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基于增强现实显示的双通道光波导元件设计
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作者 牟达 谢蕙阳 +2 位作者 吴博琦 张易 秦箫 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2024年第5期1-8,共8页
增强现实(AR)是一种将虚拟影像叠加到现实环境的显示设备,在军事、医疗等领域具有广阔的应用前景。为提高AR显示系统的视场角,使用亚波长光栅作为双通道光波导耦合元件,基于矢量衍射理论调制光栅±1级衍射效率,并通过严格耦合波分析... 增强现实(AR)是一种将虚拟影像叠加到现实环境的显示设备,在军事、医疗等领域具有广阔的应用前景。为提高AR显示系统的视场角,使用亚波长光栅作为双通道光波导耦合元件,基于矢量衍射理论调制光栅±1级衍射效率,并通过严格耦合波分析法(RCWA)对光栅进行仿真分析。仿真结果显示,单通道波导结构在50°视场下衍射效率在60%以上,双通道波导结构在100°视场下平均衍射效率达到70%以上,且双通道波导在400~800 nm波段范围内最低衍射效率在60%以上,转置光栅分区反射效率分别为30%、35%、32%。结果表明,相较单通道波导,双通道波导结构可以实现更大的视场角。 展开更多
关键词 增强现实 视场角 严格耦合波分析 衍射光波导 表面浮雕光栅
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用于增强现实显示设备的表面浮雕光栅元件的设计
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作者 谢蕙阳 牟达 +2 位作者 张悦 李堂玥 夏鹏宇 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第4期849-857,共9页
增强现实(augmented reality,AR)系统是一种将虚拟影像叠加到现实环境的显示系统,光波导是AR显示系统的核心元件,可以实现系统的微型化与轻量化。光波导耦合元件衍射效率的高低极大地影响AR显示系统的成像质量,为提高AR显示系统中耦合... 增强现实(augmented reality,AR)系统是一种将虚拟影像叠加到现实环境的显示系统,光波导是AR显示系统的核心元件,可以实现系统的微型化与轻量化。光波导耦合元件衍射效率的高低极大地影响AR显示系统的成像质量,为提高AR显示系统中耦合元件的衍射效率,该文提出了一种多层光栅叠加的波导结构,基于矢量衍射理论,采用严格耦合波分析法对光栅进行仿真分析。仿真结果显示:单层倾斜光栅的平均衍射效率在50°视场角范围内达到60%,3层光栅叠加的波导结构平均衍射效率达到85%以上,较单层光栅衍射效率提高了25%。分析结果表明,多层光栅叠加的波导结构可以实现更大的视场角与衍射效率,使AR显示系统具有更清晰的视场。 展开更多
关键词 浮雕光栅 衍射效率 严格耦合波分析 增强现实 衍射光波导
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Diffraction of an ultrashort pulsed beam with arbitrary polarization state from a volume holographic grating in LiNbO3 crystals
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作者 王春花 刘立人 +3 位作者 闫爱民 周煜 刘德安 胡志娟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第1期100-105,共6页
Based on a modified coupled wave theory of Kogelnik, we have studied the diffraction of an ultrashort pulsed beam with an arbitrary polarization state from a volume holographic grating in photorefractive LiNbO3 crysta... Based on a modified coupled wave theory of Kogelnik, we have studied the diffraction of an ultrashort pulsed beam with an arbitrary polarization state from a volume holographic grating in photorefractive LiNbO3 crystals. The results indicate that the diffracted intensity distributions in the spectral and temporal domains and the diffraction efficiency of the grating are both changed by the polarization state and spectral bandwidth of the input pulsed beam. A method is given of choosing the grating parameters and input conditions to obtain a large variation range of the spectral bandwidth of the diffracted pulsed beam with an appropriate diffraction efficiency. Our study presents a possibility of using a volume holographic grating recorded in anisotropic materials to shape a broadband ultrashort pulsed beam by modulating its polarization state. 展开更多
