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在室温衬底上用真空蒸发CuInSe_2薄膜的方法
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作者 方宝贤 陈二永 +1 位作者 王东城 廖华 《云南师范大学学报(自然科学版)》 1993年第3期53-56,共4页
本文提出一个制造CuInSe_2薄膜的新途径,在室温衬底上在真空中加热蒸发铜铟与硒的元素,后在空气中热处理,制出的薄膜为黄铜矿结构及具有制造太阳电池需要的性能。有利于简化生产工艺,工业化、廉价地生产太阳电池。
关键词 真空蒸发 薄膜 太阳能电池 CIS薄膜
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