在扫描电镜中用x射线荧光法(SEM-EDXRF)测硅衬底上铝膜厚度

在以前的工作中,我们实现了扫描电镜中的x射线荧光分析(SEM-EDXRF),得到了较理想的原级x射线束。现在,我们又利用SEM-EDXRF方法测量了硅片上的铝膜厚度,其原理是测量由衬底发出的x射线荧光强度。对硅片上有不同厚度铝膜样品测量结果表明,衬底的x射线荧光强度的对数与膜厚成线性关系,并与理论符合很好。本实验预示了在扫描电镜中利用EDXRF方法测微区膜厚的可能性。

化妆土对鄱阳淮王府琉璃构件釉面品质的影响

2012年考古发掘的鄱阳淮王府是明代重要藩王府之一,出土了一批型制考究、釉色精美的铅绿釉建筑琉璃构件,为揭示明代建筑材料工艺技术提供了宝贵的实物资料。本课题以淮王府遗址出土的不同类型典型琉璃构件样品为研究对象,借助能量色散X射线荧光、场发射扫描电子显微镜,分析了样品胎、化妆土和釉的化学组成、显微结构,初步探讨了化妆土的原料配方和制备工艺,及不同样品表面釉层剥落程度存在明显差异的主要原因。结果表明,大部分琉璃构件中均存在有一层化学组成明显不同于釉,且K_2O含量明显高于胎的白色化妆土层,且发现在一定范围内,随着化妆土厚度的增加釉层厚度明显减薄,釉面品质明显改善,其中厚度达到445μm以上,坯釉结合良好,釉面平整光亮,基本无剥釉现象。