关键词 diffraction optics coupled wave theory volume holographic grating ultrashort pulsed beam
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可见光宽入射角度金属偏振分束光栅的消光比特性研究
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作者 孙国斌 张锦 +3 位作者 季雪淞 胡驰 蒋世磊 刘严严 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期89-98,共10页
设计出一种工作在可见光波段宽入射角度范围具有高消光比的金属偏振分束光栅。采用等效介质理论对金属偏振分束光栅原理进行定性分析,利用严格耦合波理论和时域有限差分法对金属Al光栅进行数值仿真并详细分析了结构参数中周期、高度以... 设计出一种工作在可见光波段宽入射角度范围具有高消光比的金属偏振分束光栅。采用等效介质理论对金属偏振分束光栅原理进行定性分析,利用严格耦合波理论和时域有限差分法对金属Al光栅进行数值仿真并详细分析了结构参数中周期、高度以及光波长和入射角度等参数对偏振特性的影响。结果表明:当Al光栅占空比为0.5,周期为0.15μm,光栅脊高度为0.15μm时,在0.4~0.7μm波段和45°±10°入射角范围内,该金属偏振光栅对TM波高透射,对TE波高反射,光栅透射消光比平均35 dB,反射消光比平均12 dB,最后对制作的金属偏振光栅进行消光比测量,验证了设计结果的正确性。该研究结果对设计和制备高衍射效率、高消光比、宽波段宽入射角度范围的偏振分束器具有较好的实践指导价值。 展开更多
关键词 亚波长金属光栅 偏振分束 等效介质理论 严格耦合波理论 时域有限差分法
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自溯源光栅衍射效率的分析与研究
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作者 梁利杰 刘丽琴 +7 位作者 管钰晴 孙佳媛 邹文哲 郭创为 张玉杰 褚小要 郭斌 雷李华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第11期291-299,共9页
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计... 基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。 展开更多
关键词 自溯源光栅 严格耦合波方法 衍射效率 Littrow角 测量
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用于光场成像的超构衍射光栅阵列优化
6
作者 郭晨光 王文雯 +5 位作者 郝绍坤 林怡彬 周雄图 张永爱 吴朝兴 郭太良 《光电子技术》 CAS 2023年第1期26-33,共8页
为提高矢量光场显示亮度和视角均匀性,提出了一种应用于圆偏振光场成像的超构光栅结构。利用严格耦合波分析,逐像素对超构光栅结构进行仿真,研究了入射光偏振状态、光栅结构、入射角度对-1级光衍射效率的影响规律。仿真结果表明,圆偏振... 为提高矢量光场显示亮度和视角均匀性,提出了一种应用于圆偏振光场成像的超构光栅结构。利用严格耦合波分析,逐像素对超构光栅结构进行仿真,研究了入射光偏振状态、光栅结构、入射角度对-1级光衍射效率的影响规律。仿真结果表明,圆偏振光显示可以使得光栅衍射效率稳定高效,当光栅周期为500 nm时,与基于TE和TM设计的光栅结构相比,圆偏振光设计的光栅结构衍射效率提高了18.5%和2.6%;光栅高度和占空比对衍射效率具有明显的影响。综合考虑光栅制备难度、衍射效率和视角均匀性,设计了一种高度为0.6μm,占空比为0.4的光栅阵列结构应用于圆偏振光场显示,系统衍射效率可以达到40%以上,具有较优的综合性能,对超构光栅设计制备和裸眼3D显示具有一定指导意义。 展开更多
关键词 纳米光栅 衍射效率 严格耦合波分析 光场显示 裸眼3D显示
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用于表面增透的二元光学结构模拟
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作者 张妹玉 《闽江学院学报》 2023年第2期1-8,共8页
