Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析(英文)

在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性。Cu的激活能约为 1 2eV ,而Al的激活能约为 0 7eV。Cu互连线寿命约为Al的 3～ 5倍。Cu大马士革互连线的制备工艺为 :在硅衬底上热氧化生成的SiO2 上开出凹槽 ,在凹槽中先后沉积阻挡层Ta和晶种层Cu ,然后由电镀的Cu层将凹槽填满。最后采用化学机械抛光将凹槽外多余的Cu研磨掉。Cu互连线的尺寸为 :2 0 0 μm长 ,0 5 μm厚 ,宽度分别为 0 3 5、0 5、1至 3 μm不等。部分样品分别在 2 0 0℃ ,3 0 0℃和 45 0℃下经过 3 0min退火。利用原子力显微镜 (AFM)和扫描近场声学显微镜 (SNAM) ,同时获得形貌像和声像 ,分析了Cu大马士革凹槽构造引起的机械应力和沉积引起的热应力对Cu互连线显微结构及可靠性的影响。SNAM是在Topometrix公司AFM基础上建造的实验装置 ,实验采用的机械振动频率在 60 0Hz～ 10 0kHz之间。分析测试结果如下 :1.AFM和SNAM可以实现对微米和亚微米特征尺寸的Cu互连线的局域应力分布和显微结构的原位分析。2 .采用AFM、TEM、XRD观察和测试了Cu互连线的晶体结构 ,分析了大马士革凹槽工艺对Cu晶粒尺寸及取向的影响。平坦的沉积态Cu膜的晶粒尺寸约为 10 0nm ;而由大马士革工艺制备的凹槽中的Cu互连线的晶粒尺寸约为 70?

一种基于SNAM二值图像表示方法的正方形子模式搜索策略

该文在SNAM二值图像表示方法的基础上,提出了一种新的正方形子模式搜索算法,首先详细地描述算法的编码原理及步骤,然后结合实例进行详细的阐述,最后在理论上对算法的数据量、时间复杂度、空间复杂度等几个方面与传统的线性四元树图像表示方法进行比较和分析,结果表明,该搜索策略针对正方形独特的结构特征,是一种性能较优的扫描算法。

S_N方法自动建模程序SNAM在EAST纵场线圈核热计算中的应用

在核领域的中子学计算中,离散纵标(S_N)方法三维粒子输运计算程序得到了广泛应用。SNAM作为离散纵标法粒子输运自动建模程序系统,其主要功能是CAD模型与S_N计算模型之间的相互转换。一方面,SNAM可以将通用格式的CAD模型转换成S_N计算模型,另一方面可以以CAD模型的方式显示S_N计算模型中几何及材料等相关信息。本文主要介绍使用SNAM程序对EAST三维模型进行中子学建模,并计算分析了EAST装置纵场线圈的中子注量率与核热沉积。

SNAM氨汽提中压系统的控制与改造

中原大化公司SNAM氨汽提尿素装置是国内第1套从意大利引进的氨汽提尿素生产装置，设计生产能力1760t／d，1990年5月5日投产。

SNAM尿素合成塔常见腐蚀类型及腐蚀控制

叙述了尿素合成介质的腐蚀机理;介绍了SNAM尿素合成塔常见的8种腐蚀类型;从选材、焊接、检验以及生产操作等方面提出了控制SNAM尿素合成塔腐蚀的方法。

Snam氨汽提法尿素装置节能环保技术改造

系统总结了Snam氨汽提法尿素装置节能环保技术改造的方案、措施和效果:①改造中压惰气洗涤器,中压放空气的氨含量由15%降至5%;②改造解吸塔,解吸废水中尿素和氨的含量最低可降至1×10-6;③新增2台氨水槽,完善了密闭排放系统;④改造CO2压缩机组工艺冷凝液回收系统,避免了工艺冷凝就地排放,实现了水资源回收再利用;⑤改造尿素装置界区排放口,保证了外排废水稳定达标排放。

