基于SECS/GEM协议的芯片烘箱设备智能故障诊断算法设计

针对芯片烘箱设备故障排查困难,提出了一种改进型贝叶斯网络故障诊断算法。利用SECS/GEM通信协议从设备端获取故障报警数据,建立芯片烘箱设备故障树。将故障树映射为贝叶斯网络,通过对贝叶斯网络反向推理计算得到可用于指导维修工作的诊断决策树。将历史故障样本数据代入算法模型中进行验证分析,验证结果表明,按照诊断决策树进行故障诊断能够将诊断误差率控制在5%左右,满足企业用户要求,具有较高的应用价值。

一种基于SECS/GEM协议的设备端通讯接口SDK的设计

SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准,半导体设备接入工厂的半导体MES,需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此,基于对SECS/GEM标准协议的研究分析,应用面向对象的设计方法,自上而下地进行软件设计和开发,提出一种整合了半导体设备通讯标准SECS/GEM的SDK,供设备端应用程序进行二次开发,为设备增添该通讯能力。SDK对SECS/GEM诸协议标准进行分层和实现、以动态链接库的形式进行封装、提供高级接口,并设计配置文件,将设备的本身特性进行分离,可以在不同类型的设备上进行部署。通过测试,验证了SDK可以满足SECS/GEM通讯要求,实现了标准中所述的各项能力,其可以应用于各类半导体制造设备的SECS/GEM通讯开发,实现与半导体工厂的MES互联。

SECS/GEM标准模型分析及应用

SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架,并分析了其行业发展状况,然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制方式等,最后分析了该标准在我国半导体自动化生产中的应用状况。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面广,在我国半导体工业中应用前景广阔。

基于SECS/GEM标准的半导体设备配方管理系统设计

设计了一种基于SECS/GEM标准的半导体封装测试设备配方管理系统(RMS),该系统能够实现配方(recipe)程序的上传、下载、参数修改调优以及设备状态实时监控等,减少了半导体生产过程中使用程序错误、错误修改参数等因素产生的生产事故和良品率降低等问题。实际应用表明,该系统可缩短产品生产周期,提高设备的综合效率。

一种SECS/GEM协议的实现方法

为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特性相关的协议。详述了动态链接库的实现方法,实测结果验证了方法的有效性,具有良好的实用性和可移植性,适应于各种半导体设备的联网实现。

半导体设备SECS/GEM通信研究与设计

SECS/GEM是半导体行业中广泛采用的一个半导体设备通信标准。本文首先介绍了SECS/GEM标准的制定及行业应用情况,分别说明了HSMS、SECS-II、GEM各个通信标准的数据格式、传输控制、状态转换模型控制方式等;同时,阐述了所设计一套用于半导体设备SECS/GEM标准的软件通信系统。通过实践表明,该通信系统符合SECS/GEM标准,性能良好,满足设备的需求。

半导体设备通讯标准GEM的应用

SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS/GEM标准的构成,提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型,以及GEM的程序设计。并给出了GEM中事件数据收集的设计的实例。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面宽,在我国半导体芯片工业中应用前景广阔。

IP Sec下安全关联协商的实现环境

IPSec是IP协议层的安全体系结构,是构筑虚拟专网(VirtualPrivateNetworks,VPNs)的基本规范;它是通过安全关联(SecurityAssociation,SA)的约定和协商来实现对通信实体间通信过程的保护.目前,在该领域中尚有诸如IPSec下安全关联的协商机制等问题有待进一步探讨.首先分析IPSec安全关联及其协商的实现条件和相应的保护环境,即ISAKMPSA,然后讨论在IKE协议中协商ISAKMPSA过程存在的安全关联载荷认证缺陷,并以主模式下预共享密钥方式交换过程为例,针对该缺陷对IKE协议交换过程中验证参数的计算提出了改进方案.

