期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级
1
作者 John Ort Roy Hanter Chris Hnmphreys 《电子工业专用设备》 2004年第3期69-73,共5页
鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以... 鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低。关于安装和工艺判定随项目的结果评述。 展开更多
关键词 标准机械接口(SMIF) SMIF小室 自动物料处理系统(AMHS) SMIF围护 shif标识符
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部