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Extraction Characteristics of Radio Frequency ICP Ion Source
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作者 许沭华 任兆杏 沈克明 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第4期1407-1410,共4页
An inductively coupled radio frequency ion source has been developed and its extraction characteristics measured. Beam current density up to 0.11 mA/ cm2 was obtained with argon at a rf discharge power of about 140 W.... An inductively coupled radio frequency ion source has been developed and its extraction characteristics measured. Beam current density up to 0.11 mA/ cm2 was obtained with argon at a rf discharge power of about 140 W. The dependences of ion beam on the discharge parameters such as rf source power, gas pressure and gas flow rate was studied. 展开更多
关键词 radio frequency inductively coupled plasma ion source extraction characteristics
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Power transfer efficiency in an air-breathing radio frequency ion thruster
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作者 黄高煌 李宏 +1 位作者 高飞 王友年 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期430-438,共9页
Due to a series of challenges such as low-orbit maintenance of satellites, the air-breathing electric propulsion has got widespread attention. Commonly, the radio frequency ion thruster is favored by low-orbit mission... Due to a series of challenges such as low-orbit maintenance of satellites, the air-breathing electric propulsion has got widespread attention. Commonly, the radio frequency ion thruster is favored by low-orbit missions due to its high specific impulse and efficiency. In this paper, the power transfer efficiency of the radio frequency ion thruster with different gas compositions is studied experimentally, which is obtained by measuring the radio frequency power and current of the antenna coil with and without discharge operation. The results show that increasing the turns of antenna coils can effectively improve the radio frequency power transfer efficiency, which is due to the improvement of Q factor. In pure N_2 discharge,with the increase of radio frequency power, the radio frequency power transfer efficiency first rises rapidly and then exhibits a less steep increasing trend. The radio frequency power transfer efficiency increases with the increase of gas pressure at relatively high power, while declines rapidly at relatively low power. In N_(2)/O_(2) discharge, increasing the N_(2) content at high power can improve the radio frequency power transfer efficiency, but the opposite was observed at low power. In order to give a better understanding of these trends, an analytic solution in limit cases is utilized, and a Langmuir probe was employed to measure the electron density. It is found that the evolution of radio frequency power transfer efficiency can be well explained by the variation of plasma resistance, which is related to the electron density and the effective electron collision frequency. 展开更多
关键词 radio frequency ion thruster inductively coupled plasma power transfer efficiency analytic solution
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Influence of a centered dielectric tube on inductively coupled plasma source: Chamber structures and plasma characteristics
