期刊文献+
共找到207篇文章
< 1 2 11 >
每页显示 20 50 100
Research progress in SAW filter banks 被引量:1
1
作者 何世堂 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第9期990-996,共7页
SAW (Surface Acoustic Wave) filter bank is a single input, single or multi-output device consisting of multi-SAW-filters with input interconnection network or switch circuits, and can be divided into two categories: c... SAW (Surface Acoustic Wave) filter bank is a single input, single or multi-output device consisting of multi-SAW-filters with input interconnection network or switch circuits, and can be divided into two categories: channelizer (multi-output) and switchable (programmable, single output). The former is mainly used in military channelized receiver for spectrum analysis; the latter has wide application in frequency synthesizer and frequency-hopping radar and communication system receiver as anti-jamming filter, and has been widely used in various military electronic equipments ever since the 1970s. Research abroad was done mainly by Americans, few documents on related work done by Japan and Russia are available. Do-mestic research started in the 1980s, mainly by No. 26 Research Institute, China Electronics Technology Group Co., Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, No. 23 and No. 25 Research Institute, China Spaceflight Tech. Group Co. This paper first briefly introduces Chinese and foreign research on SAW filter banks; then discusses research progress in device design, the input interconnection network or switch circuit and miniaturization; and ends in a brief perspective of developing trends in future. 展开更多
关键词 表面声波 saw 过滤层 信号输入 开关电路
下载PDF
SAW filter with AIN on diamond
2
作者 Song Jen-hao Sung James C. +1 位作者 Chang Hsiao-kuo Kan Ming-chi 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第S1期109-114,118,共7页
Diamond surface acoustic wave(SAW) has been used to boost the frequency of thin film filters made of piezoelectric materials.Many designs have been tested and with significant results,in particular,AlN on diamond(AlNo... Diamond surface acoustic wave(SAW) has been used to boost the frequency of thin film filters made of piezoelectric materials.Many designs have been tested and with significant results,in particular,AlN on diamond(AlNoD) as the interface for transmitting Rayleigh wave was studied extensively .However,in all cases,nano crystalline or microcrystalline AlN coatings were deposited,typically by sputtering or CVD,on polycrystalline diamond film.The diamond film itself may contain nano or micro grains that are deposited by CVD.The presence of extensive grain boundaries in AlN can attenuate rapidly the propagation of Rayleigh wave.Moreover,the bonding between loose atomic packing of AlN and tight lattice of diamond is weak so much of the mechanical energy is dissipated as heat.In fact,the energy loss is much higher than energy transmitted during the resonating process.In this research,we attempted to improve the matching of atoms at the interface of AlNoD by doping AlN lattice with boron atoms.The shrinking of the lattice may allow more atoms are aligned at the interface.Moreover,a method of coupling single crystal AlN on single crystal diamond is proposed.Such a coupling can maximize the signal-to-noise ratio of the resonating AlNoD at the same time minimize the insertion loss of the SAW filter. 展开更多
关键词 saw filter DIAMOND FILM AIN BORON DOPING
下载PDF
基于SAW滤波器的电磁寄生提取
3
