热处理对Ru-Ti-Ir-Ta四元氧化物涂层组织结构的影响

采用热分解法制备Ru-Ti-Ir-Ta四元金属氧化物钛阳极涂层。通过XRD、SEM、EDX和HRTEM等测试手段分析不同温度下钛阳极涂层的物相组织结构、晶粒大小、组元分布和微观形貌。结果表明:在500℃获得的涂层物相主要由等轴状的Ti基(Ti,Ru,Ir)O2和Ir基(Ir,Ti,Ru)O2金红石固溶体构成,晶粒尺寸分别约为15nm和8nm,涂层形貌呈典型"泥裂状",涂层表面出现一次裂纹和二次裂纹;在700℃获得的涂层组成相以Ir基(Ir,Ti,Ru)O2和Ti基(Ti,Ru,Ir)O2金红石固溶体为主,平均晶粒尺寸分别约为18nm和12nm,含有少量的平均晶粒尺寸约为29nm的Ru基(Ru,Ti,Ir)O2金红石固溶体。3种固溶体的晶粒形貌均以等轴状为主,涂层表面形貌具有"泥裂状"特征,涂层表面出现一次裂纹、二次裂纹以及三次裂纹,Ir和Ru以固溶相的形式在二次裂纹边缘处析出。