SPM用于超精加工领域的重要性及特殊性

讨论了扫描探针显微镜（ Ｓ Ｐ Ｍ） 作为一种显微工具的优势和不足。介绍了把 Ｓ Ｐ Ｍ 应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于 Ｓ Ｐ Ｍ 的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择。

扫描探针显微镜的研究

介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。

扫描探针显微镜的发展与应用

扫描隧道显微镜和原子力显微镜的发明大大促进了扫描探针显微镜的发展。本文介绍扫描隧道显微镜和原子力显微镜的基本工作原理、发展背景以及以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为基础衍生出来的各种扫描探针显微镜的应用。扫描探针显微镜是一种新的探测仪器，它在三维方向上的分辨率均可以达到原子量级的水平，因此在微电子学、微机械学、计量学、化学和生物医学等领域中有广泛的应用前景。