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二次离子质谱学的新进展 被引量:13
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作者 查良镇 桂东 朱怡峥 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期129-136,165,共9页
简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领... 简要回顾了二次离子质谱学的形成和发展 ,从原始概念出发概括分析了学科的特点 ,据此评述了其领域的拓宽和现状。结合近 5年来国内外的最新进展 ,以微电子学和光电子学为重点 ,兼顾生物和医学、地质和天体学科、纳米科技和环境监测等领域 ,讨论了其前沿在世纪之交对SIMS提出的挑战 ,介绍了定量分析和仪器的发展现状。有重点地结合一些实例 。 展开更多
关键词 二次离子质谱学 微电子学 光电子学 质谱仪器 质谱分析
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