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题名基于数字信号处理器DSP的SPM研究
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作者
张雪辉
安连祥
王时毅
韩立
左燕生
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机构
河北工业大学
北京中科机电设备公司
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期252-255,共4页
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文摘
本文以TI公司的TMS32 0C5 4xDSP为核心 ,介绍了DSP SPM全数字化系统。文章首先指出目前国产扫描探针显微镜存在智能化及集成度不高、PID参数调节不方便、成本高等不足。进而引入数字信号处理器 (DigitalSignalProcessorDSP) ,介绍了TMS32 0C5 4xDSP的特点及其开发工具 ;然后给出了DSP SPM系统的框图及DSP算法 ;文章最后还简单介绍了利用’5 4X的HPI(HostPortInterface)
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关键词
数字信号处理器
扫描探针显微镜
纳米技术
直接数字集成器
主机接口
DSP算法
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Keywords
DSP(Digital Signal Processor)
spm(Scanning Probe microscope)
nano ST(nano\|Science Technology)
DDS(Direct Digital Synthesizer)
HPI(Host Port Interface)
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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题名二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用
被引量:6
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作者
胡翘
王文伟
黄文浩
李尚志
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机构
中国科学技术大学精密机械系
中国科学技术大学数学系
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1999年第1期137-140,共4页
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文摘
本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果。
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关键词
spm
零位光栅
纳米计量
二维
超高分辨率
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Keywords
scanning probe microscope(spm)
zero position grating
nano metrology
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分类号
O48
[理学—固体物理]
TB921
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名一种高效率的原子操纵方法
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作者
刘宁
杨海强
马自力
高鸿钧
薛增泉
庞世瑾
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机构
中国科学院北京真空物理实验室
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1997年第6期784-786,共3页
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文摘
我们在恒流模式和扫描偏压不变的条件下,通过提高隧道电流成功地在Si(111)7×7表面实现了原子操纵,这种方法具有较高的成功率和较快的操纵速率。其作用机理是:当偏压小于0.5V时,化学相互作用成为针尖和样品之间的主要作用;而当偏压大于0.8V时,场蒸发的影响则成为一个关键因素。
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关键词
扫描隧道显微镜
原子操纵
硅
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Keywords
scanning tunneling microscope,,atomic manipulation,,Si(111)7×7 reconstructionnano lithography by Field Evaporation of Au Tip in The configuration of STM in Atmosphere$$$$Li Zhiyang,Liu Wu,Huang Guangming,Zhang Aidong,Li Xingjiao*(Department of Physics,Huazhong Normal University,Wuhan 430070) (WT5”BZ〗(*Department of Solid Electronics,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074)) Abstract Atom mounds were formed by appling 4V,300ns voltage pulses on Au tip in scanning tunneling microscope (STM) in atomsphere.Each mound measures about 30 nm in diameter and 1 2 nm in height.With the aid of this,we succeed in writing nanometer scale characters.There exists a narrow threshold field and we refer it a field evaporation process.Both positive and negative ions could be field evaporated.The re examination of charge exchange model for the field evaporation in STM and experiments on other metals will be published elsewhere. Keywords STM,,field evaporation,,nano lithography
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分类号
O613.72
[理学—无机化学]
TH-39
[机械工程]
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题名扫描探针显微镜系统的各种组合方式
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作者
杨金涛
徐文东
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机构
中科院上海光学精密机械研究所光存储实验室
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2005年第6期44-47,55,共5页
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文摘
综述了扫描探针显微镜(SPM)系统中显微镜主体部分的各种结构方式,分析其优缺点,对新型SPM的设计提供了参考。
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关键词
组合方式
扫描探针显微镜(spm)
系统
结构方式
主体部分
优缺点
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Keywords
spm nano microscope configuration of microscope
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
N94
[自然科学总论—系统科学]
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