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Ru-Ti和Ir-Ta不同组合涂层钛阳极的组织形貌 被引量:12
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作者 陈永毅 王欣 +1 位作者 邵艳群 唐电 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期689-694,共6页
采用热分解法在500℃制得Ru-Ti和Ir-Ta不同组合涂层的钛阳极,通过XRD和SEM测试手段分析阳极涂层的显微形貌和相组织。结果表明:Ti/Ir-Ta/Ru-Ti的涂层物相为IrO2和金红石结构的(Ti,Ru)O2、(Ru,Ti)O2;Ti/Ru-Ti/Ir-Ta的涂层除有上述物相之... 采用热分解法在500℃制得Ru-Ti和Ir-Ta不同组合涂层的钛阳极,通过XRD和SEM测试手段分析阳极涂层的显微形貌和相组织。结果表明:Ti/Ir-Ta/Ru-Ti的涂层物相为IrO2和金红石结构的(Ti,Ru)O2、(Ru,Ti)O2;Ti/Ru-Ti/Ir-Ta的涂层除有上述物相之外,还有锐钛矿相;Ti/Ru-Ti-Ir-Ta的涂层物相为金红石结构的(Ti,Ru,Ir)O2和(Ir,Ti,Ru)O2;钽元素以非晶态形式存在;不同尺寸离子的协调分布有助于减小晶格畸变;涂层的显微形貌具有组织外延性生长特点,Ti/Ir-Ta/Ru-Ti阳极的形貌主要表现为蜂窝状,Ti/Ru-Ti/Ir-Ta和Ti/Ru-Ti/Ir-Ta阳极的形貌主要表现为泥裂状。 展开更多
关键词 ru-ti Ir-Ta 钛阳极 组织形貌
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添加Ir Sn Co元素对Ru-Ti阳极的显微结构及电化学行为的影响 被引量:7
2
作者 鞠鹤 潘会波 陈凤云 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 1992年第1期52-56,共5页
通过SEM扫描、X光衍射及极化曲线、抗钝化寿命测试,研究了添加Ir,Sn,Co元素后Ru-Ti阳极的电化学行为。结果表明,RuIrTiSnCo阳极较Ru-Ti阳极具有优异的电化学性能,即好的导电性、电催化性及抗钝化能力。
关键词 活性阳极 电化学行为 钝化 ru-ti
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添加Sn组元对Ru-Ti-Ir阳极涂层的改性研究 被引量:8
3
作者 王科 韩严 +2 位作者 王均涛 张晓玲 孙玉璞 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期159-164,共6页
应用热分解法制备不同Sn含量的Ru-Ti-Ir-Sn氧化物阳极涂层,SEM、EDX、XRD、析氯电位、电流效率及循环伏安和电化学阻抗谱等实验表明,Ru-Ti-Ir经添加Sn组元后,该阳极涂层表面形貌发生了很大变化,Sn组元的添加不仅有利于该阳极涂层析氯电... 应用热分解法制备不同Sn含量的Ru-Ti-Ir-Sn氧化物阳极涂层,SEM、EDX、XRD、析氯电位、电流效率及循环伏安和电化学阻抗谱等实验表明,Ru-Ti-Ir经添加Sn组元后,该阳极涂层表面形貌发生了很大变化,Sn组元的添加不仅有利于该阳极涂层析氯电位的降低,而且能够有效提高其电流效率. 展开更多
关键词 热分解法 ru-ti-Ir阳极涂层 Sn元素
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Ru-Ti-Ir-Sn氧化物涂层阳极的研究 被引量:14
4
作者 侯志强 韩严 《材料开发与应用》 CAS 2002年第1期28-31,共4页
采用热分解法制备了不同组分的Ru Ti Ir Sn氧化物涂层阳极 ,从涂层的电化学性能测试和物理性能分析得出 :添加Ir、Sn氧化物 ,虽然提高了电极的耐氧腐蚀 ,但降低了电极的析氯催化活性 ,阳极涂层表面形貌疏松 ,涂层中含有较多的TiO2 (A)... 采用热分解法制备了不同组分的Ru Ti Ir Sn氧化物涂层阳极 ,从涂层的电化学性能测试和物理性能分析得出 :添加Ir、Sn氧化物 ,虽然提高了电极的耐氧腐蚀 ,但降低了电极的析氯催化活性 ,阳极涂层表面形貌疏松 ,涂层中含有较多的TiO2 (A)相和α Ti相 。 展开更多
