1
移动焦平面正反面曝光制备SU-8微结构及PDMS浓度梯度产生器
陈启明
傅仁轩
徐勇军
刘益标
周金运
宋显文
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
2
光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列
张清泽
吴永进
马闯北
石现
孙云娜
丁桂甫
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
0
3
SU-8胶及其在MEMS中的应用
刘景全
蔡炳初
陈迪
朱军
赵小林
杨春生
《微纳电子技术》
CAS
2003
17
4
具有三层结构的SU-8胶V形微电热驱动器
张然
褚金奎
王海祥
陈兆鹏
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
10
5
基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
迟鹏程
张卫平
陈文元
李洪谊
孟坤
崔峰
刘武
吴校生
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2011
14
6
SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究
杜立群
秦江
刘冲
朱神渺
李园园
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
7
基于BP神经网络的SU-8光刻胶工艺参数优选研究
曾永彬
朱荻
明平美
胡洋洋
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2006
7
8
超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响
杜立群
刘亚萍
李永辉
李成斌
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
5
9
SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)
郑津津
陈有梅
周洪军
田杨超
刘刚
李晓光
沈连婠
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
10
后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响
杜立群
朱神渺
喻立川
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
8
11
基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法
刘冲
李苗苗
施维枝
杜立群
王立鼎
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
12
SU-8胶制备三维微电极结构研究
文春明
尤政
温志渝
王晓峰
陈李
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
13
SU-8胶深紫外光刻模拟
冯明
黄庆安
李伟华
周再发
朱真
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
14
聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究
杜立群
王煜
王启佳
陈莉
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
15
基于SU-8的微透镜阵列的设计和制作
刘建林
张斌珍
崔敏
张剑
季长红
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012
4
16
基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备
李刚
李大维
赵清华
菅傲群
王开鹰
胡杰
桑胜波
程再军
孙伟
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
17
微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究
杜立群
朱神渺
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
10
18
UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究
杜立群
朱神渺
刘冲
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2008
5
19
应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器(英文)
张建刚
庞程
方震
赵湛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
20
SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子模拟
杜立群
郭照沛
张晓蕾
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
4