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Optically tuned dielectric characteristics of SrTiO_(3)/Si thin film in the terahertz range
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作者 邹斌 李晴晴 +1 位作者 杨玉平 郭海中 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第10期617-623,共7页
Active control of the optical parameters in strontium titanate(SrTiO_(3),STO)thin films is highly desirable for tunable terahertz(THz)integrated devices such as filters,phase modulators,and electro-optical devices.In ... Active control of the optical parameters in strontium titanate(SrTiO_(3),STO)thin films is highly desirable for tunable terahertz(THz)integrated devices such as filters,phase modulators,and electro-optical devices.In this work,optically tuned dielectric parameters of a STO thin film epitaxially grown on a silicon wafer were characterized in the THz region with an 800 nm laser pump-THz detection system.The refractive index,extinction coefficient,and complex dielectric constant of the STO thin film were calculated using thin-film parameter extraction.Owing to carrier transportation and soft-mode oscillation,the above optical parameters changed notably with the pump power of the external laser.This study is of great significance for rapid and non-contact THz phase-modulation technology and may serve as a powerful tool to tune the dielectric properties of the STO thin films. 展开更多
关键词 terahertz spectroscopy optical constants sto/si film
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SrTiO_3金属-绝缘体-半导体结构的介电与界面特性 被引量:5
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作者 马建华 孙璟兰 +3 位作者 孟祥建 林铁 石富文 褚君浩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期1390-1395,共6页
采用金属有机分解法在p型Si衬底上制备了SrTiO3(STO)薄膜 .研究了STO薄膜金属 绝缘体 半导体 (MIS)结构的介电和界面特性 .结果表明 ,STO薄膜显示出优异的介电性能 ,在 10kHz处的介电常数约为 10 5 ,损耗低于 0 0 1,这来源于多晶结... 采用金属有机分解法在p型Si衬底上制备了SrTiO3(STO)薄膜 .研究了STO薄膜金属 绝缘体 半导体 (MIS)结构的介电和界面特性 .结果表明 ,STO薄膜显示出优异的介电性能 ,在 10kHz处的介电常数约为 10 5 ,损耗低于 0 0 1,这来源于多晶结构和良好的结晶性 ;MIS结构中的固定电荷密度Nf 和界面态密度Dit分别约为 1 5× 10 1 2 cm- 2 和(1 4— 3 5 )× 10 1 2 cm- 2 eV- 1 ,这主要与Si STO界面处形成的低介电常数界面层有关 . 展开更多
关键词 半导体结构 界面态密度 si衬底 低介电常数 界面特性 损耗 薄膜 SRTIO3 绝缘体 介电性能
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