作者 胡月 白凤 +8 位作者 周艺蒙 范维 魏子杰 李沛然 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期453-457,共5页
针对封装管壳和版图电磁寄生参数导致射频声表面波(SAW)滤波器通带变窄及驻波增大等问题,提出一种能快速提取封装管壳和版图中电磁寄生效应的方法,精准模拟了封装和版图对滤波器性能的影响。首先利用有限元法(FEM)电磁仿真软件提取封装... 针对封装管壳和版图电磁寄生参数导致射频声表面波(SAW)滤波器通带变窄及驻波增大等问题,提出一种能快速提取封装管壳和版图中电磁寄生效应的方法,精准模拟了封装和版图对滤波器性能的影响。首先利用有限元法(FEM)电磁仿真软件提取封装管壳的电磁寄生参数,再使用电路仿真软件将所设计出的滤波器结合所提取的封装寄生参数和滤波器版图直接进行联合仿真,此方法不需将版图在FEM软件中再次进行电磁仿真,可提高时间利用率。此方法在中心频率为1 268 MHz、通带插入损耗小于1 dB、带内驻波小于1.6、带内波动为0.5 dB、带宽为24 MHz(相对带宽为1.8%)的SAW滤波器上进行了验证,结果表明仿真结果与实测值吻合度较高。该设计中所用的SAW谐振器均经过去嵌操作,能更精准地模拟实测滤波器的结果。 展开更多
关键词 电磁寄生 saw滤波器 封装 去嵌 版图
下载PDF
电磁寄生参数对SAW滤波器性能的影响
4
作者 魏园林 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期463-467,共5页
设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引... 设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引线的电磁寄生参数影响,滤波器在高频处的带外抑制会出现“上翘”。建立不同键合线数量、直径及长度的SMD封装模型,并仿真计算S参数。对比仿真结果可知,随着键合线直径的增大和长度的减小,其等效电感逐渐变小,即键合线的电磁寄生参数逐渐减小,对SAW滤波器性能的影响逐渐减弱,高频处的带外抑制性能得到优化。结果表明,CSP封装植球倒扣的电磁寄生参数更小,声-电磁联合仿真的结果更优,与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 saw滤波器 表面贴装器件(SMD)封装 芯片级(CSP)封装 电磁寄生参数 带外抑制 键合线
下载PDF
压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法
5
作者 王吉芳 陈平静 +6 位作者 曹稚颖 潘虹芝 董加和 肖强 吴浩东 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期447-452,457,共7页
针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,... 针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,并通过色散2D-COM模型对SAW器件杂波抑制进行综合分析。通过对41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW谐振器的优化设计与研制,结果表明,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 压电复合薄膜 saw器件 杂波抑制 分层级联 2D-COM模型
下载PDF
离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
6
作者 时鹏程 吴兵 +4 位作者 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期169-175,共7页
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻... 随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构
下载PDF
高频低温漂TC-SAW滤波器的设计
7
作者 王巍 滕洪菠 +3 位作者 王方 张迎 袁军 宋小瑛 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期544-548,553,共6页
该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2... 该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2温度补偿层后,谐振器的反谐振频率处出现杂散响应,通过增加电极厚度,降低了谐振器杂散响应对滤波器性能的影响。采用四阶级联提高滤波器的带外抑制。仿真结果表明,设计的TC-SAW滤波器中心频率为2497 MHz,频率温度系数为-9.89×10^(-6)/℃,-30~85℃工作温度范围内的带内最大插损为1.95 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于97 MHz。 展开更多
关键词 TC-saw滤波器 谐振器 频率温度系数 电极厚度 SiO2温度补偿层
下载PDF
改进型3IDT-LCR结构的低损耗小矩形系数SAW滤波器
8
作者 陈华志 罗文汀 +3 位作者 马晋毅 陈彦光 伍平 董加和 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期335-337,共3页
通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接... 通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接近65 dB,-1 dB带宽10.52 MHz,-3 dB带宽12.54 MHz,-40 dB带宽16.68 MHz,矩形系数1.33。实测结果表明,该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 纵向耦合谐振器 三换能器
下载PDF
基于HCT-FEM和3D电磁模型的SAW滤波器性能仿真系统
9
作者 陈华志 马晋毅 +3 位作者 罗文汀 陈彦光 唐盘良 杜雪松 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期540-543,共4页
该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的... 该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的外部电磁S参数,并在ADS软件中对SAW滤波器频率响应进行复原。将该系统应用于一款芯片级封装(CSP)的普通SAW滤波器和一款表贴封装(SMD)的单晶薄膜SAW滤波器电性能仿真,仿真与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 分层级联 电磁仿真 有限元法
下载PDF
TC-SAW滤波器仿真与设计技术 被引量:1
10
作者 陈晓阳 苏波 +4 位作者 叶志 史向龙 范佰杰 张俊茜 于倩至 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期560-565,共6页
该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波... 该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波器的设计优化。根据指标要求设计目标函数,设计出满足要求的低损耗TC-SAW滤波器。利用多层FEM/BEM软件对性能进行精确验证,实验结果与仿真结果吻合良好。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 高温稳定型声表面波(TC-saw) 三维耦合模式模型(COM) FEM/BEM
