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基于S型Y分支波导的石墨烯M-Z电光调制器设计 被引量:3
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作者 周勇 陆荣国 +3 位作者 吕江泊 沈黎明 林瑞 刘永 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第2期179-184,共6页
利用COMSOL软件设计了一种基于S型Y分支SOI脊波导的石墨烯M-Z电光调制器,并对Y分支波导曲率半径、相位臂长度、芯层间距和输入输出直波导长度等结构参数对调制器的影响进行了分析。在此基础上对电光调制器的性能指标进行了计算和优化,... 利用COMSOL软件设计了一种基于S型Y分支SOI脊波导的石墨烯M-Z电光调制器,并对Y分支波导曲率半径、相位臂长度、芯层间距和输入输出直波导长度等结构参数对调制器的影响进行了分析。在此基础上对电光调制器的性能指标进行了计算和优化,最终设计出了3dB带宽为143GHz、消光比为15.05dB的硅基石墨烯M-Z电光调制器。 展开更多
关键词 石墨烯 M-Z电光调制器 s型y分支波导 绝缘体上硅脊形波导
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