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基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计
1
作者
高建利
《电子工业专用设备》
2015年第1期39-42,共4页
为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率。
关键词
半导体设备
自控制
单片清洗
软件设计
下载PDF
职称材料
题名
基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计
1
作者
高建利
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2015年第1期39-42,共4页
文摘
为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率。
关键词
半导体设备
自控制
单片清洗
软件设计
Keywords
semiconductor equipment: self-control: single wafer clean: sottware design
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计
高建利
《电子工业专用设备》
2015
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