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SOI/SIMOX-CMOS器件的研究
1
作者 温梦全 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期109-111,共3页
研究SOI SIMOX(SiliconOnInsulation SeparationbyImplantedOxygen)材料及SIMOX CMOS器件 .高能大剂量 ( 1 70keV ,1 .5× 1 0 18 cm2 )氧离子注入到P型( 1 0 0 )单晶Si衬底 ,再经高温长时间 ( 1 30 0℃ ,6h)退火 ,形成SIMOX结构材... 研究SOI SIMOX(SiliconOnInsulation SeparationbyImplantedOxygen)材料及SIMOX CMOS器件 .高能大剂量 ( 1 70keV ,1 .5× 1 0 18 cm2 )氧离子注入到P型( 1 0 0 )单晶Si衬底 ,再经高温长时间 ( 1 30 0℃ ,6h)退火 ,形成SIMOX结构材料 .经测试 ,SIMOX表层单晶硅膜反型为N型 ,研究表明 ,这是由于在制备SIMOX的工艺中 ,残留在SIMOX表层硅膜内的氧离子起施主作用所致 ,并计算出氧杂质在硅中的施主电离能 ,其值为 0 .1 5eV .采用SIMOX材料研制了MOSFET及CMOS三 3输入端与非门电路 ,并介绍了研制SIMOX CMOS器件的主要工艺 . 展开更多
关键词 半导体材料 半导体器件 与非门电路 soi simox CMOS
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A Patterned SOI LDMOSFET by Masked SIMOX for RF Power Applications
2
作者 李文钧 孙玲玲 刘军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期480-483,共4页
A novel patterned-SOI LDMOSFET with a silicon window beneath the p-type channel was designed and fabricated for RF power amplifier applications. This novel device has good DC and RF characteristics. It has no kink eff... A novel patterned-SOI LDMOSFET with a silicon window beneath the p-type channel was designed and fabricated for RF power amplifier applications. This novel device has good DC and RF characteristics. It has no kink effect on output performance,an off-state breakdown of up to 13V,and fT = 6GHz at DC bias of Vg = Vd = 3.6V.At 1.5GHz,a power-added efficiency (PAE) of 50% is achieved with an output power of up to 27dBm from this device. 展开更多
关键词 patterned-soi LDMOSFET simox RF power amplifier
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SOI/SIMNI和SOI/SIMOX氧化特性的研究
3
作者 林成鲁 李金华 《上海半导体》 1989年第2期4-7,共4页
关键词 soi/SIMNI soi/simox 氧化特性
全文增补中
SOI/SIMOX材料导电类型反型的研究
4
作者 温梦全 周彬 《微电子学》 CAS CSCD 1996年第3期153-155,共3页
采用大剂量氧离子注入(170keV,1.8×1018+/cm2)p型单晶硅,高温退火(1300℃,6h)后形成SOI-SIMOX(SiliconOnInsulator-SeparationbyImplantatl... 采用大剂量氧离子注入(170keV,1.8×1018+/cm2)p型单晶硅,高温退火(1300℃,6h)后形成SOI-SIMOX(SiliconOnInsulator-SeparationbyImplantatlonofOxygen)样品。俄歇电子能谱仪和扩展电阻仪测试表明,该样品表层硅膜的导电类型由p型反型为n型。SIMOX样品的反型是硅中的氧施主所致,由近自由电子的类氦模型计算,SIMOX样品中氧施主的电离能为0.15eV,与早期文献报导的实验值一致。 展开更多
关键词 半导体材料 soi simox 单晶硅 氧注入
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Effects of Si Ion Implantation on the Total-Dose Radiation Properties of SIMOX SOI Materials
5
作者 杨慧 张恩霞 张正选 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期323-326,共4页
To improve the total-dose radiation hardness,silicon-on-insulator (SOI) wafers fabricated by the separation-by-implanted-oxygen (SIMOX) method are modified by Si ion implantation into the buried oxide with a post ... To improve the total-dose radiation hardness,silicon-on-insulator (SOI) wafers fabricated by the separation-by-implanted-oxygen (SIMOX) method are modified by Si ion implantation into the buried oxide with a post anneal. The ID- VG characteristics can be tested with the pseudo-MOSFET method before and after radiation. The results show that a proper Si-ion-implantation method can enhance the total-dose radiation tolerance of the materials. 展开更多
