期刊文献+
共找到11篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
高压高速SOI-LIGBT的研制 被引量:2
1
作者 杨健 张正 +1 位作者 李肇基 李学宁 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期366-369,共4页
采用数值模拟分析了双降场层SOI-LIGBT击穿电压与SOI层厚度和隔离SiO2层厚度的关系,分析了阳极短路面积比对器件正向压降、关断时间和正向转折电压的影响,并利用硅直接键合(SDB)技术研制出580V的阳极短路SOI-LIGBT。
关键词 横向绝缘棚 双极晶体管 智能功率IC soi-LIGBT
下载PDF
SOI高温电路——突破硅集成电路的高温应用限制 被引量:1
2
作者 多新中 张苗 +2 位作者 高剑侠 王连卫 林成鲁 《微细加工技术》 1998年第4期36-42,共7页
常规的体硅基础电路通常只能工作在200℃以下,SOI(Silicon-On-In-sulator)电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求,并分析了SOI电路在高温下的电学特性,讨论了为将S... 常规的体硅基础电路通常只能工作在200℃以下,SOI(Silicon-On-In-sulator)电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求,并分析了SOI电路在高温下的电学特性,讨论了为将SOI高温电路商业化,应当解决的一些技术问题。 展开更多
关键词 soi电路 体硅电路 硅集成电路
下载PDF
高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究 被引量:4
3
作者 高颖 姜岩峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期839-848,共10页
针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电... 针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电阻的阻值大小和尺寸。采用ANSYS有限元分析(FEA)对所设计的传感器结构进行仿真,根据仿真结果确定了压敏电阻在膜片上的最佳放置位置。基于标准MEMS制造技术,在SOI基纳米硅薄膜上设计并实现了该压力传感器。实测结果表明,室温下,在0~40 kPa微压测量范围内所设计的传感器检测灵敏度可达0.45 mV/(kPa·V),非线性度达到0.108%F.S。在-40℃~125℃的工作温度范围内,温度稳定性好,零点温度漂移系数与灵敏度温度漂移系数分别为0.0047%F.S与0.089%F.S。所设计的压力传感器及其检测电路,在现代医疗、工业控制等领域具有较大的应用潜力。 展开更多
关键词 soi 纳米硅薄膜 微压阻式压力传感器 检测电路 有限元分析(FEA)
下载PDF
14nm SOI FinFET器件单粒子瞬态的复合双指数电流源模型 被引量:3
4
作者 刘保军 张爽 李闯 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2022年第2期93-98,共6页
单粒子瞬态(SET)的电路仿真通常是注入双指数电流源来模拟,然而,纳米FinFET器件的SET采用单个双指数电流源模拟会带来较大误差。TCAD仿真结果较准确,但耗时较长,为了较为准确地电路仿真SET,提出了一种SET的复合双指数电流源模型。利用T... 单粒子瞬态(SET)的电路仿真通常是注入双指数电流源来模拟,然而,纳米FinFET器件的SET采用单个双指数电流源模拟会带来较大误差。TCAD仿真结果较准确,但耗时较长,为了较为准确地电路仿真SET,提出了一种SET的复合双指数电流源模型。利用TCAD对电学特性校准的14 nm SOI FinFET器件的SET进行仿真,通过分析瞬态电流波形,对比双指数模型特点,提取特征参数,并利用遗传算法对模型参数进行优化处理,得到了关于线性能量转移(LET)的复合双电流源参数的解析模型。利用此复合双指数电流源模型与TCAD得到的瞬态电流波形、峰值和收集电荷量进行对比检验。结果显示,本文模型得到的SET电流波形与TCAD的基本吻合,与TCAD相比,模型的峰值电流的平均误差和最大误差分别为3.00%、5.06%;收集电荷量的平均误差和最大误差分别为4.02%、7.17%。 展开更多
关键词 单粒子瞬态 复合双指数电流源 鳍型场效应晶体管(FinFET) 电路仿真 绝缘体上硅(soi) 收集电荷 高k栅 遗传算法
下载PDF
全耗尽绝缘硅FD-SOI工艺技术的特点分析
5
作者 孔文 《集成电路应用》 2017年第11期38-41,共4页
在先进的IC制造工艺方面,由Intel主导的Fin FET一直大行其道。而最近这几年,SOI,包括FD-SOI和RF-SOI越来越受到人们的关注,特别是随着物联网和5G时代的到来,其技术优势和应用前景也越发地被看好。在应用层面,总的来说,Fin FET的目标市... 在先进的IC制造工艺方面,由Intel主导的Fin FET一直大行其道。而最近这几年,SOI,包括FD-SOI和RF-SOI越来越受到人们的关注,特别是随着物联网和5G时代的到来,其技术优势和应用前景也越发地被看好。在应用层面,总的来说,Fin FET的目标市场是中高端的高性能集成电路,而FD-SOI则是面向中端的、要求低功耗和高性价比的应用。 展开更多
关键词 集成电路制造 全耗尽绝缘硅 RF-soi
下载PDF
小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试 被引量:12
6
作者 赵健 施芹 +3 位作者 夏国明 裘安萍 吴志强 苏岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1927-1933,共7页
设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪... 设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪变噪声且不会引入额外的功耗。其次,使用线性区工作的乘法器取代传统的吉尔伯特单元,通过大幅降低系统总体供电电压来降低功耗。最后,采用复位计数器进行频率数字转换,在所关心的带宽内抑制量化噪声。实验显示:该加速度计在达到±30 g线性量程的前提下,实现了2.5μg/√Hz的分辨率和1μg的零偏不稳定度。此外,为了减小电路自身发热引起的温度漂移,该样机的功耗被控制在3.5mW以内,系统集成后的尺寸约为45mm×30mm×20mm。基于所述技术,系统在体积、功耗和性能方面均有较大的提升。 展开更多
关键词 硅微谐振式加速度计 专用集成电路 soi工艺 真空封装 小型化 低功耗
下载PDF
高性能双极型集成电路晶体管 被引量:1
7
作者 傅兴华 陈军宁 童勤义 《电子科学学刊》 CSCD 1993年第6期631-642,共12页
本文讨论作为集成电路元件的高性能双极型晶体管的现状和有关的工艺问题。
关键词 双极集成电路 异质结 双极型晶体管
下载PDF
硅基集成电路的发展及其面临的挑战 被引量:1