采用退火算法,以台阶模型作为基础,在纯石英玻璃基底上,以光线入射角度0°~70°,波长0.3~1.2μm范围内的s光与p光最小反射率作为优化目标,对单层、4层和6层二维台阶表面结构中的各层厚度和等效折射率进行了优化,得到优化后的各... 采用退火算法,以台阶模型作为基础,在纯石英玻璃基底上,以光线入射角度0°~70°,波长0.3~1.2μm范围内的s光与p光最小反射率作为优化目标,对单层、4层和6层二维台阶表面结构中的各层厚度和等效折射率进行了优化,得到优化后的各层等效折射率和物理厚度,以二阶等效介质理论为基础计算各层的占空比,得到了由多层台阶组成的表面微结构。同时,分别采用传递矩阵方法和严格耦合波理论计算单层、4层和6层二维表面台阶微结构的表面反射率,对比了二阶等效介质理论和严格耦合波理论方法计算得到的表面反射曲线。使用这一方法设计的多台阶二元光学表面结构具备宽光谱大角度薄膜增透效果,对模拟设计并制备最优性能的表面增透微结构具有指导意义。 展开更多
关键词 退火算法 台阶微结构 二阶等效介质理论 严格耦合波理论
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亚波长光栅的衍射效率 被引量:9
8
作者 张泽全 黄元申 +2 位作者 庄松林 饶小红 沈国土 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期667-672,共6页
本文使用矢量衍射理论—严格的耦合波理论对亚波长光栅的衍射效率进行了数值计算,得到在不同光栅参数时亚波长光栅的衍射效率,对影响光栅衍射效率的各个光栅参数分别进行分析,讨论了光栅在光栅参数变化时的衍射特性,给出衍射效率随光栅... 本文使用矢量衍射理论—严格的耦合波理论对亚波长光栅的衍射效率进行了数值计算,得到在不同光栅参数时亚波长光栅的衍射效率,对影响光栅衍射效率的各个光栅参数分别进行分析,讨论了光栅在光栅参数变化时的衍射特性,给出衍射效率随光栅各个参数的变化曲线。由结果可知亚波长光栅的衍射效率随光栅槽的深度以及光栅占空比有着规律性的变化,选取不同的光栅参数就可得到完全不同的衍射效率,这样就为设计出所需要的光栅滤波特性提供了制造依据。 展开更多
关键词 耦合波理论 衍射效率 亚波长光栅 防伪技术
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取样光栅的设计及衍射行为研究 被引量:12
9
作者 刘全 吴建宏 李朝明 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期398-400,422,共4页
设计了用于惯性约束核聚变系统的取样光栅。利用光全息学的基本原理,设计了记录全息取样光栅掩模的消像差光学系统,并使用光学设计软件ZEMAX分析了它的像差;还利用严格耦合波理论对取样光栅的衍射效率问题进行了深入的研究。研究发现,... 设计了用于惯性约束核聚变系统的取样光栅。利用光全息学的基本原理,设计了记录全息取样光栅掩模的消像差光学系统,并使用光学设计软件ZEMAX分析了它的像差;还利用严格耦合波理论对取样光栅的衍射效率问题进行了深入的研究。研究发现,在占宽比和槽深这两个光栅结构参量中,槽深的变化对衍射效率更敏感。这些都为取样光栅的实际制作提供了有意义的结果。 展开更多
关键词 衍射光学 取样光栅 光学设计 衍射效率 严格耦合波理论
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矩形光栅的衍射特性 被引量:8
10
作者 王鹏 徐毓光 +2 位作者 余勤跃 顾铮先 赖芳良 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第5期446-450,共5页
本文采用严格的一阶耦合波理论,对矩形光栅的衍射特性进行了分析,给出了TE模和TM模同时具有很高的衍射效率时的光栅结构.计算表明:只有在满足Bragg衍射条件时,TE模和TM模才能达到峰值衍射效率.为了验证理论与编制程... 本文采用严格的一阶耦合波理论,对矩形光栅的衍射特性进行了分析,给出了TE模和TM模同时具有很高的衍射效率时的光栅结构.计算表明:只有在满足Bragg衍射条件时,TE模和TM模才能达到峰值衍射效率.为了验证理论与编制程序的正确性。 展开更多
关键词 光栅 耦合波理论 光栅周期 衍射效率 矩形
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光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论 被引量:7
11
作者 蔡托 桑田 赵华 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期141-146,共6页
本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作... 本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发,推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法——严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性,编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序,并以TE模情形为例对光栅的衍射效率和收敛性作了数值计算。结果表明,当谐波数不断增加,即便对于厚光栅(d/λ>10)情形,光栅的衍射效率仍将收敛于某一确定值。 展开更多
关键词 衍射光栅 严格的耦合波分析方法 衍射效率 收敛性
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利用陷光结构增加硅薄膜太阳能电池的吸收效率 被引量:9
12
作者 沈宏君 李婷 +2 位作者 卢辉东 黄仙健 李新兰 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期816-822,共7页
