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TWO STEPS CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF RIGID DISK SUBSTRATE TO GET ATOM-SCALE PLANARIZATION SURFACE 被引量:11
1
作者 LEI Hong LUO Jianbin LU Xinchun 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第4期496-499,共4页
In order to get atomic smooth rigid disk substrate surface, ultra-fined alumina slurry and nanometer silica slurry are prepared, and two steps chemical-mechanical polishing (CMP) of rigid disk substrate in the two s... In order to get atomic smooth rigid disk substrate surface, ultra-fined alumina slurry and nanometer silica slurry are prepared, and two steps chemical-mechanical polishing (CMP) of rigid disk substrate in the two slurries are studied. The results show that, during the first step CMP in the alumina slurry, a high material removal rate is reached, and the average roughness (Ra) and the average waviness (Wa) of the polished surfaces can be decreased from previous 1.4 nm and 1.6 nm to about 0.6 nm and 0.7 nm, respectively. By using the nanometer silica slurry and optimized polishing process parameters in the second step CMP, the Ra and the Wa of the polished surfaces can be further reduced to 0.038 nm and 0.06 am, respectively. Atom force microscopy (AFM) analysis shows that the final polished surfaces are ultra-smooth without micro-defects. 展开更多
关键词 TWo steps Chemical-mechanical polishing(CMP) rigid disk substrateAtom-scale planarization Slurry
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SUB-NANOMETER POLISHING OF MAGNETIC RIGID DISK HEADS TO AVOID POLE TIP RECESSION 被引量:2
2
作者 SHEN Rulin ZHOU Li ZHONG Jue 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第4期7-10,共4页
For the purpose of solving the problem that too large pole tip recession (PTR) is produced in magnetic rigid disk heads by mechanical polishing, a chemical mechanical nano-grinding experiment is performed by using a... For the purpose of solving the problem that too large pole tip recession (PTR) is produced in magnetic rigid disk heads by mechanical polishing, a chemical mechanical nano-grinding experiment is performed by using a float-piece polisher with a tin plate to achieve a more plane and smoother surface. A basal solution, addition agents and a range of pH value are suitably selected to find a kind of slurry, with which the PTR can be controlled on sub-nanometer scale and the giant magnetic resistance (GMR) corrosion and electrostatic damage (ESD) can be avoided. Moreover, the cause that TiC protrudes from the substrate surface of the heads is studied. The appropriate shape and size of diamond abrasive are selected according to the chemical activation of A1203 and TiC in the same slurry. In this way, the chemical and mechanical interactions are optimized and the optimal surface that has small PTR and TiC asperity is achieved. Ultimatily, the chemical mechanical nano-grinding in combination with mechanical nano-grinding is adopted. Sub-nanometer PTR is achieved and the TiC asperity is eliminated by the chemical mechanical nano-grinding with large size ofmonocrystalline followed by mechanical nano-grinding with smalle polycrystalline diamonds. 展开更多
关键词 Polishing Magnetic rigid disk head Pole tip recession (PTR) Chemical mechanical nano-grinding
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Solution of a rigid disk on saturated soil considering consolidation and rheology
3
作者 高绍武 王建华 周香莲 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期222-228,共7页
