剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究

研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。

金刚石SAW滤波器的设计和制作

通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。

ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作

传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。

关于SAW滤波器及其低损耗IDT结构

声表面波(SAW)滤波器以其独特的优点广泛应用于许多电子设备中,尤其在移动通信的应用领域中,更体现了它的优势,但低插入损耗的SAW滤波器是扩大其应用领域的关键,其中主要是叉指换能器(IDT)的结构。本文主要介绍SAW滤波器及实现低插入损耗的几种IDT结构。

SAW滤波器设计方法的研究

提出了一种时域奇偶分解积木式数字傅立叶变换ＳＡＷＦ设计方法．该方法计算的响应比单一常规方法的精度高，理论值与实际值吻合得更好，适用于信息处理系统使用的不同工作频率、对称和非对称频响、线性和非线性相位、高阻抗和低阻抗及不同带宽的ＳＡＷＦ波器的设计．

低插损高频SAW滤波器的研究

采用单层膜、梯形结构基于128°YX-LiNbO_(3)材料研究了Al电极厚度、叉指占空比、反射栅周期、拓扑结构对插损、带外抑制和矩形度的影响。为了降低带内波动和插入损耗,该文设计了一种叉指换能器(IDT)型反射栅结构,该结构对采取优化措施前后谐振器的带内最大尖峰损耗分别降低了8.84%和0.55%。最后采用此反射栅结构设计了一款低插损高频声表面波(SAW)滤波器,有限元仿真结果表明,该滤波器的中心频率为2.5205 GHz,插入损耗为-0.50212 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于98 MHz。

LiNbO_3高阻抗SAW滤波器的IDT特性分析

论述了ＬｉＮｂＯ３高阻抗声表面波滤波器的二分割和三分割叉指换能器的特性

半导体领域中的SAW滤波器类型及实际应用

半导体行业中,对芯片元器件的质量要求越来越严格,如何确保元器件具有较高的应用性能成为人们关注的重点。对此主要分析了半导体领域中声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波器的类型,总结了梳状叉指式换能器(Interdigitated Interdigital Transducer,IIDT)、缺陷微带结构(Defected Microstrip Structure,DMS)与Ladder滤波器的性能优势。在此基础上对SAW滤波器的实际应用和未来发展趋势进行了总结,以期为半导体领域的发展作出贡献。

一种宽带低损耗声表面波滤波器

阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法，给出了理论计算方法和计算机模拟结果，最后给出了制作中心频率为４５３ＭＨｚ的声表面波滤波器实验结果，插入损耗为１．９ｄＢ，１ｄＢ带宽为６．６６ＭＨｚ，远端带外抑制大于４５ｄＢ。

一种单指无内反射结构换能器的频谱分析

采用叉指换能器的脉冲响应模型，建立了三指群和四指群分组单指无内反射结构换能器的脉冲响应解析表达式，并在此基础上通过付氏级数分解，分析了该结构的频谱特性，最后给出了实验验证结果．

声表面波带通滤波器设计仿真软件研究

以常用的声表面波(SAW)带通滤波器设计方法为基础,利用模块化设计思想,采用Visual Basic语言作为设计平台开发了SAW带通滤波器计算机辅助设计软件,可实现叉指换能器(IDT)的自动设计与滤波器的仿真.利用MatrixVB插件进行Visual Basic与Matlab语言的混合编程,实现了计算和绘图功能,提高了软件的运算效率和稳定性.设计实例表明,通过该软件所设计的中心频率f0为70 MHz,通带宽度B-3dB为4.1 MHz的SAW带通滤波器,带内波动小于1 dB,带外抑制大于60 dB,达到了设计要求.

高频大带宽滤波器

高频大带宽滤波器采用常规设计方法具有损耗大、带内波动和群时延特性差的缺点。文章介绍了采用倾斜色散换能器结构在Ｙ１２７．８６°ＬＮ基片上实现中心频率为７４０ＭＨｚ、带宽为４００ＭＨｚ的滤波器的设计方法和实验结果。

用于声表面波滤波器频响旁瓣抑制的修正汉明窗技术(英)

本文提出了一种新技术,可以提高SAW滤波器频响的旁瓣抑制,同传统的标准加权归一化方法相比有三倍的改善。这一技术可以增加3dB带宽。SAW滤波器的输入叉指换能器(IDT)等值加权,而输出叉指换能器具有修正的汉明窗结构。

基于七换能器结构的Band3-Rx滤波器产品设计

该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软件进行精确的声学验证,最后通过实验验证了仿真结果的有效性。

高频补偿倾斜电极型宽带声光叉指换能器

提出了一种新型的宽带声光表面波叉指换能器 (SAW IDT) ,该换能器应用双梯形倾斜电极 ,可对单梯形倾斜电极IDT通带的高频成分进行补偿 ,使通带更宽更平直 ,并无需外补偿网络。通过计算机模拟得出IDT的优化高频补偿因子 ρ=0 12 及其他的优化参数。该器件以Y切X传Ti扩散LiNbO3 作为光波导 ,以～ 15 0nm厚的SiO2 /In2 O3 薄膜作为声波导 ,声孔径W0 =110 μm ,叉指对数 N =9。IDT的中心频率为 187 7MHz,Bragg声光带宽为 5 5 3MHz,通带斜率为 0 0 0 ,通带凹陷深度 <1 0dB。当模转换效率为 99%时 ,测得射频 (RF)驱动功率为 4 5mW ,该器件可望作为 1 15～ 1 6 5