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题名二次离子质谱学的新进展
被引量:13
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作者
查良镇
桂东
朱怡峥
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机构
清华大学电子工程系
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第2期129-136,165,共9页
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基金
清华大学研究生院博士学位论文基金资助项目
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文摘
简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领域 ,讨论了其前沿在世纪之交对SIMS提出的挑战 ,介绍了定量分析和仪器的发展现状。有重点地结合一些实例 。
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关键词
二次离子质谱学
微电子学
光电子学
质谱仪器
质谱分析
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Keywords
secondary ion mass spectroscopy,microelectronics,optoelectronics,progress
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分类号
O657.63
[理学—分析化学]
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