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基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计
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作者 高建利 《电子工业专用设备》 2015年第1期39-42,共4页
为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率。
关键词 半导体设备 自控制 单片清洗 软件设计
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