关键词 ru-ti-Ir-Sn氧化物 热分解法 阳极涂层 海水 阴极保护 电解 耐腐蚀性
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热处理对Ru-Ti-Ir-Ta四元氧化物涂层组织结构的影响
5
作者 陈永毅 王欣 +1 位作者 邵艳群 唐电 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1782-1787,共6页
采用热分解法制备Ru-Ti-Ir-Ta四元金属氧化物钛阳极涂层。通过XRD、SEM、EDX和HRTEM等测试手段分析不同温度下钛阳极涂层的物相组织结构、晶粒大小、组元分布和微观形貌。结果表明:在500℃获得的涂层物相主要由等轴状的Ti基(Ti,Ru,Ir)O2... 采用热分解法制备Ru-Ti-Ir-Ta四元金属氧化物钛阳极涂层。通过XRD、SEM、EDX和HRTEM等测试手段分析不同温度下钛阳极涂层的物相组织结构、晶粒大小、组元分布和微观形貌。结果表明:在500℃获得的涂层物相主要由等轴状的Ti基(Ti,Ru,Ir)O2和Ir基(Ir,Ti,Ru)O2金红石固溶体构成,晶粒尺寸分别约为15nm和8nm,涂层形貌呈典型"泥裂状",涂层表面出现一次裂纹和二次裂纹;在700℃获得的涂层组成相以Ir基(Ir,Ti,Ru)O2和Ti基(Ti,Ru,Ir)O2金红石固溶体为主,平均晶粒尺寸分别约为18nm和12nm,含有少量的平均晶粒尺寸约为29nm的Ru基(Ru,Ti,Ir)O2金红石固溶体。3种固溶体的晶粒形貌均以等轴状为主,涂层表面形貌具有"泥裂状"特征,涂层表面出现一次裂纹、二次裂纹以及三次裂纹,Ir和Ru以固溶相的形式在二次裂纹边缘处析出。 展开更多
关键词 ru-ti-Ir-Ta四元氧化物涂层 钛阳极 纳米材料 热处理
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Mo-Ru-Ti三元系相平衡的实验研究
6
作者 王翠萍 吴丹 +6 位作者 李玲玲 张锦彬 杨水源 杨木金 韩佳甲 卢勇 刘兴军 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期3669-3675,共7页
利用电子探针成分分析和X射线衍射分析等技术建立了Mo-Ru-Ti三元系的1100和1300℃等温截面相图。结果表明:在1100℃等温截面相图中存在3个三相区,而1300℃等温截面相图中存在2个三相区;在1100℃等温截面中,由于Ti的加入,σ-Mo5Ru3相被... 利用电子探针成分分析和X射线衍射分析等技术建立了Mo-Ru-Ti三元系的1100和1300℃等温截面相图。结果表明:在1100℃等温截面相图中存在3个三相区,而1300℃等温截面相图中存在2个三相区;在1100℃等温截面中,由于Ti的加入,σ-Mo5Ru3相被稳定化并形成一个小单相区;在1100和1300℃等温截面相图中,β(Ti,Mo)相均从富Mo侧一直延伸至富Ti侧,并且具有较大的固溶度。Mo-Ru-Ti三元系相平衡的测定为Ti基合金热力学数据库的建立提供了基础理论信息。 展开更多
关键词 Mo-ru-ti 相图 钛合金 电子探针分析
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Ru-Ti-Sn/Ti三元氧化物金属阳极的析氧性能 被引量:9
7
作者 金向军 李晓萍 +1 位作者 林海波 王新庄 《化学与粘合》 CAS 2003年第3期149-150,共2页
本文用一般电极性能测试方法考察了Ru-Sn-Ti/Ti三元氧化物涂层阳极的电极寿命和析氧活性。实验表明,与Ru-Ti/Ti、Ru-Ti-Ir/Ti氧化物阳极比较,Ru-Sn-Ti/Ti阳极具有一定的析氧活性和抗氧化作用。
关键词 三元氧化物涂层 金属阳极 寿命 析氧活性 电化学过程
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使用钛涂钌和钛基二氧化铅作为阳极电解法制备次磷酸的研究 被引量:5
8
作者 王福生 韩晓丽 +2 位作者 谢藏娥 宋兵魁 张宝贵 《南开大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期7-10,共4页
本文采用四室电渗析槽 ,分别以钛涂钌电极和钛基二氧化铅电极为阳极 ,不锈钢为阴极 ,进行了电解法制备次磷酸的实验研究 .并从阳极电位、产品浓度、产品效率等方面对两种阳极材料进行了综合比较 .