The problem of a rigid disk acting with normal force on saturated soil was studied using Biot consolidation theory and integral equation method and the Merchant model to describe the saturated soil rheology. Using int... The problem of a rigid disk acting with normal force on saturated soil was studied using Biot consolidation theory and integral equation method and the Merchant model to describe the saturated soil rheology. Using integral transform techniques, general solutions of Biot consolidation functions and the dual integral equations of a rigid disk on saturated soil were established based on the boundary conditions. These equations can be simplified using Laplace-Hankel and Abel transform methods. The numerical solutions of the integral equations, and the corresponding inversion transform were used to obtain the settlement and contact stresses of the rigid disk. Numerical examples showed that the soil settlement is small if only consolidation is considered, so the soil rheology must be taken into account to calculate the soil settlement. Numerical solution of Hankel inverse transform is also given in this paper. 展开更多
关键词 Saturated soil rigid disk Biot consolidation theory Hankel transform RHEOLOGY
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计算机硬盘基片的亚纳米级抛光技术研究 被引量:21
4
作者 雷红 雒建斌 +1 位作者 屠锡富 方亮 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期117-122,共6页
随着计算机磁头与磁盘间隙的不断减小,硬盘表面要求超光滑(亚纳米级粗糙度)。化学机械抛光技术是迄今几乎唯一的全局平面化技术。研究了抛光液特性与计算机硬盘基片的化学机械抛光性能间的关系,结果表明,抛光后表面的波纹度(Wa)、粗糙度... 随着计算机磁头与磁盘间隙的不断减小,硬盘表面要求超光滑(亚纳米级粗糙度)。化学机械抛光技术是迄今几乎唯一的全局平面化技术。研究了抛光液特性与计算机硬盘基片的化学机械抛光性能间的关系,结果表明,抛光后表面的波纹度(Wa)、粗糙度Ra)以及材料去除量强烈依赖于抛光液中磨粒的粒径、磨粒和氧化剂的浓度等因素。借助对抛光后表面的俄歇能谱(AES)分析,对其化学机械抛光机理进行了探讨。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 硬盘基片 亚纳米级粗糙度 CMP机理
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单层饱和地基上刚性圆板的扭转振动 被引量:1
5
作者 蔡袁强 吴大志 +1 位作者 徐长节 陈刚 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期597-601,共5页
运用Hankel变换求解了饱和土的动力控制方程,结合上边界为混合边界和下边界为不透水基岩的边界条件得出了单层饱和地基上刚性基础的扭转对偶积分方程,并将对偶积分方程转化为第二类Fredholm积分方程,同时给出了基础的动力柔度系数和角... 运用Hankel变换求解了饱和土的动力控制方程,结合上边界为混合边界和下边界为不透水基岩的边界条件得出了单层饱和地基上刚性基础的扭转对偶积分方程,并将对偶积分方程转化为第二类Fredholm积分方程,同时给出了基础的动力柔度系数和角位移幅值的表达式.数值分析结果表明:当层厚>5倍基础半径时,可以把下卧基岩的饱和地基近似为半空间;基础的质量惯性矩越大,其共振振幅也越大,并且发生共振时的频率越小. 展开更多
关键词 单层饱和地基 扭转振动 刚性圆板 无量纲频率 动力柔度系数
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基于刚柔耦合的盘式制动器振动仿真分析 被引量:7
6
作者 张力 谷正气 +2 位作者 李伟平 梁小波 彭国谱 《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第3期217-221,共5页
综合考虑摩擦特征和模态耦合,建立了基于刚柔耦合的矿用自卸车盘式制动器模型,以对其振动进行仿真分析。首次通过直接设置柔性体间的接触,模拟制动器典型制动工况,对其进行瞬态动力学分析。研究结果表明,部件间摩擦因数、部件阻尼对盘... 综合考虑摩擦特征和模态耦合,建立了基于刚柔耦合的矿用自卸车盘式制动器模型,以对其振动进行仿真分析。首次通过直接设置柔性体间的接触,模拟制动器典型制动工况,对其进行瞬态动力学分析。研究结果表明,部件间摩擦因数、部件阻尼对盘式制动器的振动有很大影响;合适的部件阻尼可有效提高制动系统的稳定性。 展开更多
关键词 盘式制动器 刚柔耦合 振动
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轴系特定结构扭转刚度及其对扭振特性的影响 被引量:6
7
作者 谢诞梅 董川 刘占辉 《热能动力工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期146-148,共3页
以某国产660 MW超临界汽轮发电机组轴系为对象,重点计算和讨论了轴系特定结构(如阶梯轴、整锻轮盘)的扭转刚度及其对扭振特性的影响。首先推导了阶梯轴不参与完全变形材料长度λ的计算公式,确定了λ的取值范围在0~0.125d1之间,进而提... 以某国产660 MW超临界汽轮发电机组轴系为对象,重点计算和讨论了轴系特定结构(如阶梯轴、整锻轮盘)的扭转刚度及其对扭振特性的影响。首先推导了阶梯轴不参与完全变形材料长度λ的计算公式,确定了λ的取值范围在0~0.125d1之间,进而提出转轴直径突变处不参与完全变形材料的刚度模化方法,将整锻轮盘和阶梯轴的处理统一起来。对某国产660 MW汽轮发电机组轴系的计算结果表明,采用本文推导的公式和模化方法来处理轴系结构所得到的扭振频率与用经验方法得到的结果吻合。这种算法的特点是便于计算机编程,可保证计算精度。 展开更多
关键词 汽轮发电机组 阶梯轴 整锻轮盘 刚度 扭振
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高密度硬磁盘用小型压电致动器 被引量:1
8
作者 王三红 王志宏 姚熹 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期30-33,共4页
利用宽度弯曲振动模式,制成了平面分割电极型片状压电致动器.分析、测试了致动器的位移-驱动电压特性和谐振频率.典型结果是12V驱动电压下可获得0.46μm的位移量,谐振频率为10.7kHz.
