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膜盒形变量的激光光栅微机自动测试系统
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作者 冯功和 韩德湘 +1 位作者 陈培峰 杨天楚 《光学仪器》 1996年第5期1-5,共5页
描述了一种新型的激光全息光栅微机自动测试系统,设计了相应的硬件、软件及接口,该系统实现了对高灵敏度的弹性元件的实时自动检测,并对测试结果进行了误差分析,系统通过了技术鉴定。
关键词 微机 自动测试仪 膜合形变量 激光 光栅
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