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叉指换能器形状对声表面波气体传感器谐振频率的影响 被引量:1
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作者 曹艳 《电子测试》 2019年第23期45-47,共3页
声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量。声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔... 声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量。声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔的应用前景。文章分析研究了不同敷金比和不同电极厚度对器件性能的影响,实验表明敷金比和电极厚度越大,沉积效应就越显著,器件性能受其影响就越严重,因此,在设计、制造声表面波器件时需要着重考虑这两个因素。 展开更多
关键词 saw气体传感器 叉指换能器 谐振频率
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声表面波气体传感器电路的优化设计 被引量:2
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作者 杨桃均 漆强 +2 位作者 辜捷 应智花 杜晓松 《传感器世界》 2008年第3期30-33,共4页
本文设计的SAW气体传感器电路引入预偏置技术解决了SAW传感器对微量气体测试存在盲区的问题。同时,对电路进行调整避免了频率的跳变。整个测试系统结构简单,经实测表明具有较高精度,满足气体传感检测的需要。
关键词 saw气体传感器 预偏置 测试盲区 频率跳变
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浅谈柔性电子皮肤
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作者 曹艳 《电子测试》 2020年第24期131-132,共2页
智能时代,我们的发展目标是人、机、物三元的紧密融合。柔性电子技术“以人为本”,颠覆了传统电子的刚性特性,在保留现有功能的基础上制造出可变形、可弯曲、可拉伸的电子器件,使人、信息、物体三者间达到高效融合。
关键词 saw气体传感器 叉指换能器 谐振频率
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