稀土氧化物抛光粉粒度的测定

本文推荐了用X射线衍射线宽法和小角散射法测定稀土氧化物抛光粉的粒度,说明了两法的原理和实验过程。粒度或晶粒大小是说明抛光粉性能的重要指标。本工作用新的进口抛光粉和国产(由不同实验室提供)CeO_2样品进行了晶粒大小和粒度的测定。就不同来源抛光粉的测定结果作了比较。实验结果用电镜相片对照,说明基本可靠。对于线宽法(测定晶粒大小)和小角散射法(测定粒度)的结果,也作了比较和说明。本文在我国首次建立了抛光粉的平均粒度大小测定方法,可用于生产控制,工艺条件选择及抛光过程研究中,因此有一定的推广价值。