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作者 毕振华 洪义 +3 位作者 雷光玖 王帅 王友年 刘东平 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第7期250-255,共6页
A high-density RF ion source is an essential part of a neutral beam injector. In this study, the authors attempt to retrofit an original regular RF ion source reactor by inserting a thin dielectric tube through the sy... A high-density RF ion source is an essential part of a neutral beam injector. In this study, the authors attempt to retrofit an original regular RF ion source reactor by inserting a thin dielectric tube through the symmetric axis of the discharge chamber. With the aid of this inner tube, the reactor is capable of generating a radial magnetic field instead of the original transverse magnetic field, which solves the E × B drift problem in the current RF ion source structure. To study the disturbance of the dielectric tube, a fluid model is introduced to study the plasma parameters with or without the internal dielectric tube, based on the inductively coupled plasma(ICP) reactor. The simulation results show that while introducing the internal dielectric tube into the ICP reactor, both the plasma density and plasma potential have minor influence during the discharge process, and there is good uniformity at the extraction region. The influence of the control parameters reveals that the plasma densities at the extraction region decrease first and subsequently slow down while enhancing the diffusion region. 展开更多
关键词 neutral beam ion source inductively coupled plasmaicp fluid model
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RF Ion Beam Sources Used in Etching
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作者 SU Zhiwei CHEN Qingchuan 《Southwestern Institute of Physics Annual Report》 2004年第1期142-145,共4页
Ion beam technology is used widely in many fields such as electric, material, optics, medicine, biology and so on. At the same time, it brings some huge technological effects and economical benefits, especially for th... Ion beam technology is used widely in many fields such as electric, material, optics, medicine, biology and so on. At the same time, it brings some huge technological effects and economical benefits, especially for the optical applocations. According for the technology, the properties of high accuarate spectral analyzer also can be improved by manufacturing the lage-area holographic ion beam eathing(HIBE) grating. Simultaneously, as one of the parts of ion beam technology, the developments of ion beam sources have some important effects to content the demands of ion beam technology such as large ion beam flux, excellent optical qualities. In this paper, an ion beam source called inductively coupled plasma(ICP) ion beam source was introduced, and the extractor system, the application prospect were also discussed. 展开更多
关键词 inductively coupled plasmaicp ion beam sources RF antenna
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射频ICP离子源设计研究 被引量:11
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作者 许沭华 任兆杏 +1 位作者 沈克明 翁坚 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期310-312,共3页
本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。
