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SIPOS／Si结构的界面特性
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作者 曹广军 徐彦忠 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1996年第3期74-75,共2页
采用红外吸收光谱分析了ＳＩＰＯＳ薄膜中Ｓｉ—Ｏ键的结构，对比了热退火、快速灯光退火对ＳＩＰＯＳ中Ｓｉ—Ｏ键结构的影响，并结合ＳＩＰＯＳ／Ｓｉ结构的Ｃ－Ｖ，Ｉ－Ｖ测试结果，对其界面特性进行了分析．
关键词 界面特性 半导体薄膜 sipos薄膜 Si-O键
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