Sr_(0.75)Ba_(0.25)Nb_2O_6薄膜的PLD制备及其光学性能研究

本文采用脉冲激光沉积(PLD)方法在熔石英衬底上制备了Sr0.75Ba0.25Nb2O6(SBN0.75)光波导薄膜,采用Hitachi U-3410紫外-可见分光光度计对SBN0.75薄膜的透射谱进行测量,编程计算得到了薄膜折射率色散关系,同时得到SBN0.75薄膜的厚度和光学带隙分别为647.0nm和3.97eV。采用Metricon 2010棱镜耦合仪测量得到SBN0.75光波导薄膜中能激发的TE模式有4个,TM模式有3个。波长在632.8nm处薄膜的折射率为2.2818。并利用透射谱计算得出的薄膜的折射率和厚度值,根据波导理论导光模本征值的有效折射率表达式,对SBN0.75薄膜中能激发的导光模个数及其对应有效折射率进行图解,其结果与棱镜耦合仪所测得的结果非常吻合。