基于FIB/SEM切片和TEM/EELS技术分析Au/Ag泡沫材料的微观结构

利用FIB/SEM切片、XRD、TEM和EDX、EELS等先进分析技术对微球模板法所制备的Au/Ag泡沫材料的微观结构、形貌、成分及成分分布等进行了细致的研究。结果表明:由微球状Au/Ag球壳堆积而成的泡沫材料中微球直径约8 m,微球壁厚200～1200 nm;Au/Ag泡沫材料的球壳可细分为3层,内层和外层为Au/Ag合金的微粒,中间主要是非晶碳层,夹杂有少量的Au/Ag微粒;Au/Ag泡沫材料的骨架由单个空心球壳组成,球壳之间通过接触点的金属镀层连接在一起;球壳上有小孔状结构,是在热分解法去除聚苯乙烯微球模板时形成的;球壳壁厚分布不均匀,少数球壳有塌陷、变形、破裂等现象。这些详细的分析有助于改进工艺,提高Au/Ag泡沫材料的制备质量。