关键词 硬磁盘 致动器 高密度硬磁盘 压电致动器
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高密度硬磁盘用压电复合磁头悬浮臂 被引量:1
9
作者 王三红 王志宏 姚熹 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期373-375,共3页
针对硬磁盘驱动器中磁头定位两级伺服控制系统 ,利用宽度弯曲振动模式 ,设计并制备了分割电极型压电复合磁头悬浮臂。研究了复合磁头悬浮臂的动态位移特性、动态频响特性 ,以及它对读出信号脉冲幅值的影响。结果表明 :2 0 V正弦电压激... 针对硬磁盘驱动器中磁头定位两级伺服控制系统 ,利用宽度弯曲振动模式 ,设计并制备了分割电极型压电复合磁头悬浮臂。研究了复合磁头悬浮臂的动态位移特性、动态频响特性 ,以及它对读出信号脉冲幅值的影响。结果表明 :2 0 V正弦电压激励下可获得的动态位移幅值约为 1μm ;其固有谐振频率达 6 .3 k Hz,满足高密度硬磁盘对两级伺服控制系统的基本要求。 展开更多
关键词 硬磁盘 分割电极 压电陶瓷 致动器 磁头悬浮臂
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半刚性节点对插盘式脚手架自振周期的影响 被引量:5
10
作者 吴福宝 殷晨波 戈文思 《施工技术》 CAS 北大核心 2014年第15期83-85,共3页
为研究插盘式脚手架的固有特性,运用ANSYS软件建立有限元模型,有效模拟了节点连接处的半刚性特性。通过改变节点连接处刚度系数,分析不同连接刚度对脚手架自振周期的影响规律。结果表明,节点连接处刚度变化对脚手架的低阶周期影响较大,... 为研究插盘式脚手架的固有特性,运用ANSYS软件建立有限元模型,有效模拟了节点连接处的半刚性特性。通过改变节点连接处刚度系数,分析不同连接刚度对脚手架自振周期的影响规律。结果表明,节点连接处刚度变化对脚手架的低阶周期影响较大,对高阶自振周期的影响并不显著;并在此基础上拟合出低阶周期随刚度系数变化的曲线图。指出对于插盘式脚手架的标准单跨单元,结构的步距和层高都已确定,节点连接处的刚度是影响自振周期的主要因素。 展开更多
关键词 脚手架 插盘式 半刚性 节点 自振周期
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刚性参考系与转盘几何 被引量:1
11
作者 高思杰 梁灿彬 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期211-213,共3页
给出了刚性参考系及其空间几何的定义并推出了转盘观者的空间几何.讨论了刚性参考系与稳态参考系的联系与区别.