关键词 次磷酸 电解 钛涂钌电极 钛基二氧化铅电极
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铂、钌共修饰的氧化钛电极对甲醇的电催化氧化 被引量:6
9
作者 刘长鹏 杨辉 +1 位作者 邢巍 陆天虹 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第7期517-520,共4页
首次发现用电化学阴极还原 -阳极氧化法制得的 Pt-Ti Ox/Ti和 Pt-Ru-Ti Ox/Ti电极对甲醇氧化呈现出较高的电催化活性和稳定性 ,其中 Pt-Ru-Ti Ox/Ti电极比 Pt-Ti Ox/Ti电极具有更好的性能 .实验结果表明 ,这两种电极对甲醇氧化具有高电... 首次发现用电化学阴极还原 -阳极氧化法制得的 Pt-Ti Ox/Ti和 Pt-Ru-Ti Ox/Ti电极对甲醇氧化呈现出较高的电催化活性和稳定性 ,其中 Pt-Ru-Ti Ox/Ti电极比 Pt-Ti Ox/Ti电极具有更好的性能 .实验结果表明 ,这两种电极对甲醇氧化具有高电催化活性是由于 Pt、Ru得到了较好的分散 ,较好的稳定性可归结于Pt、Ru与 Ti Ox 协同作用导致弱的 CO吸附而使电极不易中毒 . 展开更多
关键词 甲醇 燃料电池 电催化氧化 燃料 氧化钛电极 修饰电极
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混凝电催化氧化深度处理垃圾渗滤液 被引量:6
10
作者 崔丽 许涛 +2 位作者 李虹翰 张立宝 梁吉艳 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 北大核心 2020年第4期407-411,共5页
为了有效减少垃圾渗滤液对环境造成的危害,采用不同混凝电催化氧化工艺对垃圾渗滤液进行深度处理.利用单因素法分别探究了不同混凝方法、电极类型、电极间距、电流密度等影响因素对垃圾渗滤液的处理效果.采用Ti/Ru-Ir电极对垃圾渗滤液进... 为了有效减少垃圾渗滤液对环境造成的危害,采用不同混凝电催化氧化工艺对垃圾渗滤液进行深度处理.利用单因素法分别探究了不同混凝方法、电极类型、电极间距、电流密度等影响因素对垃圾渗滤液的处理效果.采用Ti/Ru-Ir电极对垃圾渗滤液进行Ca(OH)2+PAM+FeCl3混凝预处理.结果表明,在电流密度为20 mA/cm2、电极间距为20 mm且反应时间为4 h条件下,COD、氨氮去除率较高.混凝电催化氧化工艺可以有效深度处理垃圾渗滤液. 展开更多
关键词 垃圾渗滤液 混凝 电催化氧化 深度处理 高浓有机废水 电化学 Ti/Ru-Ir电极 Ti/PbO2电极
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滨海电厂阴极保护用辅助阳极的性能比较 被引量:4
11
作者 田俊杰 刘刚 +1 位作者 庞其伟 韩冰 《腐蚀与防护》 CAS 2004年第1期21-23,共3页
海滨电厂海水循环管路大多采用外加电流阴极保护,外加电流系统中的辅助阳极性能决定着阴极保护系统能否正常工作,为此选取常用的含钌系辅助阳极进行性能实验,以期获得在电厂应用环境中性能较好,价格便宜的辅助阳极。由实验结果,综合考虑... 海滨电厂海水循环管路大多采用外加电流阴极保护,外加电流系统中的辅助阳极性能决定着阴极保护系统能否正常工作,为此选取常用的含钌系辅助阳极进行性能实验,以期获得在电厂应用环境中性能较好,价格便宜的辅助阳极。由实验结果,综合考虑,钌铱钛阳极较适合作为外加电流阴极保护的辅助阳极材料。 展开更多
关键词 辅助阳极 强化寿命 稳定性
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用钛钌阳极从氯化锰溶液电解二氧化锰的研究 被引量:5
12
