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SOI电路的研制
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作者 栾兰 王雪峰 张斌 《微处理机》 2003年第4期13-14,21,共3页
本文介绍了 SOI晶体管的结构和特点 ,并对体硅 CMOS电路和 SOI CMOS电路在工艺及版图设计上进行了比较。
关键词 soi电路 soi晶体管 版图设计 栅极 CMOS
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SOI高温电路——突破硅集成电路的高温应用限制 被引量:2
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作者 多新中 张苗 +2 位作者 高剑侠 王连卫 林成鲁 《微细加工技术》 1998年第4期36-42,共7页
常规的体硅基础电路通常只能工作在200℃以下,SOI(Silicon-On-In-sulator)电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求,并分析了SOI电路在高温下的电学特性,讨论了为将S... 常规的体硅基础电路通常只能工作在200℃以下,SOI(Silicon-On-In-sulator)电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求,并分析了SOI电路在高温下的电学特性,讨论了为将SOI高温电路商业化,应当解决的一些技术问题。 展开更多
关键词 soi电路 体硅 硅集成
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SOI CMOS电路稳态寿命试验后漏电失效分析
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作者 张宇隆 文宇 郑广州 《失效分析与预防》 2022年第3期195-199,208,共6页
针对SOI COMS电路稳态寿命试验后输入漏电流超标开展失效分析,分别对异常掉电致击穿、离子沾污、内部气氛不佳、芯片外表面污染、静电放电(ESD)等因素进行排查分析。定位电路失效原因为ESD防护用具状态不佳,导致试验过程中产生的ESD使... 针对SOI COMS电路稳态寿命试验后输入漏电流超标开展失效分析,分别对异常掉电致击穿、离子沾污、内部气氛不佳、芯片外表面污染、静电放电(ESD)等因素进行排查分析。定位电路失效原因为ESD防护用具状态不佳,导致试验过程中产生的ESD使电路输入端口二极管发生栅氧击穿。通过ESD测试设备模拟和原试验过程模拟2种方式,对失效模式进行复现验证。结果表明:SOI CMOS电路在试验过程中,即使试验员按要求佩戴防静电腕带和绝缘指套,若防静电腕带或绝缘指套状态不佳,仍易引发样品ESD失效;失效模式通常为电路输入端口微安级漏电,且该漏电在高温退火后会有部分恢复。建议在试验过程中选用全金属防静电腕带和防静电专用指套;若选用尼龙编制腕带,须定期更换。 展开更多
关键词 soi CMOS 失效分析 ESD
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Total Dose Radiation-Hard 0.8μm SOI CMOS Transistors and ASIC 被引量:2
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作者 肖志强 洪根深 +1 位作者 张波 刘忠立 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1750-1754,共5页
This paper presents the total dose radiation performance of 0.8μm SOI CMOS devices fabricated with full dose SIMOX technology. The radiation performance is characterized by threshold voltage shifts and leakage curren... This paper presents the total dose radiation performance of 0.8μm SOI CMOS devices fabricated with full dose SIMOX technology. The radiation performance is characterized by threshold voltage shifts and leakage currents of transistors and standby currents of ASIC as functions of the total dose up to 500krad(Si). The experimental results show that the worst case threshold voltage shifts of front channels are less than 320mV for pMOS transistors under off-gate radiation bias at 1Mrad(Si) and less than 120mV for nMOS transistors under on-gate radiation bias. No significant radiation-induced leakage current is observed in transistors to 1Mrad (Si). The standby currents of ASIC are less than the specification of 5μA over the total dose range of 500krad(Si). 展开更多
关键词 soi SIMOX RADIATION ASIC
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SOI材料的发展历史、应用现状与发展新趋势(下) 被引量:2
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作者 陈猛 王一波 《中国集成电路》 2007年第8期44-48,36,共6页
国际SOI市场95%的应用集中在8英寸(1英寸=25.4毫米)和12英寸大尺寸薄膜SOI,其中绝大多数用户为尖端微电子技术的引导者,如IBM、AMD等。目前供应商为法国SOITEC、日本信越(SEH)、日本SUMCO,其中SOITEC对前两家用户供应了几乎全... 国际SOI市场95%的应用集中在8英寸(1英寸=25.4毫米)和12英寸大尺寸薄膜SOI,其中绝大多数用户为尖端微电子技术的引导者,如IBM、AMD等。目前供应商为法国SOITEC、日本信越(SEH)、日本SUMCO,其中SOITEC对前两家用户供应了几乎全部的SOI产品。其主要驱动力来自于高速、低功耗SOI电路, 展开更多
关键词 soi材料 发展历史 应用 薄膜soi 子技术 soi电路 供应商 大尺寸
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