芯片制造高温SPM清洗技术流场分析

随着集成电路技术的不断发展,对芯片清洗工艺的要求也越来越高。高温SPM清洗技术作为一种先进的湿法清洗工艺,在芯片制造中发挥着重要作用。首先介绍了芯片制造中的湿法工艺,重点阐述了高温SPM清洗技术的原理和应用,分析了影响工艺性能的因素,并对高温SPM清洗的流场进行了建模与仿真分析,为高温SPM清洗设备的优化设计提供了理论依据。