作者 尹文新 韩跃新 +1 位作者 刘瑶 舒方霞 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期855-858,共4页
为了研究在氯盐溶液中用钛钌阳极电解二氧化锰的新技术,运用恒流水溶液电解方法考察了电解温度、电流密度和电解液组成对二氧化锰电流效率、槽电压及产品质量的影响.试验结果表明,在电解温度75℃、电流密度100 A/m2、锰离子质量浓度50 ... 为了研究在氯盐溶液中用钛钌阳极电解二氧化锰的新技术,运用恒流水溶液电解方法考察了电解温度、电流密度和电解液组成对二氧化锰电流效率、槽电压及产品质量的影响.试验结果表明,在电解温度75℃、电流密度100 A/m2、锰离子质量浓度50 g/L、盐酸质量浓度10 g/L的条件下,二氧化锰的电流效率达96%,槽电压为2.0 V,产品中二氧化锰的含量为92.32%,电解二氧化锰晶型为γ型.通过在氯盐溶液中用钛钌阳极电解二氧化锰,不仅产品质量能达到电池用电解二氧化锰标准,而且电解温度低(75℃),优于硫酸盐溶液体系(95℃). 展开更多
关键词 电解二氧化锰 氯化锰-盐酸体系 钛钌阳极 电流效率 γ-MnO2
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动态膜电解制备四价铀Ⅰ.装置建立及性能测试 被引量:4
13
作者 袁中伟 双红莹 +3 位作者 晏太红 郑卫芳 张宇 卞晓艳 《核化学与放射化学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期55-59,共5页
以钛涂钌铱网为阳极、钛网为阴极,建立了动态膜电解制备四价铀装置,测试了该装置的性能,比较了使用国产膜和进口膜时的电解性能,同时还探讨了制备过程中各参数的变化。研究结果表明:该装置能在电流密度高达120mA/cm2的情况下稳定运行;... 以钛涂钌铱网为阳极、钛网为阴极,建立了动态膜电解制备四价铀装置,测试了该装置的性能,比较了使用国产膜和进口膜时的电解性能,同时还探讨了制备过程中各参数的变化。研究结果表明:该装置能在电流密度高达120mA/cm2的情况下稳定运行;隔膜采用贝斯特Nepem-417膜或旭化成Aciplex-F4112膜,对电解结果无显著差异;对于500mL铀质量浓度为199g/L的料液,仅采用72cm2的钛涂钌铱网为阳极、钛网作为阴极,电解180min,四价铀产率可达到93.1%;电解前后阴极料液中肼浓度从0.52mol/L下降为0.30mol/L,酸浓度从2.20mol/L下降为0.70mol/L,槽压在3~3.6V内变动,阴极电解液温度低于45℃(室温28℃)。 展开更多
关键词 U(IV) 膜电解 钛涂钌铱 电解膜
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使用钛涂钌电极作为阳极电解法制备次磷酸的研究 被引量:2
14
作者 王福生 许芸芸 +2 位作者 韩晓丽 宋兵魁 张宝贵 《应用化工》 CAS CSCD 2004年第3期28-30,共3页
研究了以钛涂钌电极作为阳极,不锈钢作为阴极,采用四室电渗析槽电解法制备次磷酸的最佳工艺条件(如电解电流、电解时间、原料室次磷酸钠浓度等)。测量了电解过程中钛涂钌电极的阳极电位。结果显示钛涂钌电极在硫酸介质中,具有高的电催... 研究了以钛涂钌电极作为阳极,不锈钢作为阴极,采用四室电渗析槽电解法制备次磷酸的最佳工艺条件(如电解电流、电解时间、原料室次磷酸钠浓度等)。测量了电解过程中钛涂钌电极的阳极电位。结果显示钛涂钌电极在硫酸介质中,具有高的电催化活性和低的析氧电位,是非常省电的阳极材料,在最佳条件下制得的产品纯度高,各项指标都达到了分析纯的标准。该方法没有废物产生,不污染环境,符合清洁生产。 展开更多
关键词 次磷酸 钛涂钌电极 电解 清洁生产
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Ru-Pd/Sn-Sb/Ti电极性能表征及其在废水处理中的应用 被引量:7
