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超宽带矩形微同轴平面对数周期天线
被引量:
1
1
作者
刘昊
谷胜明
+7 位作者
王梦轩
史永康
孙向珍
王梦双
尹玉刚
赵广宏
汪郁东
陈春明
《遥测遥控》
2023年第2期11-17,共7页
在宽带电子系统轻量化的需求下,基于MEMS矩形微同轴技术设计了10 GHz~50 GHz的超宽带平面对数周期天线。天线采用三节矩形微同轴阻抗变换实现160Ω到50Ω的宽频带阻抗匹配,并通过矩形微同轴转共面波导进行馈电。为展现微同轴的馈电优势...
在宽带电子系统轻量化的需求下,基于MEMS矩形微同轴技术设计了10 GHz~50 GHz的超宽带平面对数周期天线。天线采用三节矩形微同轴阻抗变换实现160Ω到50Ω的宽频带阻抗匹配,并通过矩形微同轴转共面波导进行馈电。为展现微同轴的馈电优势,验证设计的微同轴平面对数周期天线性能,制备了50Ω矩形微同轴传输线和天线实物并进行了测试。实测结果表明,在10 GHz~50 GHz频段内,矩形微同轴传输线传输损耗<0.22 dB/cm,两根间隔0.15 mm的矩形微同轴传输线间隔离度>60 dB。天线实测反射系数<-8 dB,增益>4 dBi,增益波动<1.6 dB。
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关键词
超宽带
轻量化
矩形微同轴
平面对数周期天线
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职称材料
基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状
被引量:
6
2
作者
史光华
徐达
+5 位作者
王建
王真
常青松
周彪
张延青
白锐
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第4期303-313,共11页
矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结构、性能等方面对矩形微同轴进行了简要分析。回顾了矩形微同...
矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结构、性能等方面对矩形微同轴进行了简要分析。回顾了矩形微同轴技术在其发展的不同阶段出现的体硅刻蚀技术、EFABTM和PolyStrataTM技术,并对矩形微同轴的结构、加工工艺及射频性能等方面进行了简要分析。介绍了矩形微同轴技术在不同RF MEMS中的应用,并对获得的特性进行了讨论。矩形微同轴技术应用于高度集成的RF MEMS是发展的必然趋势,必将对传统射频电路的设计、制备及系统集成产生巨大影响。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
矩形微同轴技术
EFABTM
PolyStrataTM
体硅刻蚀
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职称材料
基于微机械工艺的60 GHz波束扫描天线阵(英文)
3
作者
朱华
李秀萍
+4 位作者
冯魏巍
要栗
肖军
田阳
汪宏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期563-568,580,共7页
提出了一种应用于高速率无线通信的基于微机械工艺的波束扫描天线阵.基于微机械工艺的空气填充的同轴线结构能提供低损耗的矩形微同轴传输线和馈电网络设计.设计的传输线仿真和测试插入损耗均小于0.18 dB.仿真和测试结果吻合良好.波束...
提出了一种应用于高速率无线通信的基于微机械工艺的波束扫描天线阵.基于微机械工艺的空气填充的同轴线结构能提供低损耗的矩形微同轴传输线和馈电网络设计.设计的传输线仿真和测试插入损耗均小于0.18 dB.仿真和测试结果吻合良好.波束扫描天线阵的尺寸为17.5×14.5×0.42 mm^3,-10 dB带宽为10GHz(55~65 GHz),其带宽覆盖60 GHz标准的全频段.波束扫描角度分别为±35°和±11°.在60 GHz中心频点,增益分别为11.8 dBi和12.1 dBi.
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关键词
波束扫描天线阵
矩形微同轴传输线
巴特勒矩阵
低损耗
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职称材料
超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析
被引量:
2
4
作者
汪郁东
赵广宏
+3 位作者
陈春明
陈青松
谷胜明
许进
《遥测遥控》
2020年第3期65-70,共6页
在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz^50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GH...