关键词 射频icp 离子源 设计 射频匹配网络 感应耦合等离子体 离子流 均匀性 中性化
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Balmer H_α,H_β and H_γ Spectral Lines Intensities in High-Power RF Hydrogen Plasmas 被引量:1
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作者 王松柏 雷光玖 +1 位作者 刘东平 杨思泽 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期219-222,共4页
Hα(Balmer-alpha), Hβ (Balmer-beta) and Hγ (Balmer-gamma) spectral line inten- sities in atomic hydrogen plasma are investigated by using a high-power RF source. The intensities of the Hα, Hβ and Hγ spectra... Hα(Balmer-alpha), Hβ (Balmer-beta) and Hγ (Balmer-gamma) spectral line inten- sities in atomic hydrogen plasma are investigated by using a high-power RF source. The intensities of the Hα, Hβ and Hγ spectral lines are detected by increasing the input power (0-6 kW) of ICPs (inductively coupled plasmas). With the increase of net input power, the intensity of Hα im- proves rapidly (0-2 kW), and then reaches its dynamic equilibrium; the intensities of Hβ can be divided into three processes: obvious increase (0-2 kW), rapid increase (2-4 kW), almost constant (4-6 kW); while the intensities of Hγ increase very slowly. The energy levels of the excited hydro- gen atoms and the splitting energy levels produced by an obvious Stark effect play an important role in the results. 展开更多
关键词 Keywords: high-power RF radio frequency source icps inductively coupled plasmas) and spectral lines intensity Boltzmann distribution law Stark effect transitionprobability
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用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计 被引量:7
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作者 尤大伟 黄小刚 +1 位作者 任荆学 李安杰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期451-454,共4页
采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜 ,已越来越得到人们的共识。本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑 ,并获得了稳定运行的高性能离子源。
关键词 宽束 离子源 薄膜制备 光学薄膜 离子束 感应线圈 匹配 射频 镀膜 高性能
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射频电子源数值仿真及实验研究 被引量:4
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作者 李兴达 张兴民 +2 位作者 李建鹏 张天平 孙新锋 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2394-2400,共7页
射频电子源以其结构简单、不易受污染、寿命长、瞬时启动等优点,可以作为离子和霍尔电推进的中和器,显著提升其寿命和性能。为了研究射频电子源的优化设计方法,基于放电室等离子体整体模型和非双极流动模型开展了射频电子源性能的仿真评... 射频电子源以其结构简单、不易受污染、寿命长、瞬时启动等优点,可以作为离子和霍尔电推进的中和器,显著提升其寿命和性能。为了研究射频电子源的优化设计方法,基于放电室等离子体整体模型和非双极流动模型开展了射频电子源性能的仿真评估,并对研制的1A级电子源样机开展了实验测试。研究结果显示:仿真与实验结果一致性较好,引出电子电流与收集电压、小孔直径、工质流率、射频功率相关,各参数相互耦合且存在最优组合,样机额定工作点下,电子源放电损耗为99W/A,工质利用率系数为11。 展开更多
关键词 电推进 电子源 感性耦合等离子体 整体模型 引出电流 射频
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大功率射频离子源驱动器等效阻抗特性分析 被引量:6
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作者 阳璞琼 刘波 +5 位作者 蒋才超 韦江龙 谢亚红 谢远来 潘军军 胡纯栋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2021年第8期91-96,共6页
离子源是中性束注入系统的核心部件之一,射频离子源具备稳态运行的能力,成为未来中性束用离子源的主要备选源。在射频离子源中,阻抗匹配的合理设计和有效调谐是实现高功率稳定等离子体放电的核心,而驱动器的等效阻抗决定了阻抗匹配网络... 离子源是中性束注入系统的核心部件之一,射频离子源具备稳态运行的能力,成为未来中性束用离子源的主要备选源。在射频离子源中,阻抗匹配的合理设计和有效调谐是实现高功率稳定等离子体放电的核心,而驱动器的等效阻抗决定了阻抗匹配网络的设计,故对其特性的分析是必不可少的。基于射频等离子体变压器模型建立了射频离子源驱动器等效阻抗计算的解析模型,通过计算获得了驱动器等效阻抗随等离子体电子密度的变化特性,为阻抗匹配网络的合理设计及阻抗匹配调谐提供了参考。该模型能够较为快速准确地计算得出不同气压下驱动器内的电子温度,得出的不同气压和电子密度下的等效阻抗变化特性也与同类射频离子源的计算结果相符合。 展开更多
关键词 中性束注入系统 感性耦合等离子体 变压器模型 射频离子源等效模型