15
作者 卢强 安立超 +2 位作者 钟秦 夏文文 王志良 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期696-701,共6页
向二氧化钌(RuO2)电极中添加钯(Pd),制作以钌钯氧化物为表层、锡锑氧化物为中间层的型稳阳极(DSA)电极,并将该电极用于硝基苯废水的处理。通过试验确定电极表层的最佳烧结温度为450℃,Ru与Pd的量比n(Ru)∶n(Pd)=0.65∶1,最佳涂层为5层... 向二氧化钌(RuO2)电极中添加钯(Pd),制作以钌钯氧化物为表层、锡锑氧化物为中间层的型稳阳极(DSA)电极,并将该电极用于硝基苯废水的处理。通过试验确定电极表层的最佳烧结温度为450℃,Ru与Pd的量比n(Ru)∶n(Pd)=0.65∶1,最佳涂层为5层锡锑中间层、18层钌钯表层;对电极的微观分析和电化学测试表明,电极涂层表面晶粒细小且结合紧密,电催化氧化能力较强。对硝基苯废水的处理结果表明,该电极能够有效地去除水中的有机物,且阳极对有机物的降解作用明显。 展开更多
关键词 Ru-Pd/Sn-Sb/Ti电极 电催化氧化 硝基苯 污水处理 性能
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Ti/RuO_2网状电极降解对硝基苯甲酸废水的研究 被引量:2
16
作者 李联 冯琬茹 +4 位作者 何平 张小娟 董发勤 陈阳 李洪 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期82-86,共5页
采用刷涂法制备了Ti/Ru O_2涂层网状电极,通过X射线衍射和扫描电镜对电极的组分和形貌进行了表征。以Ti/Ru O_2涂层网状电极为阳极,不锈钢网电极为阴极,研究了电解电压、p H、温度和电解时间等因素对对硝基苯甲酸废水电化学催化降解的... 采用刷涂法制备了Ti/Ru O_2涂层网状电极,通过X射线衍射和扫描电镜对电极的组分和形貌进行了表征。以Ti/Ru O_2涂层网状电极为阳极,不锈钢网电极为阴极,研究了电解电压、p H、温度和电解时间等因素对对硝基苯甲酸废水电化学催化降解的影响。正交实验结果表明,影响对硝基苯甲酸废水电化学催化降解的顺序依次为p H、温度、电解时间、电解电压。通过单因素实验得到的电化学降解优化条件为:电解电压为2 V,p H为3,温度为30℃,电解时间为180 min。在该条件下,对硝基苯甲酸废水的COD去除率和降解率分别为79.5%、77.2%。 展开更多
关键词 Ti/Ru O_2涂层网状电极 对硝基苯甲酸 电化学降解 正交实验
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稀土Ce对钛基Ru-Ce-Ti涂层阳极电催化性能的影响 被引量:3
17
作者 王清泉 刘贵昌 景时 《钛工业进展》 CAS 2007年第1期16-19,共4页
利用热分解方法在不同温度下制备了不同Ce含量的三元涂层Ru0.3Ti(0.7-x)CexO2,通过极化曲线和交流阻抗谱测试,研究了涂层的电催化活性,通过扫描电镜对涂层表面形貌进行了观察。结果表明在涂层中引入Ce可以提高涂层阳极的电催化活性,Ce... 利用热分解方法在不同温度下制备了不同Ce含量的三元涂层Ru0.3Ti(0.7-x)CexO2,通过极化曲线和交流阻抗谱测试,研究了涂层的电催化活性,通过扫描电镜对涂层表面形貌进行了观察。结果表明在涂层中引入Ce可以提高涂层阳极的电催化活性,Ce的掺入量有一个最佳比,摩尔分数为0.2~0.3时电催化性能最好;适宜的热分解温度有利于含Ce涂层阳极性能的提高,最佳温度为450℃。 展开更多
关键词 稀土Ce 电催化活性 Ru—Ce—Ti 涂层阳极(DSA)
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稀土元素对析氯电位的影响 被引量:1