关键词 simox soi Si ion implantation total-dose radiation effect pseudo-MOS
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SOI MOSFET器件X射线总剂量效应研究 被引量:6
6
作者 何玉娟 师谦 +2 位作者 李斌 林丽 张正选 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期357-360,共4页
研究了以10keV X射线为辐照源对注氧隔离(SIMOX)SOI MOSFET器件进行辐照的总剂量效应。采用ARACOR 10keV X射线对埋氧层加固样品与未加固的对比样品在开态和传输门态两种辐照偏置下进行辐照,分析了器件的特性曲线,并计算了SOI MOS器件... 研究了以10keV X射线为辐照源对注氧隔离(SIMOX)SOI MOSFET器件进行辐照的总剂量效应。采用ARACOR 10keV X射线对埋氧层加固样品与未加固的对比样品在开态和传输门态两种辐照偏置下进行辐照,分析了器件的特性曲线,并计算了SOI MOS器件前栅与寄生背栅晶体管辐照前后的阈值电压的漂移。实验结果表明,加固样品的抗辐射性能优越,且不同的辐照偏置对SOI MOSFET器件的辐照效应产生不同的影响。 展开更多
关键词 X射线 总剂量辐射效应 绝缘体上硅 注氧隔离
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Total Dose Radiation-Hard 0.8μm SOI CMOS Transistors and ASIC 被引量:2
7
作者 肖志强 洪根深 +1 位作者 张波 刘忠立 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1750-1754,共5页
This paper presents the total dose radiation performance of 0.8μm SOI CMOS devices fabricated with full dose SIMOX technology. The radiation performance is characterized by threshold voltage shifts and leakage curren... This paper presents the total dose radiation performance of 0.8μm SOI CMOS devices fabricated with full dose SIMOX technology. The radiation performance is characterized by threshold voltage shifts and leakage currents of transistors and standby currents of ASIC as functions of the total dose up to 500krad(Si). The experimental results show that the worst case threshold voltage shifts of front channels are less than 320mV for pMOS transistors under off-gate radiation bias at 1Mrad(Si) and less than 120mV for nMOS transistors under on-gate radiation bias. No significant radiation-induced leakage current is observed in transistors to 1Mrad (Si). The standby currents of ASIC are less than the specification of 5μA over the total dose range of 500krad(Si). 展开更多
关键词 soi simox RADIATION ASIC
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SOI在射频电路中的应用 被引量:2
8
作者 骆苏华 刘卫丽 +5 位作者 张苗 狄增峰 王石冶 宋志棠 孙晓玮 林成鲁 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期67-70,共4页
随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大。 SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性。与CMOS工艺的 兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示... 随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大。 SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性。与CMOS工艺的 兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示巨大优势。文章分析了RF电路 发展中遇到的挑战和SOI在RF电路中的应用优势,综述了SOI RF电路的最新进展。 展开更多
关键词 射频集成电路 高阻soi FD-soi CMOS simox
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薄膜全耗尽SOI门阵列电路设计与实现 被引量:1
9