关键词 刚性参考系 转盘参考系 转盘几何 相对论
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套筒式高温高压电磁阀研制 被引量:2
12
作者 李杨 徐林 +1 位作者 陈黎明 祝捷 《阀门》 2009年第5期6-7,共2页
介绍了套筒式高温高压电磁阀的技术参数、工作原理和技术特点,论述了套筒与阀体分离式密封结构、组合式阀瓣及适用于高温的高压差和低压差状态的低泄漏与长寿命刚性阀座密封副等先进结构的设计。
关键词 高温高压电磁阀 套筒 组合式阀瓣 刚性阀座密封副
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基于ANSYS和ADAMS的煤矿胶轮车制动器制动仿真分析 被引量:2
13
作者 何科荣 肖丹 《煤矿机械》 北大核心 2014年第9期67-69,共3页
针对煤矿胶轮车的制动器工作性能进行分析和研究,以湿式多盘制动器为例,在UG中构建了制动器的三维模型,综合应用ADAMS和ANSYS对制动器刚柔耦合虚拟样机模型进行了制动仿真分析,通过仿真得到了煤矿胶轮车车轴在制动前后的变化曲线以及胶... 针对煤矿胶轮车的制动器工作性能进行分析和研究,以湿式多盘制动器为例,在UG中构建了制动器的三维模型,综合应用ADAMS和ANSYS对制动器刚柔耦合虚拟样机模型进行了制动仿真分析,通过仿真得到了煤矿胶轮车车轴在制动前后的变化曲线以及胶轮车单侧力矩的变化曲线。仿真结果证明制动器设计满足可靠性要求。 展开更多
关键词 刚柔耦合模型 虚拟样机技术 湿式多盘制动器
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弱刚度环类零件装夹变形的研究
14
作者 王欢 卢继平 +2 位作者 张程焱 曹博然 焦思程 《新技术新工艺》 2016年第4期42-46,共5页
弱刚度环类零件车削加工易变形,在装夹过程中产生的弹性形变是造成加工后形状误差的一个重要原因。将普通卧式车床上所使用的三爪自定心卡盘改良为扇形卡盘,分别计算了2种装夹方式产生的理论变形量,建立了影响装夹变形的各个因素与变形... 弱刚度环类零件车削加工易变形,在装夹过程中产生的弹性形变是造成加工后形状误差的一个重要原因。将普通卧式车床上所使用的三爪自定心卡盘改良为扇形卡盘,分别计算了2种装夹方式产生的理论变形量,建立了影响装夹变形的各个因素与变形量之间的函数关系,根据计算结果得到了扇形卡盘的最优结构参数,并通过有限元仿真实验,针对齿圈这类典型的弱刚度件的2种装夹方式进行了对比验证,为减小弱刚度环类零件的装夹变形提供了理论基础。 展开更多
关键词 环类零件 弱刚度 单位载荷法 扇形卡盘
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新型扣盘式钢管支模架受力特性的试验研究 被引量:8
15
作者 张志杨 应惠清 顾浩生 《结构工程师》 北大核心 2012年第2期127-133,共7页
对一种新型扣盘式钢管支模架的受力特性进行了系统的试验和理论研究,包括节点性能试验、单元体试验、支模架的足尺试验和节点刚度反分析。研究显示:扣盘式节点的强度明显高于传统的扣件式节点,具有更大的安全储备;支模架的破坏形态为无... 对一种新型扣盘式钢管支模架的受力特性进行了系统的试验和理论研究,包括节点性能试验、单元体试验、支模架的足尺试验和节点刚度反分析。研究显示:扣盘式节点的强度明显高于传统的扣件式节点,具有更大的安全储备;支模架的破坏形态为无侧移的立杆失稳破坏;设置斜撑对于提高支模架结构稳定性和力学性能有显著作用;扣盘式节点刚度介于刚接和铰接之间,且这一半刚性对支模架的承载力有显著影响,通过有限元计算和反分析可得出节点刚度值。 展开更多
关键词 扣盘式 节点试验 基本单元体 支模架试验 半刚性 反分析
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类金刚石碳膜在硬磁盘中的应用 被引量:1
16
作者 周坤 曹伟民 周瑞花 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第1期58-61,65,共5页