8
作者 方志鸣 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2004年第11期1485-1488,共4页
文章跟踪微电子技术的发展对深亚微米各技术时代ULSI的发展历程中所遇到的一些材料、技术物理问题及研究成果进行综述评论,。这些问题包括Cu/低ε介质互连系统、CMOS器件运作的内在结构及电接触问题、高ε栅极氧化物材料、SOI、SiGe、Si... 文章跟踪微电子技术的发展对深亚微米各技术时代ULSI的发展历程中所遇到的一些材料、技术物理问题及研究成果进行综述评论,。这些问题包括Cu/低ε介质互连系统、CMOS器件运作的内在结构及电接触问题、高ε栅极氧化物材料、SOI、SiGe、SiGe-OI以及大直径硅单晶片等。微电子技术的发展已逼近微电子器件的物理极限,并将逐步发展到它的下一代——纳米电子器件,人类对物质世界的认识也将提高到一个新阶段。 展开更多
关键词 Cu/低ε互连系统 高ε栅极材料 绝缘层上的硅(soi)
下载PDF
28nm体硅工艺组合逻辑电路单粒子瞬态脉冲宽度研究 被引量:1
9
作者 李同德 赵元富 +4 位作者 王亮 舒磊 苑靖爽 黄昊 王维 《现代应用物理》 2022年第1期105-109,共5页
随着工艺的进步,由单粒子瞬态(single event transient,SET)导致的软错误占比越来越高,因此,针对SET的加固十分重要。组合逻辑电路中由辐射导致的脉冲宽度分布特征成为纳米集成电路抗辐射加固设计的主要参考参数之一。设计了一款28 nm... 随着工艺的进步,由单粒子瞬态(single event transient,SET)导致的软错误占比越来越高,因此,针对SET的加固十分重要。组合逻辑电路中由辐射导致的脉冲宽度分布特征成为纳米集成电路抗辐射加固设计的主要参考参数之一。设计了一款28 nm体硅工艺单粒子瞬态脉冲宽度检测电路,包括数字电路中常用的反相器、与非门和或非门3种类型的组合逻辑单元,并考虑了驱动能力和输入个数,电路还包括宽量程和高精度的脉冲宽度检测结构。经单粒子效应试验,获得了单粒子辐射在不同逻辑单元中产生的脉冲宽度。试验结果表明:测试电路中的最大脉冲宽度为234 ps,器件组合形式及版图风格等因素导致脉冲宽度不同。分析了器件叉指结构和P管串联结构等组合形式或版图风格对脉冲宽度的影响。 展开更多
关键词 28nm体硅 组合逻辑电路 辐射试验 单粒子瞬态 脉冲宽度
下载PDF
The Bipolar Field-Effect Transistor:XⅢ. Physical Realizations of the Transistor and Circuits(One-Two-MOS-Gates on Thin-Thick Pure-Impure Base)
10
作者 薩支唐 揭斌斌 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期1-12,共12页
This paper reports the physical realization of the Bipolar Field-Effect Transistor (BiFET) and its onetransistor basic building block circuits. Examples are given for the one and two MOS gates on thin and thick, pur... This paper reports the physical realization of the Bipolar Field-Effect Transistor (BiFET) and its onetransistor basic building block circuits. Examples are given for the one and two MOS gates on thin and thick, pure and impure base, with electron and hole contacts, and the corresponding theoretical current-voltage characteristics previously computed by us, without generation-recombination-trapping-tunneling of electrons and holes. These examples include the one-MOS-gate on semi-infinite thick impure base transistor (the bulk transistor) and the impurethin-base Silicon-on-Insulator (SOI) transistor and the two-MOS-gates on thin base transistors (the FinFET and the Thin Film Transistor TFF). Figures are given with the cross-section views containing the electron and hole concentration and current density distributions and trajectories and the corresponding DC current-voltage characteristics. 展开更多
关键词 bipolar field-effect transistor theory electron and hole surface and volume channels electron and hole contacts bulk soi TFT FinFET one-transistor basic building block circuits
原文传递
一种自动体偏置多阈值电压高温SOI CMOS电路 被引量:1
11
作者 张海鹏 魏同立 +2 位作者 杨国勇 冯耀兰 宋安飞 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第2期175-178,共4页
提出了一种高温 SOI CMOS电路设计方法—自动体偏置多阈值电压 SOI CMOS(简称 ABB-MT- SOI CMOS: Auto- Bulk- Biased Multi- Threshold SOI CMOS)电路。文中主要讨论了 ABB-MT- SOI CMOS电路的结构与工作原理 ,设计与布局等,... 提出了一种高温 SOI CMOS电路设计方法—自动体偏置多阈值电压 SOI CMOS(简称 ABB-MT- SOI CMOS: Auto- Bulk- Biased Multi- Threshold SOI CMOS)电路。文中主要讨论了 ABB-MT- SOI CMOS电路的结构与工作原理 ,设计与布局等,给出了内部电路电压和电流的模拟结果,并简述了该电路的应用前景。 展开更多
关键词 自动体偏置 多阈值电压 高温 soiCMOS电路
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部