作者 魏丽琼 张兴 +1 位作者 李映雪 王阳元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期46-49,共4页
在Daisy系统上设计出通用性强、使用方便的SOI门阵列母版及门阵列电路,并采用1.5μmCMOS/SOI工艺在薄膜全耗尽SIMOX材料上得以实现,其中包括多种分频器电路和环形振荡器,环振可工作在2.5V,门延迟时间... 在Daisy系统上设计出通用性强、使用方便的SOI门阵列母版及门阵列电路,并采用1.5μmCMOS/SOI工艺在薄膜全耗尽SIMOX材料上得以实现,其中包括多种分频器电路和环形振荡器,环振可工作在2.5V,门延迟时间在5V时为430ps。 展开更多
关键词 门阵列 薄膜全耗尽 soi simox 薄膜电路 设计
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薄膜全耗尽CMOS/SOI──下一代超高速Si IC主流工艺 被引量:3
10
作者 张兴 王阳元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第10期139-143,共5页
本文较为详细地分析了薄膜全耗尽CMOS/SOI技术的优势和国内外TFCMOS/SOI器件和电路的发展状况,讨论了SOI技术今后发展的方向,得出了全耗尽CMOS/SOI技术将成为下一代超高速硅集成电路主流工艺的结论。
关键词 CMOS/soi 全耗尽 集成电路 工艺
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SIMOX材料顶层硅膜中残余氧的行为 被引量:1
11
作者 李映雪 张兴 +2 位作者 黄如 王阳元 罗晏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1007-1010,共4页
利用光致发光谱 (PL)和二次离子质谱 (SIMS)检测了不同退火条件下处理的 SIMOX材料的顶层硅膜 .实验结果显示 ,SIMOX顶层硅膜的 PL 谱有三个峰 :它们是能量为 1.10 e V的 a峰、能量为 0 .77e V的 b峰和能量为0 .75 e V的 c峰 .与 RBS谱... 利用光致发光谱 (PL)和二次离子质谱 (SIMS)检测了不同退火条件下处理的 SIMOX材料的顶层硅膜 .实验结果显示 ,SIMOX顶层硅膜的 PL 谱有三个峰 :它们是能量为 1.10 e V的 a峰、能量为 0 .77e V的 b峰和能量为0 .75 e V的 c峰 .与 RBS谱相比 ,发现 a峰峰高及 b/ a峰值比是衡量顶层硅膜单晶完整性的标度 .谱峰 b起源于SIMOX材料顶层硅膜中残余氧 ,起施主作用 .SIMS测试结果显示 ,谱峰 c来源于 SIMOX材料顶层硅膜中的碳和氮 . 展开更多
关键词 光致发光谱 残余氧 simox材料 顶层硅膜
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SOINMOSFET沟道热载流子的应力损伤 被引量:1
12
作者 郝跃 朱建纲 +1 位作者 郭林 张正幡 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期486-490,共5页
研究了沟道热载流子应力所引起的 SOI NMOSFET的损伤 .发现在中栅压应力 (Vg≈ Vd/ 2 )和高栅压应力(Vg≈ Vd)条件下 ,器件损伤表现出单一的幂律规律 ;而在低栅压应力 (Vgs≈ Vth)下 ,多特性的退化规律便会表现出来 .同时 ,应力漏电压... 研究了沟道热载流子应力所引起的 SOI NMOSFET的损伤 .发现在中栅压应力 (Vg≈ Vd/ 2 )和高栅压应力(Vg≈ Vd)条件下 ,器件损伤表现出单一的幂律规律 ;而在低栅压应力 (Vgs≈ Vth)下 ,多特性的退化规律便会表现出来 .同时 ,应力漏电压的升高、应力时间的延续都会导致退化特性的改变 .这使预测 SOI器件的寿命变得非常困难 . 展开更多
关键词 soi 热载流子 阈值电压 NMOSFET 应力损伤 场效应晶体管
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环栅CMOS/SOI的X射线总剂量辐射效应研究 被引量:1
13
作者 贺威 张恩霞 +1 位作者 钱聪 张正选 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期314-316,334,共4页
采用硅离子注入工艺对注氧隔离(SIMOX)绝缘体上硅(SOI)材料作出改性,分别在改性材料和标准SIMOXSOI材料上制作部分耗尽环型栅CMOS/SOI器件,并采用10keVX射线对其进行了总剂量辐照试验。实验表明,同样的辐射总剂量条件下,采用改性材料制... 采用硅离子注入工艺对注氧隔离(SIMOX)绝缘体上硅(SOI)材料作出改性,分别在改性材料和标准SIMOXSOI材料上制作部分耗尽环型栅CMOS/SOI器件,并采用10keVX射线对其进行了总剂量辐照试验。实验表明,同样的辐射总剂量条件下,采用改性材料制作的器件与标准SIMOX材料制作的器件相比,阈值电压漂移小得多,亚阈漏电也得到明显改善,说明改性SIMOXSOI材料具有优越的抗总剂量辐射能力。 展开更多
关键词 注氧隔离 绝缘体上硅 总剂量辐射效应
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基于SIMOX技术的高温压力传感器研制 被引量:3
14
作者 赵玉龙 赵立波 蒋庄德 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期149-151,共3页
应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动... 应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量。 展开更多
关键词 氧离子注入 simox技术 高温压力传感器 研制 硅隔离 封装
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SOI技术的发展及其在航天技术领域的应用 被引量:1
15
作者 石涌泉 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1995年第2期1-5,共5页
本文简要地综述了多种技术途径制备SOI材料的发展现状,并着重讨论了SMOX/SOI的潜在优点、发展趋势及其在宇航微电子技术发展中的应用前景.
