accurate and reliable intravenous infusion for first-aid treatment in 展开更多
关键词 输液装置 便携式 微机电系统 智能 注入器 输血 流体 设计
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Study of Piezoresistive Micro Electro-Mechanical Accelerometer Design Platform
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作者 张菁华 石庚辰 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2005年第3期289-292,共4页
According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresistive micro electro-mechanical accelerometer is given. This platform is much more adaptable to the ... According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresistive micro electro-mechanical accelerometer is given. This platform is much more adaptable to the inland designer compared with the current MEMS CAD software. The design flow is presented in detail, and the key techique in the platform is analyzed amply. The structure design methodology is exemplified in the design of a piezoresistive accelerometer, and the accelerometer is the optimized structure for the given performance requirements. The accelerometer is now being manufactured. 展开更多
关键词 微型电子机械系统 加速剂 传感器 半自动设计
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Capacitance Sensing and Software-Realized Lock-in Amplifier for the Electromagnetically Levitated Micro Gyroscope 被引量:1
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作者 黄晓刚 陈文元 +2 位作者 刘武 张卫平 吴校生 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2007年第2期250-256,262,共8页
In the novel prototype of micro-gyroscope structure,the new configured capacitance sensing scheme for the micro gyroscope was analyzed and the virtual instrument based detection scheme was implemented.The digital lock... In the novel prototype of micro-gyroscope structure,the new configured capacitance sensing scheme for the micro gyroscope was analyzed and the virtual instrument based detection scheme was implemented.The digital lock-in amplifier was employed in the capacitance detection to restrain the noise interference.The capacitance analysis shows that 1 fF capacitance variation corresponds to 0.1 degree of the turn angle.The differential capacitance bridge and the charge integral amplifier were used as the front signal input interface.In the implementation of digital lock-in amplifier,a new routine which warranted the exactly matching of the reference phase to signal phase was proposed.The result of the experiment shows that digital lock-in amplifier can greatly eliminate the noise in the output signal.The non linearity of the turn angle output is 2.3% and the minimum resolution of turn angle is 0.04 degrees.The application of the software demodulation in the signal detection of micro-electro-mechanical-system(MEMS)device is a new attempt,and it shows the prospective for a high-performance application. 展开更多
关键词 陀螺仪 容量感觉 惯性传感器 数字放大器
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Highly-compliant,conformal and stretchable microelectrode arrays 被引量:1
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作者 Zhang Hongzhi Xie Lei +3 位作者 Yu Mei Liu Zhiyuan Li Yuchun Yu Zhe 《Engineering Sciences》 EI 2013年第3期72-75,共4页