下载PDF
Design of New SAWDQPSK Matched Filter
11
作者 LIU Ji-xue ZHONG Xian-xin 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2006年第1期35-38,共4页
A new surface acoustic wave differential quadraphase shift key(SAW DQPSK) spread spectrum(SS) signal matched filter based on the fusion of SS and differential modulation is reported. The design of multi-phase coded SA... A new surface acoustic wave differential quadraphase shift key(SAW DQPSK) spread spectrum(SS) signal matched filter based on the fusion of SS and differential modulation is reported. The design of multi-phase coded SAW matched filter is proposed rather than another design of SAW DQPSK filter, which can cut in a half of the delay time of SAW DQPSK matched filter and SAW fiyed delay line(FDL) used for differential demodulation. This breakthrough is made the system largely reduce a size and process much easily. This method can also be feasible in other SAW MPSK matched filter design especially when the modulation phase number is larger than 4. The design example and its experimental results are given. 展开更多
关键词 DQPSK 微分散布谱 saw 声波 匹配滤波器
下载PDF
一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究
12
作者 张显洪 杨卫东 +3 位作者 肖强 蒋道军 张晟 施建峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插... 该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。 展开更多
关键词 横向耦合 极窄带 声表面波滤波器 物理场COMSOL软件 相对带宽
下载PDF
基于COM-MBVD混合模型的多模态声学响应研究与仿真
13
作者 周艺蒙 陈抒键 +8 位作者 蒋冠臻 范维 魏子杰 李沛然 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期519-523,共5页
耦合模(COM)模型广泛应用于声表面波(SAW)滤波器设计中,传统的单模COM模型不能拟合到远端的高阶水平剪切波、西沙瓦波等杂散模态。从单模COM模型出发,结合类似于MBVD等效电路的谐振支路,实现COM-MBVD模型拟合多模态声学响应。并基于此... 耦合模(COM)模型广泛应用于声表面波(SAW)滤波器设计中,传统的单模COM模型不能拟合到远端的高阶水平剪切波、西沙瓦波等杂散模态。从单模COM模型出发,结合类似于MBVD等效电路的谐振支路,实现COM-MBVD模型拟合多模态声学响应。并基于此模型搭建8阶梯形结构电路进行优化仿真。最终设计出中心频率为1 590 MHz,通带插入损耗小于1.6 dB,带内波动为1 dB,带宽为80 MHz(相对带宽为5%)的声表面波(SAW)滤波器。实际测试数据与仿真数据相符,验证了该设计方法的可行性。 展开更多
关键词 COM模型 MBVD模型 梯形结构 saw滤波器
下载PDF
声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
14
作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 声表面波(saw)滤波器 分层级联 全波仿真
下载PDF
具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
15
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 声表面波(saw)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
下载PDF
剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
16
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
下载PDF
低幅相畸变SAW滤波器技术研究 被引量:4
17
作者 陈彦光 吕翼 +4 位作者 蒋世义 傅金桥 黄莹 金剑 李金 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第3期334-336,共3页
介绍了一种用于相控阵雷达的高相位一致性声表面波(SAW)滤波器,该种滤波器采用谐振型5换能器结构,基片材料为42°Y-X切型LiTaO3。通过对结构优化,提高了矩形系数,改善了群延时波动。制作出一款频率为500MHz,插入损耗1.2dB的滤波器,... 介绍了一种用于相控阵雷达的高相位一致性声表面波(SAW)滤波器,该种滤波器采用谐振型5换能器结构,基片材料为42°Y-X切型LiTaO3。通过对结构优化,提高了矩形系数,改善了群延时波动。制作出一款频率为500MHz,插入损耗1.2dB的滤波器,并该设计满足了相控阵雷达对声表面波滤波器高幅相一致性的要求,生产成品率提高。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 相位一致性 5换能器
下载PDF
金刚石SAW滤波器的设计和制作 被引量:4
18
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第10期662-666,692,共6页
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金... 通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。 展开更多
关键词 射频微机电(RF MEMS) saw滤波器 金刚石 ZNO薄膜 叉指换能器(IDT)
下载PDF
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
19
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
下载PDF
光纤中继传输系统SAW时钟恢复滤波器 被引量:3
20
作者 黄广伦 秦廷辉 欧黎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1991年第3期1-5,共5页
本文介绍了SAW定时滤波器再生中继器的基本电路,系统性能对SAW滤波器的要并报道了6种SAW横向定时滤波器的性能和使用结果。
关键词 光纤通信 saw滤波器 定时恢复
下载PDF
上一页 1 2 11 下一页 到第
使用帮助 返回顶部