关键词 soi 航天
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SIMOX硅片埋氧层垂直方向热导率的测量
16
作者 何平 刘理天 +4 位作者 田立林 李志坚 董业明 陈猛 王曦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1063-1066,共4页
提出了一种简单、有效而且准确的测量SOI硅片埋氧层垂直方向热导率的方法 ,并采用这种方法测量了用SIMOX工艺制作的SOI硅片的埋氧层垂直方向的热导率 .测量结果显示至少在 5 5nm以上的尺度上对于SIMOX硅片的埋氧层垂直方向经典的热导率... 提出了一种简单、有效而且准确的测量SOI硅片埋氧层垂直方向热导率的方法 ,并采用这种方法测量了用SIMOX工艺制作的SOI硅片的埋氧层垂直方向的热导率 .测量结果显示至少在 5 5nm以上的尺度上对于SIMOX硅片的埋氧层垂直方向经典的热导率定义仍然成立 ,且为一明显小于普通二氧化硅的热导率 (1 4W/mK)的常数1 0 6W/mK .测量中发现硅 /二氧化硅边界存在边界热阻 ,并测量了该数值 .结果表明 ,边界热阻在SOI器件尤其是薄二氧化硅背栅的双栅器件热阻的计算中不可忽略 . 展开更多
关键词 soi simox 热导率 边界热阻
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总剂量辐射对0.5μm部分耗尽SOI CMOS器件的影响 被引量:2
17
作者 谢儒彬 吴建伟 +2 位作者 洪根深 罗静 陈海波 《电子与封装》 2015年第4期41-45,共5页
介绍了基于SIMOX SOI晶圆的0.5μm PD SOI CMOS器件的抗总剂量辐射性能。通过CMOS晶体管的阈值电压漂移,泄漏电流和32位DSP电路静态电流随总剂量辐射从0增加到500 krad(Si)的变化来表现该工艺技术的抗电离总剂量辐射能力。对于H型(无场... 介绍了基于SIMOX SOI晶圆的0.5μm PD SOI CMOS器件的抗总剂量辐射性能。通过CMOS晶体管的阈值电压漂移,泄漏电流和32位DSP电路静态电流随总剂量辐射从0增加到500 krad(Si)的变化来表现该工艺技术的抗电离总剂量辐射能力。对于H型(无场区边缘)NMOS晶体管,前栅阈值电压漂移小于0.1 V;对于H型PMOS晶体管,前栅阈值电压漂移小于0.15 V;未发现由辐射引起的显著漏电。32位DSP电路在500 krad(Si)范围内,静态电流小于1 m A。通过实验数据表明,在较高剂量辐射条件下,利用该工艺制造的ASIC电路拥有良好的抗总剂量辐射性能。 展开更多
关键词 注氧隔离 绝缘体上硅 辐射加固 总剂量
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SIMOX技术及CMOS/SIMOX器件的研究与发展 被引量:2
18
作者 王阳元 陈南翔 王忠烈 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第5期75-80,共6页
SIMOX技术是最具有发展前途的SOI技术之一。在发展薄硅层、深亚微米OMOS/SOI集成电路中,SIMOX技术占有极其重要的地位。本文综述了SIMOX基片的形成、高质量SIMOX基片的制备方法。阐述了薄硅层OMOS/SIMOX器件的工艺特点以及器件的性能特... SIMOX技术是最具有发展前途的SOI技术之一。在发展薄硅层、深亚微米OMOS/SOI集成电路中,SIMOX技术占有极其重要的地位。本文综述了SIMOX基片的形成、高质量SIMOX基片的制备方法。阐述了薄硅层OMOS/SIMOX器件的工艺特点以及器件的性能特点。本文也就SIMOX技术及GMOS/SIMOX器件的研究现状及发展趋势进行了讨论。 展开更多
关键词 薄硅层 集成电路 离子注入 绝缘体
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重金属杂质对SIMOX片的沾污研究 被引量:1
19
作者 李金华 林成鲁 《微细加工技术》 2001年第3期35-40,共6页
对国内外几种SIMOX硅薄膜样品进行位错密度测量 ,再用紫外光致荧光法(UVF)对其在集成电路工艺流片前后的Fe、Cu、Ni、Mo等重离子沾污作对比测定 ,结合SIMOX/MOS管的漏电特性 ,作了简要的机理分析。结果表明 ,重离子沾污不但在形成SIMOX... 对国内外几种SIMOX硅薄膜样品进行位错密度测量 ,再用紫外光致荧光法(UVF)对其在集成电路工艺流片前后的Fe、Cu、Ni、Mo等重离子沾污作对比测定 ,结合SIMOX/MOS管的漏电特性 ,作了简要的机理分析。结果表明 ,重离子沾污不但在形成SIMOX结构时产生 ,在集成电路工艺流片过程中也会发生 ,并明显影响MOSFET的性能。重金属杂质的沾污程度与SIMOX材料的位错密度密切相关 ,位错密度可能是沾污重金属原子的吸收中心。要降低重金属杂质的沾污首先必须降低SIMOX材料的位错密度。 展开更多
关键词 simox 杂质沾污 重金属杂质 集成电路 薄膜
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SIMOX技术的研究进展
20
作者 林成鲁 周祖尧 +1 位作者 林梓鑫 李金华 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1995年第2期6-9,共4页
注氧隔离的SIMOX技术是获得SOI材料的最先进的技术,本文讨论了SIMOX技术的研究进展,比较了SIMOX和SIMNI两种材料的优缺点。
关键词 离子注入 simox 集成电路
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