基于特征的扫描电镜立体对三维重建

应用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）立体对成像技术和图像处理、计算机视觉方法建立了一套微结构形貌三维自动重建系统。在Ｂａｒｎａｒｄ算法基础上根据ＳＥＭ立体对成像的特点提出了一种基于边界特征的对应点匹配概率松弛迭代方法。系统中融合了基于区域的立体匹配原理，检出的特征定位准确。匹配过程引入多种几何及边界强度和位向约束，具有较高的匹配效率和精度。应用本系统进行了典型金属断裂表面的三维重建。