射频离解烃制备了适用于5英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于5%,硬度15.2GPa,结合力331MPa。无润滑下头盘摩擦系数μ≤0.26,脉动值Δμ≤0.05。最佳效果是在添加润滑... 射频离解烃制备了适用于5英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于5%,硬度15.2GPa,结合力331MPa。无润滑下头盘摩擦系数μ≤0.26,脉动值Δμ≤0.05。最佳效果是在添加润滑油的组合润滑下得到,μ≤0.14,Δμ≤0.04.电磁动态特性和读写试验表明,40nm类金刚石碳保护盘达到实用水平。 展开更多
关键词 类金刚石碳 保护膜 硬磁盘 减摩耐磨
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探测器对超音速刚性盘-缝-带型降落伞系统的影响 被引量:1
17
作者 龚升 吴锤结 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期890-901,共12页
研究了流体初始马赫数为2.0时,探测器的存在与否对刚性盘-缝-带型降落伞系统气动减速性能以及流场流体结构特性的影响.对于非定常可压缩流体的数值模拟,流场采用了三层块结构自适应网格加密技术,配合混合形式的TCD (tuned center differ... 研究了流体初始马赫数为2.0时,探测器的存在与否对刚性盘-缝-带型降落伞系统气动减速性能以及流场流体结构特性的影响.对于非定常可压缩流体的数值模拟,流场采用了三层块结构自适应网格加密技术,配合混合形式的TCD (tuned center difference)和WENO (weighted essentially non-oscillatory)计算格式以及基于拉伸涡亚格子模型的大涡模拟方法来处理超音速流中的激波以及大尺度湍流旋涡结构等.结果表明:无探测器时,降落伞系统的流场结构稳定,扰动较小;有探测器存在时,探测器后端的湍流尾迹和伞衣内部逆向运动溢出的流体与伞衣前端的弓形激波周期性的相互作用,使得激波位置发生前移、激波倾角变小,伞衣内部流场难以达到平衡稳定状态.这加剧了降落伞系统的气动阻力振荡脉动变化,降低了降落伞系统气动阻力系数,同时也使得降落伞系统流场尾迹结构更加复杂. 展开更多
关键词 非定常可压缩流体 自适应网格加密 超音速流 刚性盘-缝-带型降落伞 大涡模拟
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化学镀高密度金属薄膜磁记录介质硬盘片的制作
18
作者 关宏美 《计算机研究与发展》 EI CSCD 北大核心 1992年第9期42-50,共9页
本文讨论了化学镀硬盘存在的技术问题,提出了解决方案.报导了加入有机基质的化学镀Co-P磁介质的电磁性能和等离子体离解烃沉积类金刚石碳保护膜与全氟聚醚润滑油的初步使用效果,并给出了硬磁盘的制作工艺过程.
关键词 化学镀 硬盘 金属薄膜 磁记录介质
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掘进机截割部一级行星盘疲劳可靠性优化设计 被引量:1
19
作者 李明昊 赵丽娟 +1 位作者 乔捷 罗冰 《煤矿机械》 2022年第5期104-107,共4页
行星盘作为掘进机的关键零部件,其疲劳可靠性对掘进机的可靠性有着重要的影响。基于虚拟样机技术,构建掘进机刚柔耦合联合仿真平台。分析截割部行星盘的动力学特性,获得行星盘的薄弱环节。基于应力-强度干涉理论,利用蒙特卡洛法模拟得... 行星盘作为掘进机的关键零部件,其疲劳可靠性对掘进机的可靠性有着重要的影响。基于虚拟样机技术,构建掘进机刚柔耦合联合仿真平台。分析截割部行星盘的动力学特性,获得行星盘的薄弱环节。基于应力-强度干涉理论,利用蒙特卡洛法模拟得到行星盘的疲劳寿命可靠度。构建行星盘的优化设计评价函数,利用遗传算法得到行星盘设计变量的最优解。优化后的行星盘可靠性得到提升。将刚柔耦合虚拟样机技术、应力-强度干涉理论和遗传算法相结合,为设计高可靠性的采掘机械关键零件提供理论方法和重要的数据支撑。 展开更多
关键词 掘进机 刚柔耦合 行星盘 可靠性 遗传算法 优化设计
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公用机房软件系统维护和管理
20
作者 李恬 张红 徐光 《重庆工业管理学院学报》 1999年第1期90-94,共5页
概述了当前公用机房各种软件系统安全的保护法,并着重分析了使用Novel网来管理公用机房的几种形式。
关键词 NOVELL网络 维护 机房 安全 公用机房 软件系统
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