Most biological tissues are supple and elastic,while current electronic devices fabricated by semiconductors and metals are usually stiff and brittle. As a result,implanted electronic devices can irritate and damage s... Most biological tissues are supple and elastic,while current electronic devices fabricated by semiconductors and metals are usually stiff and brittle. As a result,implanted electronic devices can irritate and damage surrounding tissues,causing immune reaction and scarring. In this work,we develop stretchable microelectrode arrays,with the development of a novel soft lithography technology,which are designed and fabricated with a polymer/stretchable metal/polymer sandwich structure. With the great deformability of stretch,compression,bend and twisting,while preserving electrical property,this technology overcomes the fundamental mismatch of mechanical properties between biological tissues and electronic devices,and provides highly-compliant,conformal and stretchable bio-electronic interfaces. Here we also describe the following three applications of the stretchable electrode arrays:a. monitoring intracranial electroencephalography (EEG);b. stimulating peripheral nerves to drive muscles;c. monitoring epicardial electrocardiography (ECG). Stretchable microelectrode arrays create a promising field in biomedical applications for its better modulus match with biological tissues and robust mechanical and electrical properties. They allow for construction of electronic integrated circuits spread over on complex and dynamic curved surfaces,providing a much friendlier bio-electronic interface for diagnosis,treatment and intelligent bio-control. 展开更多
关键词 微电极阵列 兼容 伸展 生物组织 电子集成电路 电子设备 光刻技术 机械性能
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Preparation and Electrochemical Characteristics of Three-dimensional Manganese Oxide Micro-supercapacitor Electrode
5
作者 Chun-ming Wen Zhi-yu Wen +1 位作者 Zheng You Xiao-feng Wang 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2012年第2期209-213,I0004,共6页
以便增加电极表面区域并且提高费用存储能力,我们学习微电镀物品制作三维的高方面比率的机械系统技术微电极的结构基于玻璃。阳极的经常的潜在的方法被采用在微电极的表面上作为 electroactive 物质扔锰氧化物。周期的 voltammetry 和... 以便增加电极表面区域并且提高费用存储能力,我们学习微电镀物品制作三维的高方面比率的机械系统技术微电极的结构基于玻璃。阳极的经常的潜在的方法被采用在微电极的表面上作为 electroactive 物质扔锰氧化物。周期的 voltammetry 和经常的当前的费用分泌物方法两个都被用来电气化学的性能测试准备电极,与没有为比较的结构的一个二维的电极。试验性的结果证明那三维的电极结构能有效地提高费用存储能力。在 1.0 mA/cm2 费用分泌物密度,三维的电极显示出 17.88 mF/cm2 的一个电容,比二维的电极高七倍。 展开更多
关键词 电化学特性 超级电容器 三维电极 锰氧化物 微电极 微机电系统技术 制备 微型
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Analysis and Design of Thermally Actuated Micro-Cantilevers for High Frequency Vibrations Using Finite Element Method
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作者 Mojtaba Komeili Carlo Menon 《World Journal of Mechanics》 2016年第3期94-107,共14页
Vibrational behavior of thermally actuated cantilever micro-beams and their mechanical response at moderately high frequency under a non-harmonic periodic loading is studied in this paper. Two different configurations... Vibrational behavior of thermally actuated cantilever micro-beams and their mechanical response at moderately high frequency under a non-harmonic periodic loading is studied in this paper. Two different configurations are considered: 1) a straight beam with two actuation layers on top and bottom which utilizes the bimorph effect to induce bending;2) a uniform beam with base excitation, where the beam is mounted on an actuator which moves it periodically at its base perpendicular to its