1
|
SU-8胶光刻工艺研究 |
张立国
陈迪
杨帆
李以贵
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《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
|
2002 |
48
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2
|
SU-8胶及其在MEMS中的应用 |
刘景全
蔡炳初
陈迪
朱军
赵小林
杨春生
|
《微纳电子技术》
CAS
|
2003 |
17
|
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3
|
SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究 |
杜立群
秦江
刘冲
朱神渺
李园园
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
6
|
|
4
|
具有三层结构的SU-8胶V形微电热驱动器 |
张然
褚金奎
王海祥
陈兆鹏
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2012 |
10
|
|
5
|
SU-8胶深紫外光刻模拟 |
冯明
黄庆安
李伟华
周再发
朱真
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
5
|
|
6
|
SU-8胶光刻工艺参数优化研究 |
张晔
陈迪
张金娅
倪智萍
朱军
刘景全
|
《微细加工技术》
EI
|
2005 |
7
|
|
7
|
集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作 |
褚金奎
陈兆鹏
张然
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2011 |
3
|
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8
|
SU-8胶微结构的尺寸公差研究 |
秦江
杜立群
刘冲
朱神渺
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2006 |
2
|
|
9
|
模糊神经网络在SU-8胶内应力研究中的应用 |
朱神渺
杜立群
刘冲
喻立川
王治宏
|
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
|
2007 |
1
|
|
10
|
SU-8胶光弹性性能显微测试 |
褚金奎
李双亮
张然
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2016 |
1
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11
|
SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟 |
冯明
黄庆安
李伟华
周再发
朱真
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2006 |
1
|
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12
|
基于SU-8胶转子的非接触压电微马达 |
杨斌
刘景全
周广华
陈迪
张金娅
蔡炳初
|
《微细加工技术》
|
2005 |
3
|
|
13
|
用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究 |
刘景全
朱军
丁桂甫
赵小林
蔡炳初
|
《微细加工技术》
|
2002 |
8
|
|
14
|
SU-8胶与基底结合特性的实验研究 |
刘景全
朱军
蔡炳初
陈迪
丁桂甫
赵小林
杨春生
|
《微细加工技术》
|
2002 |
5
|
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15
|
SU-8胶微结构的显影技术研究 |
郑晓虎
|
《微纳电子技术》
CAS
|
2008 |
1
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|
16
|
SU-8胶曝光衍射效应的模拟及丙三醇补偿方法 |
朱真
黄庆安
李伟华
周再发
冯明
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
0 |
|
17
|
应用三维线算法的SU-8胶光刻过程模拟 |
张鉴
吕明
肖磊
赵强
|
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
|
2012 |
0 |
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18
|
不同波段近紫外光在SU-8胶中穿透深度的研究 |
李雄
徐智谋
易新建
何少伟
刘胜
连昆
|
《微细加工技术》
|
2004 |
2
|
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19
|
玻璃纤维增强SU-8胶技术 |
王惟圣
周文文
丁桂甫
|
《微纳电子技术》
北大核心
|
2020 |
1
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20
|
SU-8胶高温碳化制备微电极研究 |
李大维
李刚
菅傲群
|
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
|
2018 |
0 |
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