GEM标准在CMP系统上的应用

以当代最先进的自动化工厂(FA)走势为依据,结合化学机械抛光(CMP)系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS\GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM的设计思路,并举例说明了GEM中的消息配方。实践表明,我国自动化设备领域对GEM的需求是非常迫切的。

半导体制造设备自动化作业系统设计与实现

本文针对半导体计算机集成制造系统中的设备自动化环节,设计了一套通用的设备自动化系统框架模型,并通过了实际生产验证。该框架模型包含底层通信驱动(SECS/GEM)、SML解析、基于状态机的业务逻辑控制、外围系统接口、异常处理&日志、消息总线、UI终端等模块,通过设备自动化系统的应用可以有效地解决生产线程的误操作问题、数据收集问题、大数据分析问题,通过联动生产制造环节中的各个子系统,显著地提高了生产效率及产品良率。

对英语学习者阅读行为的实例研究——探讨提高中国学生阅读能力的有效途径

阅读技能是第二语言学习中的一项重要技能。没有良好的阅读行为和一定的阅读技能,第二语言学习便不可能获得有效的习得成效。从语言学习者的阅读心理活动这一过程,分析阅读者在阅读不同篇幅文章时所呈现的不同思维活动,提出阅读的交互模式在第二语言教学和习得过程中,是提高语言学习者阅读能力的有效途径。

利用有线电视主干网络构建数据环网

利用有线电视光缆主干网资源 ,构建环状数据网络 ;采用路由器的动态路由协议 (OSPF协议 )实现环网保护 ;采用VLAN与IPSec组合方式 ,保证访问控制的安全。

半导体制造业自动化系统设计与实现

针对半导体制造业工艺复杂、工序繁多、生产管理困难等问题,笔者设计了一个生产自动化系统(Equipment Automation Program,EAP)。该系统集成了半导体制造设备通信协议,通过物联网技术将机台纳入系统管理并实现智能控制,原本由操作员进行的作业信息校验、机台参数设置、配方设置、配方加载、机台启动以及产品过账等烦琐且易出错的工作由EAP系统自动完成。同时作为连接设备的底层系统为整个工厂的其他上游系统提供机台、产品等信息接口,为企业的数字化、智能化升级提供底层支撑。经过在多个工厂实施,通过EAP系统作业明显降低了操作员技能要求,减少了人力和操作事故,提升了设备使用率和产品良率,加强了半导体制造业对加工全过程的监控和管理。

FAD2500点胶设备数据采集快速实现方法

针对FAD2500型点胶设备,深入研究设备SECS/GEM的通信协议,使用FASTsim调试工具与设备建立通信,并成功采集出数据。通过实例细化了FAD2500型点胶设备进行数据采集的具体过程,对该型设备进行数字化集成有着重要的参考意义。

半导体自动化软件的研究与分析

对于半导体制造业当前工艺复杂和工序繁多以及生产管理困等多种问题,笔者对于生产自动化系统(EquipmentAutomationProgram,EAP)进行了设计。这一系统汇集了半导体制造设备等多种通信协议,并且使用物联网技术把机台融入到系统管理同时目的达成智能控制,最初通过操作员去完成对作业信息的有效校验,并完成对机台参数的相关设置等十分烦琐同时容易产生错误的工作都可以通过EAP系统去自动执行。并且作为与设备底层进行链接的系统需要为工厂其他上游系统提供机台和产品等多种信息所需的接口,通过这种方式为企业保持数字化和智能化升级提供必须的底层支撑。通过在多个工厂执行,采取EAP系统作业能够有效的减少对操作员在技能上提出的要求,同时还能够有效降低人力与操作事故的出现,使得设备当前的使用率与产品良率得到保证,强化半导体制造针对加工整体过程进行的监控与管理。

清洗设备远程通讯控制的实现方法

经过实验和实测总结出4种远程通信控制实现方法:基于Socket套接字、MySQL数据库、Web service接口、SECS/GEM半导体标准通讯协议,并分析了几种方法的优缺点,比较几种方法的可行性、稳定性、实时性,便于操作人员根据需求选择最佳的通讯方式。