axis. Generally, vibrating micro-cantilevers are required to oscillate at a specified frequency. In order to increase the efficiency of the system, and achieve deflections with low power consumption, geometrical features of the beams can be quantified so that the required vibrating frequency matches the natural frequencies of the beam. A parametric modal analysis is conducted on two configurations of micro-cantilever and the first natural frequency of the cantilevers as a function of geometrical parameters is extracted. To evaluate vibrational behavior and thermo-mechanical efficiency of micro-cantilevers as a function of their geometrical parameters and input power, a case study with a specified vibrating frequency is considered. Due to significant complexities in the loading conditions and thermo-mechanical behavior, this task can only be tackled via numerical methods. Selecting the geometrical parameters in order to induce resonance at the nominal frequency, non-linear time-history (transient) thermo-mechanical finite element analysis (using ANSYS) is run on each configuration to study its response to the periodic heating input. Approaches to improve the effectiveness of actuators in each configuration based on their implementation are investigated. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical systems Finite Element Thermal Actuations micro-CANTILEVER Dynamic Thermo-mechanical Analysis
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功能梯度形状记忆合金纳米梁力学性能研究
7
作者 贾晓丽 李守宝 +3 位作者 刘璐 黄书童 郑磊 柯燎亮 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期152-160,共9页
功能梯度形状记忆合金(Functionally Graded Shape Memory Alloys,FG⁃SMA)兼具功能梯度材料和形状记忆合金的双重特性,故在航空航天、生物医疗、微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)中得到了广泛的应用。当微结构尺度达... 功能梯度形状记忆合金(Functionally Graded Shape Memory Alloys,FG⁃SMA)兼具功能梯度材料和形状记忆合金的双重特性,故在航空航天、生物医疗、微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)中得到了广泛的应用。当微结构尺度达到纳米尺度,表面效应对微结构力学性能的影响是十分显著的。为了探究表面效应对功能梯度形状记忆合金纳米梁力学性能的影响规律,基于梁弯曲理论及Gurtin⁃Murdoch表面弹性理论,考虑拉压不对称、温度对FG⁃SMA纳米梁的影响,建立了考虑表面效应的FG⁃SMA纳米梁相变力学模型。分析了梯度指数、载荷、温度及拉压不对称系数对FG⁃SMA纳米梁力学性能的影响规律。研究表明,弯矩、梯度指数对截面响应影响显著,而温度和拉压不对称系数对其影响较小;忽略表面效应的影响会低估FG⁃SMA纳米梁的抗弯性;在弯矩达到一定程度后,表面效应对FG⁃SMA纳米梁中性轴偏移趋势影响不大。研究结果对FG⁃SMA纳米梁在微机电领域的设计及应用提供了一定的基础与依据。 展开更多
关键词 功能梯度形状记忆合金 微机电系统 表面效应 Gurtin⁃Murdoch 表面弹性理论 相变
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基于改进LSTM网络的无人机MEMS-IMU零偏在线标定方法
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作者 程向红 吴昕怡 +1 位作者 刘丰宇 钟志伟 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期213-218,共6页
针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效... 针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效果差的问题,设计序列到序列的LSTM神经网络结构,引入教师强迫机制,提高了网络特征学习能力。然后,在导航过程中使用训练后的网络对MEMS-IMU零偏在线标定,补偿后的IMU量测与视觉信息联合优化,保证了导航定位精度。实验结果表明,在纯惯性导航实验中,所提方法的绝对位置误差比传统LSTM方法减小了6.5%;在EUROC数据集下进行的视觉惯性组合导航实验中,所提方法的平均绝对位置误差比传统LSTM方法减小了15%。 展开更多
关键词 无人机导航定位 微惯性测量单元 在线标定 长短时记忆神经网络
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基于IQPSO-EKF的多传感器融合姿态测量方法研究
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作者 胡启国 王磊 +1 位作者 马鉴望 任渝荣 《机电工程》 CAS 北大核心 2024年第2期353-363,共11页