提出了一种含有光锥光子晶体防反射层和四棱锥光栅背反射层的a-Si薄膜太阳能电池结构,吸收层厚1μm,总厚度为1.45μm。根据光子晶体及亚波长光栅的衍射特性,利用严格耦合波方法对器件参数进行了优化。计算结果表明:当光锥结构倾角θ=72... 提出了一种含有光锥光子晶体防反射层和四棱锥光栅背反射层的a-Si薄膜太阳能电池结构,吸收层厚1μm,总厚度为1.45μm。根据光子晶体及亚波长光栅的衍射特性,利用严格耦合波方法对器件参数进行了优化。计算结果表明:当光锥结构倾角θ=72°、晶格常数T1=1 200 nm、介质底半径r=100 nm时,防反射层的透射率较高,在300-600 nm波长范围内,该薄膜太阳能电池的吸收效率比不含防反射层电池提高了11.54%;当四棱锥光栅结构周期L=1.2μm、占空比f=0.38、槽深h5=560 nm时,背反射层的反射效果较好,在600-850 nm波长范围内,电池的吸收效率提高了3.75%。所设计的薄膜电池结构在波长为300-750 nm、入射角为0°-75°范围内的吸收效率均在80%以上,平均吸收效率达92%,满足太阳电池对宽频谱、广角度的光俘获的要求。 展开更多
关键词 薄膜太阳能电池 光子晶体 亚波长光栅 严格耦合波 衍射效率
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亚波长金属光栅偏振器设计 被引量:8
13
作者 孟凡涛 褚金奎 +1 位作者 韩志涛 赵开春 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第4期269-272,共4页
针对仿生微纳导航传感器敏感波段380~520nm的要求,基于严格耦合波理论,设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器,并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理.所设计的金属光栅偏振器与传统的金属光栅偏振器的不... 针对仿生微纳导航传感器敏感波段380~520nm的要求,基于严格耦合波理论,设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器,并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理.所设计的金属光栅偏振器与传统的金属光栅偏振器的不同之处在于:在基底和金属线栅之间增加了氟化镁薄膜,并且刻蚀一部分氟化镁薄膜.在垂直入射条件下,在整个可见光波段,金属光栅偏振器TN透射效率大于61.5%,消光比大于370;数值计算和理论分析表明,所设计的金属光栅偏振器是一种宽带宽、高TN透射效率和高消光比的偏振器件. 展开更多
关键词 亚波长光栅 金属光栅偏振器 严格耦合波理论 等效介质理论
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超短脉冲激光光束在一维反射型体全息光栅中的衍射 被引量:7
14
作者 王春花 闫爱民 +3 位作者 刘立人 刘德安 王欣 曲伟娟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1803-1807,共5页
基于Kogelnik的耦合波理论,研究了在色散效应的影响下,超短脉冲激光光束在反射型体全息光栅中衍射的性质·研究给出了衍射光及透射光在频谱域及时间域的振幅及强度分布、光栅的光谱宽度及衍射效率随光栅参量及入射条件的变化·... 基于Kogelnik的耦合波理论,研究了在色散效应的影响下,超短脉冲激光光束在反射型体全息光栅中衍射的性质·研究给出了衍射光及透射光在频谱域及时间域的振幅及强度分布、光栅的光谱宽度及衍射效率随光栅参量及入射条件的变化·数值研究的结果表明,在光栅记录介质色散效应的影响下,衍射光束的光谱宽度减小,脉冲展宽,衍射效率降低·通过适当的选取光栅参量及入射条件,可以控制衍射和透射光束的频谱和时间强度分布,得到满意的衍射和透射光束的带宽和波形,从而可以将其应用于脉冲整形等技术中· 展开更多
关键词 衍射 耦合波理论 体全息光栅 超短脉冲光束
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高衍射效率亚波长结构Dammann光栅的设计 被引量:5
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作者 颜树华 彭金璋 +1 位作者 徐琰 张军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期84-88,共5页
传统的Dammann光栅是基于标量衍射理论设计的二值相位等光强分束器件,其衍射效率的典型值为80%左右.基于严格耦合波分析理论和遗传算法,提出了一种设计亚波长结构Dammann光栅的新方法,且该新型二值相位光栅具有较高的衍射效率.同时利用... 传统的Dammann光栅是基于标量衍射理论设计的二值相位等光强分束器件,其衍射效率的典型值为80%左右.基于严格耦合波分析理论和遗传算法,提出了一种设计亚波长结构Dammann光栅的新方法,且该新型二值相位光栅具有较高的衍射效率.同时利用自编的仿真程序包设计了多个光栅,并分析了制作误差对其衍射效率和光强均匀性的影响.仿真结果表明,用该方法所设计的Dammann光栅的衍射效率超过92%. 展开更多
关键词 二元光学 亚波长结构Dammann光栅 严格耦合波分析 遗传算法 高衍射效率
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双层纳米光栅微位移检测仿真 被引量:5