在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz^50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GHz^50GHz工作带宽内插入损耗小于0.8dB,回波损耗优于17dB,带外抑制达到45dB。基于矩形同轴结构的制备流程经过九次光刻-电铸-平坦化过程及一次介质支撑结构光刻后完成十层滤波器样件的制备,测得制备的滤波器样件性能与仿真曲线基本吻合,在40GHz时插入损耗为0.6dB,回波损耗为21.6dB,在5GHz和55GHz时带外抑制分别为41.8dB和43.9dB。矩形同轴结构的低损耗、高频段等优点在该超宽带矩形微同轴滤波器中有良好的体现。
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关键词
微电子机械系统
矩形微同轴
超宽带
滤波器
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职称材料
题名
超宽带矩形微同轴平面对数周期天线
被引量:
1
1
作者
刘昊
谷胜明
王梦轩
史永康
孙向珍
王梦双
尹玉刚
赵广宏
汪郁东
陈春明
机构
北京遥测技术研究所
出处
《遥测遥控》
2023年第2期11-17,共7页
基金
装发预研基金(31513060313)
军科委173基金(2021-JCJQ-JJ-0854)。
文摘
在宽带电子系统轻量化的需求下,基于MEMS矩形微同轴技术设计了10 GHz~50 GHz的超宽带平面对数周期天线。天线采用三节矩形微同轴阻抗变换实现160Ω到50Ω的宽频带阻抗匹配,并通过矩形微同轴转共面波导进行馈电。为展现微同轴的馈电优势,验证设计的微同轴平面对数周期天线性能,制备了50Ω矩形微同轴传输线和天线实物并进行了测试。实测结果表明,在10 GHz~50 GHz频段内,矩形微同轴传输线传输损耗<0.22 dB/cm,两根间隔0.15 mm的矩形微同轴传输线间隔离度>60 dB。天线实测反射系数<-8 dB,增益>4 dBi,增益波动<1.6 dB。
关键词
超宽带
轻量化
矩形微同轴
平面对数周期天线
Keywords
Ultra-wideband
Lightweight
rectangular
micro
-
coaxial
Planar Log-periodic antenna
分类号
TN821.6 [电子电信—信息与通信工程]
TN828.4 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状
被引量:
6
2
作者
史光华
徐达
王建
王真
常青松
周彪
张延青
白锐
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2019年第4期303-313,共11页
文摘
矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结构、性能等方面对矩形微同轴进行了简要分析。回顾了矩形微同轴技术在其发展的不同阶段出现的体硅刻蚀技术、EFABTM和PolyStrataTM技术,并对矩形微同轴的结构、加工工艺及射频性能等方面进行了简要分析。介绍了矩形微同轴技术在不同RF MEMS中的应用,并对获得的特性进行了讨论。矩形微同轴技术应用于高度集成的RF MEMS是发展的必然趋势,必将对传统射频电路的设计、制备及系统集成产生巨大影响。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
矩形微同轴技术
EFABTM
PolyStrataTM
体硅刻蚀
Keywords
micro
-electromechanical system(MEMS)
rectangular
micro
-
coaxial
technology
EFABTM
PolyStrataTM
bulk silicon etching
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
基于微机械工艺的60 GHz波束扫描天线阵(英文)
3
作者
朱华
李秀萍
冯魏巍
要栗
肖军
田阳
汪宏
机构
北京邮电大学电子工程学院
北京安全生产智能监控北京市重点实验室
新加坡南洋理工大学
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期563-568,580,共7页
基金
Supported by the National Natural Science Foundation of China(61372036,61601050)
the project(6140135010116DZ08001,6140518040116DZ02001)
文摘
提出了一种应用于高速率无线通信的基于微机械工艺的波束扫描天线阵.基于微机械工艺的空气填充的同轴线结构能提供低损耗的矩形微同轴传输线和馈电网络设计.设计的传输线仿真和测试插入损耗均小于0.18 dB.仿真和测试结果吻合良好.波束扫描天线阵的尺寸为17.5×14.5×0.42 mm^3,-10 dB带宽为10GHz(55~65 GHz),其带宽覆盖60 GHz标准的全频段.波束扫描角度分别为±35°和±11°.在60 GHz中心频点,增益分别为11.8 dBi和12.1 dBi.
关键词
波束扫描天线阵
矩形微同轴传输线
巴特勒矩阵
低损耗
Keywords
beam-steering antenna array,
rectangular
micro
-
coaxial
transmission line, Butler matrix, low loss
分类号
TN827.3 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析
被引量:
2
4
作者
汪郁东
赵广宏
陈春明
陈青松
谷胜明
许进
机构
北京遥测技术研究所
西北工业大学电子信息学院
出处
《遥测遥控》
2020年第3期65-70,共6页
文摘
在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz^50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GHz^50GHz工作带宽内插入损耗小于0.8dB,回波损耗优于17dB,带外抑制达到45dB。基于矩形同轴结构的制备流程经过九次光刻-电铸-平坦化过程及一次介质支撑结构光刻后完成十层滤波器样件的制备,测得制备的滤波器样件性能与仿真曲线基本吻合,在40GHz时插入损耗为0.6dB,回波损耗为21.6dB,在5GHz和55GHz时带外抑制分别为41.8dB和43.9dB。矩形同轴结构的低损耗、高频段等优点在该超宽带矩形微同轴滤波器中有良好的体现。
关键词
微电子机械系统
矩形微同轴
超宽带
滤波器
Keywords
micro
-electromechanical system(MEMS)
rectangular micro coaxial
Ultra-wideband
Filter
分类号
TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超宽带矩形微同轴平面对数周期天线
刘昊
谷胜明
王梦轩
史永康
孙向珍
王梦双
尹玉刚
赵广宏
汪郁东
陈春明
《遥测遥控》
2023
1
下载PDF
职称材料
2
基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状
史光华
徐达
王建
王真
常青松
周彪
张延青
白锐
《微纳电子技术》
北大核心
2019
6
下载PDF
职称材料
3
基于微机械工艺的60 GHz波束扫描天线阵(英文)
朱华
李秀萍
冯魏巍
要栗
肖军
田阳
汪宏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
下载PDF
职称材料
4
超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析
汪郁东
赵广宏
陈春明
陈青松
谷胜明
许进
《遥测遥控》
2020
2
下载PDF
职称材料
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