为解决自动化竖井掘进设备的定位调姿精度对竖井、孔桩挖掘效率与质量的影响,提出了一种基于改进量子粒子群(IQPSO)-扩展卡尔曼滤波(EKF)的姿态测量算法,以提高微机电系统(MEMS)传感器测量精度。首先,对MEMS传感器数据进行了预处理(除... 为解决自动化竖井掘进设备的定位调姿精度对竖井、孔桩挖掘效率与质量的影响,提出了一种基于改进量子粒子群(IQPSO)-扩展卡尔曼滤波(EKF)的姿态测量算法,以提高微机电系统(MEMS)传感器测量精度。首先,对MEMS传感器数据进行了预处理(除噪、滤波、校准等);然后,参考现有飞行器的坐标系,建立了姿态解算模型,通过姿态角数学模型及运动学分析,构建了EFK状态方程,针对EKF方法参数估计不准确的问题,以分段混沌映射优化初始种群,引入平均位置最优值来避免陷入局部最优的IQPSO-EFK算法,优化EKF的系统、测量噪声的协方差参数;最后,对改进算法和三组姿态误差估计进行了对比实验。研究结果表明:对比三种典型目标函数,IQPSO-EFK相较于普通粒子群算法(QPSO-EFK)具有更强的寻优能力与收敛精度;对比三组旋转速度姿态测量误差,基于IQPSO-EKF算法的姿态测量方法在测量误差时比真实测量误差减少了约86.3%,比扩展卡尔曼滤波减少了约68.7%,比普通粒子群算法减少了约28.2%,证明该算法有效地提高了MEMS传感器测量精度。 展开更多
关键词 竖井掘进 角度测量仪器 姿态测量 微机电系统传感器 多传感器融合 改进量子粒子群-扩展卡尔曼滤波
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高频压电MEMS微镜设计与仿真
10
作者 张浩 汪洋 武震宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期76-80,共5页
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方... 阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。 展开更多
关键词 微机电系统 压电驱动 微镜阵列 高频
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引信微光机电系统安全系统研究现状与发展趋势
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作者 张笑 谢晋 +2 位作者 熊壮 张德 代俊 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期1-11,共11页
随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MO... 随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MOEMS安全系统的国内外研究现状开展分析,介绍了引信MOEMS安全系统的基本原理,分析了MOEMS安全系统驱动方式、加工与封装工艺、激光起爆技术与安全系统性能测试方法的现状与发展规律,归纳了当前引信MOEMS安全系统研制过程中亟待解决的问题,为推动MOEMS安全系统在火炮引信中的应用提供重要的借鉴。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信安全系统 安全与解除隔离装置 激光起爆
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基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计
12
作者 杜艺鑫 金丽 +2 位作者 解琨阳 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期98-104,共7页
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速... 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速度计的制备。实验结果表明,光栅泰伯效应双轴MOEMS加速度计x轴与y轴的灵敏度分别为3.36和3.54 V/g,零偏稳定性分别为25.53和20.91μg@1 s。该研究为实现高精度多轴加速度计提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合
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金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展
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作者 尹嘉琦 沈文锋 +3 位作者 吕大伍 赵京龙 胡鹏飞 宋伟杰 《材料导报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期30-43,共14页
随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的... 随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的多样化设计、MOSs纳米结构的多样化以及机器学习算法的出现为MEMS的传感性能以及智能传感系统的构建提供了很大助力。本文从MEMS气体传感器的分类、制备和应用以及传感器阵列的构建等方面综述了金属氧化物半导体MEMS气体传感器的最新研究进展,并对MEMS基气体传感器的发展前景进行了总结和展望。 展开更多
关键词 气体传感器 金属氧化物半导体 微机电系统 传感器阵列 智能传感系统
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仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计
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作者 张旭 赵锐 +3 位作者 石云波 祖凯旋 张洁宇 闫晓朋 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期410-415,共6页
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真... 针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明,在50g_n载荷作用下,加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30000g_n过载作用下承受的等效应力的最大值从1022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。 展开更多
关键词 加速度计 抗冲击 电容式 低量程 仿生缓冲结构 微机电系统
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微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试
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作者 王策 张晓玉 +4 位作者 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期114-120,共7页
提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受... 提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受外界温度起伏影响,双层光栅结构间距受热膨胀系数的影响产生相对位移。为了减小由于温度起伏对光栅加速度计零偏的影响,采用温度闭环反馈控制技术将加速度计温度变化控制在±10 mK范围内。经实验测试,加速度计零偏稳定性达3.7μg,相较于无温控情况提升了近7倍。最终实现光栅MOEMS加速度计的灵敏度达5.23 V/g,线性相关系数为99.9%,分辨率达286.8μg。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性
