半导体薄膜及外延层材料摇摆曲线的动态模拟

应用Bede RADS软件对半导体和外延层晶体结构的摇摆曲线进行动态模拟。通过理论上的实验条件对复杂结构的材料(包括不同组成、厚度以及量子阱数等)进行模拟。以GaAllnAs外延层为例,拟合出不同条件下的摇摆曲线,希望对材料的生长有较大的指导意义。