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深亚微米/纳米CMOS器件离子蚀刻新技术
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作者 成立 王振宇 +3 位作者 武小红 范木宏 祝俊 赵倩 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期35-40,共6页
综述了制备深亚微米/纳米CMOS器件的离子蚀刻新技术:考夫曼(Kaufman)离子铣蚀刻、氟基气体多晶硅蚀刻、氯基或溴基气体硅深蚀刻、电子回旋共振(ECR)蚀刻系统和电感耦合等离子体蚀刻器(ICPE)等,并对比分析了上述蚀刻技术各自的优缺点及... 综述了制备深亚微米/纳米CMOS器件的离子蚀刻新技术:考夫曼(Kaufman)离子铣蚀刻、氟基气体多晶硅蚀刻、氯基或溴基气体硅深蚀刻、电子回旋共振(ECR)蚀刻系统和电感耦合等离子体蚀刻器(ICPE)等,并对比分析了上述蚀刻技术各自的优缺点及其应用要点。 展开更多
关键词 超大规模集成电路 纳米CMOS器件 离子束蚀刻 考夫曼离子源 电子回旋共振 电感耦合等离子体蚀刻器
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10cm×30cm矩形射频离子束源的研制 被引量:3
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作者 苏志伟 陈庆川 韩大凯 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期734-737,共4页
本文介绍了射频(Radiofrequency,RF)感应耦合等离子体(Inductivecoupleplasma,ICP)离子束源的设计研究。该射频离子束源可工作于Ar,在使用四栅引出系统时,可获得100—1000eV的离子束。当射频功率为900W,在Ar为工作气体时,束流可达到600m... 本文介绍了射频(Radiofrequency,RF)感应耦合等离子体(Inductivecoupleplasma,ICP)离子束源的设计研究。该射频离子束源可工作于Ar,在使用四栅引出系统时,可获得100—1000eV的离子束。当射频功率为900W,在Ar为工作气体时,束流可达到600mA。在束流为120mA时,距源26cm处,在主轴方向27cm的范围内不均匀性小于±6%。该离子束源可作为大面积离子束刻蚀、离子束抛光等的离子束源。 展开更多
关键词 射频离子束源 电感耦合等离子体 离子束刻蚀 离子束抛光
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高频感应等离子体流动模型与微型电推进器流场特性分析 被引量:1
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作者 李亦非 付宸聪 +2 位作者 刘伟 蔡国飙 王伟宗 《气体物理》 2021年第2期9-18,共10页
微型射频离子推力器具有结构简单、工作寿命长、推力动态范围大、性能调节响应灵敏等特点,是国际微电推进领域的研究热点之一.射频离子推力器电离室内的感性耦合放电等离子体特性和推力器的性能密切相关.为此,文章建立了低气压、小尺寸... 微型射频离子推力器具有结构简单、工作寿命长、推力动态范围大、性能调节响应灵敏等特点,是国际微电推进领域的研究热点之一.射频离子推力器电离室内的感性耦合放电等离子体特性和推力器的性能密切相关.为此,文章建立了低气压、小尺寸微型射频离子推力器电离室内感性耦合等离子体流体模型,开展了电磁场、流场、化学反应浓度场的多物理场耦合仿真分析,并研究了等离子体放电特征参数随推进剂工质气压、放电吸收功率、射频频率以及线圈匝数等因素的变化规律.结果表明,推进剂工质气压、放电吸收功率是调节微型射频离子推力器性能的主要因素,该研究为综合调控微型射频离子推力器的工作性能奠定了良好的基础. 展开更多
关键词 微型射频离子推力器 感性耦合放电 流体模型 多物理场耦合 放电参数
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电感耦合式射频离子源放电与引出特性实验
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作者 李建鹏 李兴达 张兴民 《科学技术与工程》 北大核心 2019年第22期20-24,共5页
为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频离子源点火起弧关键物理参数的设计和选择,设计并搭建了电感耦合式射频离子源性能试验系统,通过试验研究... 为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频离子源点火起弧关键物理参数的设计和选择,设计并搭建了电感耦合式射频离子源性能试验系统,通过试验研究了射频放电中离子束流、射频功率、工质流量、栅间电压之间的规律.结果表明:射频离子源试验系统设计合理,能够可靠稳定地工作,真空度低于1.0×10^-3 Pa的氩工质条件下离子束能量大范围独立可调,在100~1500 eV范围引出80~460 mA的离子束流,当工质流量一定时,离子源离子束流随射频功率的增大以1 mA/W比率增加,射频功率一定时,离子源束流强度随工质流量增大,在20 sccm时,离子源束流强度至稳定值或者略微增加,合理控制离子源工作参数可以提高离子源工作性能和效率. 展开更多
关键词 电感耦合式 射频离子源 设计 离子束流 实验
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射频功率及工作气压对微型ICP激发源光谱强度的影响
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作者 王永清 杨帅 +1 位作者 王硕南 韩芳芳 《分析试验室》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期989-992,共4页
利用自制的一种新型基于PCB镀金技术的微型ICP激发源(频率为13.56 M Hz)成功激发空气与甲烷等离子体,分析不同工作气压和射频功率对样品气体的激发效果的影响。数据表明,射频功率处于5~25 W范围内甲烷谱线强度呈增强趋势,10~25 W范围... 利用自制的一种新型基于PCB镀金技术的微型ICP激发源(频率为13.56 M Hz)成功激发空气与甲烷等离子体,分析不同工作气压和射频功率对样品气体的激发效果的影响。数据表明,射频功率处于5~25 W范围内甲烷谱线强度呈增强趋势,10~25 W范围时空气谱线强度呈增强趋势。样品气体流量改变导致压强变化时光谱信号强度是先增强后减弱,转折点为40 Pa。40 Pa之前时谱线信号强度随压强增大呈上升趋势,但是压强轻微的变化导致信号图斜率的变化非常明显,不适于定量分析。40~60 Pa谱线信号强度斜率的变化率较小,适于分析。样品气体定量时,加大载气流量改变压强谱线强度信号的变化无明显规律。由此得出该等激发源激发空气与甲烷等离子体稳定的工作条件:射频功率10~25 W,工作气压40~60 Pa。 展开更多
关键词 微型 icp激发源 射频功率 气压
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