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光栅MOEMS加速度计温度特性
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作者 邰鹏 金丽 +2 位作者 解琨阳 张敏娟 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期127-133,共7页
由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性... 由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性模量温度系数和热膨胀系数对光栅MOEMS加速度计微机械结构标度因数和零位的影响。其次,设计了温控精度达0.1℃的温度控制系统,并利用该系统对加速度计进行温度控制。最后,对光栅泰伯效应MOEMS加速度计温度特性展开测试,结果表明,加速度计的标度因数随温度升高而增大,零偏稳定性随温度的升高而降低,加速度计标度因数温度系数为0.30 V·g^(-1)·℃^(-1),零偏稳定性温度系数为-7.78μg/℃,其变化趋势与仿真结果一致。这为实现全温范围下高精度MOEMS加速度计奠定了基础。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS)加速度计 光栅泰伯效应 热仿真 温度特性 温控电路 标度因数 零偏稳定性
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基于螺旋弹簧的引信用低g值MEMS惯性开关
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作者 秦浩 蒋小华 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第4期459-466,共8页
微机电系统(MEMS)惯性开关在引信领域有广阔的应用前景,但可用于引信工作环境的低g值型MEMS惯性开关较少。对此,为低发射过载的弹药引信提出一种低闭合阈值的MEMS惯性开关设计方案,满足引信识别低g值冲击信号的功能需求,实现稳定接通引... 微机电系统(MEMS)惯性开关在引信领域有广阔的应用前景,但可用于引信工作环境的低g值型MEMS惯性开关较少。对此,为低发射过载的弹药引信提出一种低闭合阈值的MEMS惯性开关设计方案,满足引信识别低g值冲击信号的功能需求,实现稳定接通引信电源的功能,同时具备抵抗引信工作环境中高过载的能力,提高引信可靠性。依据触发信号特征和引信工作环境提出设计要求,对惯性开关的振荡模型进行理论分析,阐明惯性开关结构尺寸对开关性能的影响规律,给出开关整体设计方案,并应用ANSYS有限元软件对设计结果进行仿真验证。仿真结果表明,所设计的惯性开关能够监测幅值为20g、脉宽为1 ms的冲击信号,开关响应时间小于1 ms,电极接触时间长于30μs,抗过载性能达到12 000g,满足性能指标要求。 展开更多
关键词 低g值 微机电系统 惯性开关 螺旋弹簧
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温度弱敏感光纤高温压力传感器
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作者 王伟 李金洋 +5 位作者 毛国培 杨艳 高志强 马骢 钟翔雨 史青 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期218-226,共9页
针对高温压力测量需求,提出了一种温度弱敏感的光纤微机械电子(MEMS)压力传感技术.该技术采用非本征光纤法布里-珀罗干涉模型,利用MEMS压力敏感膜片对干涉光信号进行被动调制,进而实现压力信号测量.通过仿真计算热应力和材料自身热膨胀... 针对高温压力测量需求,提出了一种温度弱敏感的光纤微机械电子(MEMS)压力传感技术.该技术采用非本征光纤法布里-珀罗干涉模型,利用MEMS压力敏感膜片对干涉光信号进行被动调制,进而实现压力信号测量.通过仿真计算热应力和材料自身热膨胀引入的温度寄生响应来分析温度信号对膜片位移的影响.在此基础上结合亚微米级白光干涉响应技术和低热应力封装工艺,研制了高温压力传感器样机.实验测试结果表明,在20—400℃范围内,可满足0—100 kPa压力测量,由温度变化引入测量误差低于4%. 展开更多
关键词 高温 光纤压力传感 法布里-珀罗干涉 微机械电子芯片
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集成差分电容式MEMS微型电场传感器设计与研制
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作者 黄国平 陈锦荣 +1 位作者 王跃强 廖峰 《电子器件》 CAS 2024年第1期79-83,共5页
在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设... 在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设计为基础,构造出可靠的运行结构,并且依靠一个低噪声、高动态范围的接口IC来完成操作。所设计的接口集成电路在应对脉冲式的间歇性操作的同时,组织互补设备阵列以感应各种不同的测量信号。通过COMSOL Multiphysics仿真实验可以看出,所设计的传感器能够很好地满足压板状态监测的需求。 展开更多
关键词 继电保护 电场传感器 MEMS 硬压板
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基于加速度传感器的电梯多参数检测仪设计
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作者 陈建勋 杨宁祥 +2 位作者 吴溪 赵杰鹏 谢威 《自动化仪表》 CAS 2024年第1期13-18,共6页
轿厢运动参数、振动舒适度、制动性能参数、异常振动频率、倾斜角等多个参数的现场检测对确保电梯安全稳定运行具有重要意义。传统模拟量输出型加速度传感器由于体积大、集成度低,较难实现电梯的多功能、多参数检测需求。基于微机电系... 轿厢运动参数、振动舒适度、制动性能参数、异常振动频率、倾斜角等多个参数的现场检测对确保电梯安全稳定运行具有重要意义。传统模拟量输出型加速度传感器由于体积大、集成度低,较难实现电梯的多功能、多参数检测需求。基于微机电系统三轴加速度传感器和高性能单片机,开发了电梯多参数检测仪。该检测仪包括三轴加速度无线测量模块和智能终端应用程序。现场应用表明,该检测仪可实现电梯速度及加速度测量、轿厢振动舒适度测量、自动扶梯梯级和扶手带振动舒适度测量、电梯制动参数测量、异常振动源追溯等功能,可广泛应用于电梯安装、维保、检验、抽查、事故调查等测试场合。基于微机电系统加速度传感器的仪器设计思路可为类似机电类设备的安全检测提供有效参考。 展开更多
关键词 电梯 自动扶梯 加速度传感器 多参数检测仪 微机电系统 振动 数值积分 快速傅里叶变换
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