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Research progress in SAW filter banks 被引量:1
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作者 何世堂 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第9期990-996,共7页
SAW (Surface Acoustic Wave) filter bank is a single input, single or multi-output device consisting of multi-SAW-filters with input interconnection network or switch circuits, and can be divided into two categories: c... SAW (Surface Acoustic Wave) filter bank is a single input, single or multi-output device consisting of multi-SAW-filters with input interconnection network or switch circuits, and can be divided into two categories: channelizer (multi-output) and switchable (programmable, single output). The former is mainly used in military channelized receiver for spectrum analysis; the latter has wide application in frequency synthesizer and frequency-hopping radar and communication system receiver as anti-jamming filter, and has been widely used in various military electronic equipments ever since the 1970s. Research abroad was done mainly by Americans, few documents on related work done by Japan and Russia are available. Do-mestic research started in the 1980s, mainly by No. 26 Research Institute, China Electronics Technology Group Co., Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, No. 23 and No. 25 Research Institute, China Spaceflight Tech. Group Co. This paper first briefly introduces Chinese and foreign research on SAW filter banks; then discusses research progress in device design, the input interconnection network or switch circuit and miniaturization; and ends in a brief perspective of developing trends in future. 展开更多
关键词 表面声波 saw 过滤层 信号输入 开关电路
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SAW filter with AIN on diamond
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作者 Song Jen-hao Sung James C. +1 位作者 Chang Hsiao-kuo Kan Ming-chi 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第S1期109-114,118,共7页
Diamond surface acoustic wave(SAW) has been used to boost the frequency of thin film filters made of piezoelectric materials.Many designs have been tested and with significant results,in particular,AlN on diamond(AlNo... Diamond surface acoustic wave(SAW) has been used to boost the frequency of thin film filters made of piezoelectric materials.Many designs have been tested and with significant results,in particular,AlN on diamond(AlNoD) as the interface for transmitting Rayleigh wave was studied extensively .However,in all cases,nano crystalline or microcrystalline AlN coatings were deposited,typically by sputtering or CVD,on polycrystalline diamond film.The diamond film itself may contain nano or micro grains that are deposited by CVD.The presence of extensive grain boundaries in AlN can attenuate rapidly the propagation of Rayleigh wave.Moreover,the bonding between loose atomic packing of AlN and tight lattice of diamond is weak so much of the mechanical energy is dissipated as heat.In fact,the energy loss is much higher than energy transmitted during the resonating process.In this research,we attempted to improve the matching of atoms at the interface of AlNoD by doping AlN lattice with boron atoms.The shrinking of the lattice may allow more atoms are aligned at the interface.Moreover,a method of coupling single crystal AlN on single crystal diamond is proposed.Such a coupling can maximize the signal-to-noise ratio of the resonating AlNoD at the same time minimize the insertion loss of the SAW filter. 展开更多
关键词 saw filter DIAMOND film AIN BORON DOPING
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离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
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作者 时鹏程 吴兵 +4 位作者 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期169-175,共7页
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻... 随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构