18
作者 蔡天晓 鞠鹤 潘会波 《氯碱工业》 CAS 2000年第12期18-20,共3页
介绍了在Ru、Ti中加入稀土元素Nd、La、Eu对析氯电位的影响。结果表明该体系具有较低的析氯电位、极化率 ,但强化寿命不合要求。
关键词 氯碱生产 金属阳极 钌钛稀土三元涂层 析氯电位
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Ru对铸造Ti-47Al合金显微组织的影响 被引量:2
19
作者 郑运荣 于熙泓 +1 位作者 马书伟 汪小平 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 1999年第1期17-21,共5页
研究了铸造Ti-47Al-XRu(at%)(X=0.5,1,3)合金的显微组织。结果表明,Ru与Cr相似,是很强的β稳定元素,促进β2相形成。β2相是含Ru量高达10at%的富Ru相。含1at%Ru的合金在1160~... 研究了铸造Ti-47Al-XRu(at%)(X=0.5,1,3)合金的显微组织。结果表明,Ru与Cr相似,是很强的β稳定元素,促进β2相形成。β2相是含Ru量高达10at%的富Ru相。含1at%Ru的合金在1160~1200℃温度范围热处理时不断析出粒状次生β2相,破坏了γ+α2片状组织,同时形成了新的γ晶粒。经1200℃,48h处理后可得到平均晶粒尺寸小于60μm的γ晶,因此,Ti-47Al-1Ru合金是可热处理细化晶粒的铸造合金。当Ru量增加至3at%时,合金难于热处理细化晶粒,而且合金明显脆化。 展开更多
关键词 显微组织 钛铝基 铸造合金 稳定元素
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混合表面纳米化制备钛表面Ru/Ti薄膜的结构及耐蚀性能 被引量:3
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作者 余登德 张仁耀 +2 位作者 沈月 闻明 刘洪喜 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第24期24086-24091,共6页
钛及钛合金具有比强度高、加工性好、抗冲击震动、耐海水腐蚀及海洋大气腐蚀等优点,使其成为一种优良的船用金属结构材料。但在具有侵蚀性的高浓度氯离子和氟离子的工况下,钛及钛合金易加速腐蚀。此外,高腐蚀电位的钛及钛合金与其他低... 钛及钛合金具有比强度高、加工性好、抗冲击震动、耐海水腐蚀及海洋大气腐蚀等优点,使其成为一种优良的船用金属结构材料。但在具有侵蚀性的高浓度氯离子和氟离子的工况下,钛及钛合金易加速腐蚀。此外,高腐蚀电位的钛及钛合金与其他低腐蚀电位金属(如铜、铁)接触时会发生电偶腐蚀,易使其他金属腐蚀失效。目前,可采用多种表面处理方法来提高钛及钛合金的表面耐腐蚀性能以拓展其适用范围。但目前关于钛及钛合金的表面改性研究主要集中在单一表面处理方法对腐蚀性能的影响,鲜见关于复合表面处理后钛及钛合金的耐腐蚀性能研究。采用表面机械研磨处理(SMAT)、磁控溅射以及热氧化处理在工业纯钛(TA2)表面制备了Ru/Ti薄膜,并研究了其在模拟海水中的腐蚀性能。借助X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、电化学工作站等仪器对薄膜的物相组成、微观形貌及耐腐蚀性能进行了研究。结果表明,工业纯钛表面获得的Ru/Ti薄膜均匀致密,无明显缺陷,Ru/Ti薄膜中的Ti为α-Ti、fcc-Ti双相结构;与未处理样品相比,具有Ti-Ru薄膜的工业纯钛在模拟海水中的耐蚀性能显著提高。 展开更多
关键词 表面机械研磨处理 磁控溅射 热氧化 Ru/Ti薄膜 工业纯钛 耐蚀性
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