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SEMI标准在半导体制造设备中的应用
被引量:
2
1
作者
韦薇
林煦呐
+2 位作者
张帅
谢琼
杨师
《电子工业专用设备》
2023年第2期58-63,共6页
SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料...
SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料的使用效率标准、SECS/GEM通讯标准及其研究应用现状;提出了我国半导体产业的快速发展需要加大SEMI标准的普及应用。
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关键词
半导体制造设备
semi
s2
标准
semi
F47标准
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职称材料
题名
SEMI标准在半导体制造设备中的应用
被引量:
2
1
作者
韦薇
林煦呐
张帅
谢琼
杨师
机构
中电科电子装备集团有限公司
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2023年第2期58-63,共6页
文摘
SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料的使用效率标准、SECS/GEM通讯标准及其研究应用现状;提出了我国半导体产业的快速发展需要加大SEMI标准的普及应用。
关键词
半导体制造设备
semi
s2
标准
semi
F47标准
Keywords
semi
conductor manufacturing equipment
semi s2 standard
semi
F47
standard
分类号
T-651 [一般工业技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SEMI标准在半导体制造设备中的应用
韦薇
林煦呐
张帅
谢琼
杨师
《电子工业专用设备》
2023
2
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