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高频低温漂TC-SAW滤波器的设计
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作者 王巍 滕洪菠 +3 位作者 王方 张迎 袁军 宋小瑛 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期544-548,553,共6页
该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2... 该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2温度补偿层后,谐振器的反谐振频率处出现杂散响应,通过增加电极厚度,降低了谐振器杂散响应对滤波器性能的影响。采用四阶级联提高滤波器的带外抑制。仿真结果表明,设计的TC-SAW滤波器中心频率为2497 MHz,频率温度系数为-9.89×10^(-6)/℃,-30~85℃工作温度范围内的带内最大插损为1.95 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于97 MHz。 展开更多
关键词 TC-saw滤波器 谐振器 频率温度系数 电极厚度 SiO2温度补偿层
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改进型3IDT-LCR结构的低损耗小矩形系数SAW滤波器
5
作者 陈华志 罗文汀 +3 位作者 马晋毅 陈彦光 伍平 董加和 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期335-337,共3页
通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接... 通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接近65 dB,-1 dB带宽10.52 MHz,-3 dB带宽12.54 MHz,-40 dB带宽16.68 MHz,矩形系数1.33。实测结果表明,该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 纵向耦合谐振器 三换能器
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基于HCT-FEM和3D电磁模型的SAW滤波器性能仿真系统
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作者 陈华志 马晋毅 +3 位作者 罗文汀 陈彦光 唐盘良 杜雪松 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期540-543,共4页
该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的... 该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的外部电磁S参数,并在ADS软件中对SAW滤波器频率响应进行复原。将该系统应用于一款芯片级封装(CSP)的普通SAW滤波器和一款表贴封装(SMD)的单晶薄膜SAW滤波器电性能仿真,仿真与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 分层级联 电磁仿真 有限元法
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Design of New SAWDQPSK Matched Filter
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作者 LIU Ji-xue ZHONG Xian-xin 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2006年第1期35-38,共4页
A new surface acoustic wave differential quadraphase shift key(SAW DQPSK) spread spectrum(SS) signal matched filter based on the fusion of SS and differential modulation is reported. The design of multi-phase coded SA... A new surface acoustic wave differential quadraphase shift key(SAW DQPSK) spread spectrum(SS) signal matched filter based on the fusion of SS and differential modulation is reported. The design of multi-phase coded SAW matched filter is proposed rather than another design of SAW DQPSK filter, which can cut in a half of the delay time of SAW DQPSK matched filter and SAW fiyed delay line(FDL) used for differential demodulation. This breakthrough is made the system largely reduce a size and process much easily. This method can also be feasible in other SAW MPSK matched filter design especially when the modulation phase number is larger than 4. The design example and its experimental results are given. 展开更多
关键词 DQPSK 微分散布谱 saw 声波 匹配滤波器
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TC-SAW滤波器仿真与设计技术
8
作者 陈晓阳 苏波 +4 位作者 叶志 史向龙 范佰杰 张俊茜 于倩至 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期560-565,共6页
该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波... 该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波器的设计优化。根据指标要求设计目标函数,设计出满足要求的低损耗TC-SAW滤波器。利用多层FEM/BEM软件对性能进行精确验证,实验结果与仿真结果吻合良好。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 高温稳定型声表面波(TC-saw) 三维耦合模式模型(COM) FEM/BEM
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
9
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
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低幅相畸变SAW滤波器技术研究 被引量:4
10
作者 陈彦光 吕翼 +4 位作者 蒋世义 傅金桥 黄莹 金剑 李金 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第3期334-336,共3页
介绍了一种用于相控阵雷达的高相位一致性声表面波(SAW)滤波器,该种滤波器采用谐振型5换能器结构,基片材料为42°Y-X切型LiTaO3。通过对结构优化,提高了矩形系数,改善了群延时波动。制作出一款频率为500MHz,插入损耗1.2dB的滤波器,... 介绍了一种用于相控阵雷达的高相位一致性声表面波(SAW)滤波器,该种滤波器采用谐振型5换能器结构,基片材料为42°Y-X切型LiTaO3。通过对结构优化,提高了矩形系数,改善了群延时波动。制作出一款频率为500MHz,插入损耗1.2dB的滤波器,并该设计满足了相控阵雷达对声表面波滤波器高幅相一致性的要求,生产成品率提高。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 相位一致性 5换能器
