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题名一种新型FBAR结构的设计
被引量:1
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作者
张浩
张志杰
翟宇鹏
程皓
吴永盛
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期50-55,61,共7页
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基金
国家自然科学基金(51575499)
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文摘
针对传统FBAR(Film Buck Acoustic Resonator)制备困难、成品率低的问题,提出一种新型FBAR结构(SU8-FBAR)。利用高分子聚合物材料SU8薄膜代替传统FBAR的支撑层和声波限制结构,增加了FBAR器件的机械强度,且易于制备,成品率较高。采用AlN作压电薄膜,分别以Mo、Pt、CNT、Al作为电极,利用Comsol Multiphysics仿真软件对SU8-FBAR的结构参数进行仿真优化。结果显示,当电极材料为CNT、上电极厚度为0.1μm、SU8薄膜厚度为5μm时,SU8-FBAR的综合性能最优:SU8-FBAR的品质因数(Q)值达到1210,几乎为传统FBAR Q值的3倍;机电耦合系数为0.063,高于传统FBAR的0.0425。该器件能检测到极小谐振频率的变化,可用于微生物传感领域。
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关键词
新型薄膜体声波谐振器结构
su8薄膜替代声波限制结构
有限元仿真
易于制备
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Keywords
novel film buck acoustic resonator structure
su8 thin film instead of the acoustic limiting structure
finite element simulation
easy preparation
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
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