16
作者 王宾 李孟委 +2 位作者 吴倩楠 耿浩 王高 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第4期6-9,共4页
针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结... 针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结果表明:这2种双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随第二层纳米光栅结构的位移移动量周期性变化,通过探测纳米光栅的衍射效率来获得面内或者离面的位移移动量。 展开更多
关键词 位移传感器 高精度 纳米光栅 严格耦合波理论 衍射效率 仿真
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基于严格耦合波理论的新型耦合光栅分析 被引量:5
17
作者 尤勐 黄战华 蔡怀宇 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期262-266,共5页
针对波导全息平视器中一种新型的耦合光栅结构,基于严格耦合波理论数值分析了其衍射特性,同时对光栅的工艺容差进行了分析,计算了膜厚、槽深、周期与入射波长对耦合效率的影响.该光栅以波导板中内嵌的闪耀光栅锯齿面作基底,镀高折射率... 针对波导全息平视器中一种新型的耦合光栅结构,基于严格耦合波理论数值分析了其衍射特性,同时对光栅的工艺容差进行了分析,计算了膜厚、槽深、周期与入射波长对耦合效率的影响.该光栅以波导板中内嵌的闪耀光栅锯齿面作基底,镀高折射率的膜层后,覆盖锯齿状的金属膜层.计算结果表明:对于波长532,nm的TE偏振光,空气中0°入射的一级衍射效率可大于90%;当空气中入射光的纵向角在[-8°,12°]、横向角在[-15°,15°]内变化时,一级衍射效率可大于82%且保持平稳.该光栅可在波导全息平视器中,对大视场成像光束进行均匀、高效的耦合. 展开更多
关键词 光栅 衍射效率 严格耦合波理论
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体全息光栅透镜的设计和应用 被引量:10
18
作者 闫爱民 刘立人 刘德安 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期280-283,共4页
设计了一种新型的体全息光栅透镜,在一块光学平板 (体全息记录材料 )内可以将输入光束产生横向传输并聚焦,或对输入光点产生横传的准直 它由一束平面波和一束球面波正交入射到光学平板上干涉形成的 研究了该体全息透镜的光栅间距变化... 设计了一种新型的体全息光栅透镜,在一块光学平板 (体全息记录材料 )内可以将输入光束产生横向传输并聚焦,或对输入光点产生横传的准直 它由一束平面波和一束球面波正交入射到光学平板上干涉形成的 研究了该体全息透镜的光栅间距变化情况,为设计和制备体全息光栅透镜及相关器件提供了理论依据 基于两光束耦合波理论,得到了该光栅透镜的耦合波方程,近似计算了该透镜的衍射效率及其达到高衍射效率时透镜的最佳尺寸 最后,讨论了该透镜在集成光学等领域中的应用 。 展开更多
关键词 体全息透镜 耦合波理论 衍射效率
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光栅的标量衍射理论与耦合波理论的分析比较 被引量:24
19
作者 刘全 吴建宏 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期31-34,共4页
光栅的标量衍射理论是计算衍射效率的一种近似方法 ;耦合波理论是分析光栅衍射的严格方法。本文详尽地分析了这两种方法在计算具体的光栅衍射问题时的异同 ,从中得出了有意义的结论 :光栅的标量衍射理论的近似是有条件的 ,光栅周期和光... 光栅的标量衍射理论是计算衍射效率的一种近似方法 ;耦合波理论是分析光栅衍射的严格方法。本文详尽地分析了这两种方法在计算具体的光栅衍射问题时的异同 ,从中得出了有意义的结论 :光栅的标量衍射理论的近似是有条件的 ,光栅周期和光栅槽形就是影响这一近似条件的两大因素。 展开更多
关键词 光栅 标量衍射理论 耦合波理论 傅里叶变换 衍射效率
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闪耀光栅的衍射特性研究 被引量:7
20
作者 樊叔维 周庆华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期41-44,共4页
为了系统研究闪耀光栅的衍射特性,分析光栅结构参量对其衍射效率的影响,采用严格的耦合波分析方法,得到了闪耀光栅的槽顶角、闪耀角等结构参量以及波长与衍射效率的关系。结果表明,随着槽顶角的增大,闪耀角向减少的方向移动,衍射效率则... 为了系统研究闪耀光栅的衍射特性,分析光栅结构参量对其衍射效率的影响,采用严格的耦合波分析方法,得到了闪耀光栅的槽顶角、闪耀角等结构参量以及波长与衍射效率的关系。结果表明,随着槽顶角的增大,闪耀角向减少的方向移动,衍射效率则向降低的方向移动;槽顶角一定时,随着光波长的增大,衍射效率降低,同时闪耀角向增大的方向移动;同时分析了闪耀光栅的偏振现象。分析结果可为闪耀光栅的设计提供参考依据。 展开更多
关键词 衍射与光栅 衍射效率 严格耦合波分析 光栅结构参量
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