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金刚石SAW滤波器的设计和制作 被引量:4
11
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第10期662-666,692,共6页
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金... 通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。 展开更多
关键词 射频微机电(RF MEMS) saw滤波器 金刚石 ZNO薄膜 叉指换能器(IDT)
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
12
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
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光纤中继传输系统SAW时钟恢复滤波器 被引量:3
13
作者 黄广伦 秦廷辉 欧黎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1991年第3期1-5,共5页
本文介绍了SAW定时滤波器再生中继器的基本电路,系统性能对SAW滤波器的要并报道了6种SAW横向定时滤波器的性能和使用结果。
关键词 光纤通信 saw滤波器 定时恢复
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无线通信用SAW滤波器的分析与设计 被引量:3
14
作者 肖尚辉 徐继麟 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期452-455,共4页
针对声表面波滤波器基本理论及其频域传输函数,应用电网络分析与综合理论作出等效电路,并对梯型结构声表面波滤波器中单端对谐振器的特性进行了分析。根据理论分析设计出单端对谐振器,运用该结构设计了无线通信系统中移动电话用声表面... 针对声表面波滤波器基本理论及其频域传输函数,应用电网络分析与综合理论作出等效电路,并对梯型结构声表面波滤波器中单端对谐振器的特性进行了分析。根据理论分析设计出单端对谐振器,运用该结构设计了无线通信系统中移动电话用声表面波滤波器,并给出了设计结果。 展开更多
关键词 无线通信 saw滤波器 声表面波 单端对声表面波谐振器 移动通信
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利用ADS仿真SAW滤波器 被引量:5
15
作者 郝晓勤 符鹏 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第6期785-787,共3页
通过某型号镜像阻抗连接结构低损耗SAW滤波器的设计过程,说明了在ADS软件中如何建立并调用各种模型来设计SAW滤波器,尤其是调用3D电磁场仿真软件计算出的封装性能,可以适应日益增高的器件工作频率和日益缩小的封装尺寸对仿真手段的要求... 通过某型号镜像阻抗连接结构低损耗SAW滤波器的设计过程,说明了在ADS软件中如何建立并调用各种模型来设计SAW滤波器,尤其是调用3D电磁场仿真软件计算出的封装性能,可以适应日益增高的器件工作频率和日益缩小的封装尺寸对仿真手段的要求。表面贴装器件实测结果与理论仿真基本吻合,满足了通带平滑低损耗高阻带抑制的要求,且过渡带陡峭。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 镜像阻抗连接 等效电路
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基于COM参数提取技术设计SAW梯形滤波器 被引量:3
16
作者 聂广琳 程红亚 汤劲松 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第1期3-5,共3页
与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从... 与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从样品的测试结果发现,这种基于COM模型的阻抗元滤波器(IEF)的设计思路是正确可行的。 展开更多
关键词 COM模型 P矩阵 声表面波(saw)梯形滤波器 阻抗元滤波器
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以Li_2B_4O_7为基片150MHzSAWF的设计与研制 被引量:1
17
作者 周亚栋 何先莉 +3 位作者 周毅 马初剑 张芦 张杰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第4期231-234,共4页
介绍了以Li2B4O7为基片,150MHz声表面波窄带滤波器的设计与制作。在设计中采用了波导耦合谐振器的结构形式,按新研究的光刻腐蚀方法[1],成功地制作出了150MHz的窄带滤波器。验证了波导耦合谐振滤波的理论.证... 介绍了以Li2B4O7为基片,150MHz声表面波窄带滤波器的设计与制作。在设计中采用了波导耦合谐振器的结构形式,按新研究的光刻腐蚀方法[1],成功地制作出了150MHz的窄带滤波器。验证了波导耦合谐振滤波的理论.证实了Li2B4O7确实是较好的声表面波基片材料。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 波导 耦合谐振滤波器
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SAW滤波器自动测试系统设计 被引量:1
18
作者 王岚 施建锋 彭霄 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第6期779-781,共3页
针对声表面波(SAW)滤波器测试参数较多,仪器设置较复杂,且封装尺寸不断缩小,传统人工测试效率低,可靠性也不能满足要求等问题。该文利用国内定制的自动测试机,基于LabVIEW软件实现表面贴装器件(SMD)封装的SAW滤波器的自动测试系统。结... 针对声表面波(SAW)滤波器测试参数较多,仪器设置较复杂,且封装尺寸不断缩小,传统人工测试效率低,可靠性也不能满足要求等问题。该文利用国内定制的自动测试机,基于LabVIEW软件实现表面贴装器件(SMD)封装的SAW滤波器的自动测试系统。结果表明,该测试系统可实现SMD的自动上料、测试和记录数据,并自动分离不合格品,测试速度约1000只/h,满足研发及小批量生产的需求。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 LabVIEW 表面贴装器件(SMD) 自动测试系统
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单相单向换能器的低损耗SAW滤波器 被引量:6
19
作者 黄广伦 杨毅生 +1 位作者 黎阳 欧黎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1994年第1期1-6,共6页
概述了采用分布式反射的单相单向换能器及其设计,特别推荐了电极宽度控制的单相单向换能器,并报道了我们制作的几种低损耗滤波器结果。单级低损耗滤波器插入损耗为4.7~6.5dB,带外抑制达50dB。两级低损耗滤波器获得带外... 概述了采用分布式反射的单相单向换能器及其设计,特别推荐了电极宽度控制的单相单向换能器,并报道了我们制作的几种低损耗滤波器结果。单级低损耗滤波器插入损耗为4.7~6.5dB,带外抑制达50dB。两级低损耗滤波器获得带外抑制近90dB,而插损仅为10dB。 展开更多
关键词 单向换能器 滤波器 声表面波器件
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SAW直接频率合成源用高性能滤波器组 被引量:1
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作者 黄广伦 欧黎 +1 位作者 杨毅生 吴影侠 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1995年第6期1-4,共4页
评述了频率合成器用滤波器组的特点和国外水平,首次报道用低损耗滤波器研制的10信道高性能声表面波滤波器组,假信号抑制大于80dB,插入损耗仅12dB,体积仅50mm×35mm×13mm。
关键词 声表面波 滤波器组 频率合成器
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