SNAM型尿素合成塔的特点及运行评价

介绍了ＳＮＡＭ型尿素合成塔的特点及运行维修情况，并从腐蚀防护的角度加以剖析总结。

SNAM氨自汽提工艺介绍与分析

ＳＮＡＭ氨自汽提工艺特点的介绍与分析以及对ＳＮＡＭ氨自汽提工艺与水溶液全循环法工艺的比较

SNAM尿素系统开车探讨

SNAM尿素系统开车中,高压系统的升温和高、中压系统升压过程中存在的问题和处理方法;尿素装置与三胺装置联产以后,提前启动高压甲胺泵P102缩短高压系统出料时间,维持系统的水平衡。

SNAM氨汽提尿素工艺氨系统改造

简要介绍ＳＮＡＭ氨汽提尿素工艺氨系统，及其在运行中出现的问题以及改造方法和改造后的效果。

SNAM氨汽提工艺中压吸收塔特性研究

研究中压吸收塔特性 ,分析影响吸收效率的因素 ,优化中压吸收塔操作 。

SNAM氨汽提法尿素合成塔泄漏维护及处理

0 引言 河南能源化工集团中原大化公司化肥事业部尿素装置是从意大利斯那姆（SNAM）公司成套引进的氨汽提法大型尿素生产装置,年产尿素520 kt,1990年5月5日建成投产.该装置的尿素合成塔R101是由我国自行制造的第1台氨汽提工艺大型尿素合成塔,由意大利SNAM公司与中国寰球化学工程公司联合设计,南京化学工业公司化工机械厂制造,其型式与美荷型和法型尿素合成塔基本相同,为筛板塔.2013年3月26日巡检发现,尿素合成塔R101第12层检漏孔有白色结晶物出现,随即上报公司,并召开专题会议分析讨论当前的运行工况.通过对泄漏物和工况参数变化的分析,决定暂时监护运行,2013年5月27日随合成氨装置一起短停处理,期间泄漏点没有明显的变化.现把尿素合成塔漏点运行维护情况进行总结,望对同类型问题有一定的借鉴意义.

Snam尿素高压系统空塔开车过程优化控制措施

针对重庆建峰化工股份有限公司Snam氨汽提尿素工艺高压系统在装置开车过程中操作压力超标、放空阀开度大导致开车过程物料损失,以及系统后端控制困难等问题,通过对原有操作方式进行分析,改进操作过程、优化操作参数,并结合操作实际改进控制方法,实现尿素高压系统优化稳定运行。

S_N方法粒子输运计算程序自动建模关键技术问题研究

在充分调研和分析SN方法粒子输运计算程序自动建模方法的基础上,对建模过程中的模型文件格式识别、属性编辑、空腔处理及自动划分离散网格等关键技术问题进行了研究,并提出了合理可行的解决方法。通过对SNAM程序建模部分功能测试,验证了这些方法的正确性和有效性。

使用微晶振的扫描近场声显微镜研究

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM)。其原理是利用谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了SNAM的检测机理基础上,设计了SNAM系统。

西藏氆氇的地方话语与生产交换——以扎囊县为例

氆氇是藏区手工生产的一种羊毛织物,广泛流通于西藏及其他四省藏区,是藏区服饰及配饰的重要原料。本文通过在西藏扎囊县的田野调研发现,织售者和消费者对于氆氇生产的社会经济认可过程,在很多方面被改变了。较低的人力资本与经济资本并没有阻止他们寻求增收的替代方案,即使具有双重不利因素,他们还是展示了非常重要的企业家创业动力。从而可以看出当代藏区百姓正积极挖掘与利用传统文化和信仰,更热情主动地参与到经济系统中,这些文化不仅成为他们融入商业贸易的动力,更使得整体社会福利增加。因此,地方实践者与其说是传统的承担者,不如说是现代性的代理人。

斯塔米卡邦和斯纳姆尿素装置解吸水解技术的对比与分析

阐述了尿素生产装置工艺冷凝液解吸水解技术原理,从操作条件、设备特点、外送废水质量以及设备投资等方面对斯塔米卡邦和斯纳姆尿素工艺冷凝液解吸水解技术进行了对比和分析,论述了上述2种解吸水解工艺在装置运行中的常见问题及解决措施。