期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
国外硅单晶质量研究进展 被引量:2
1
作者 王旗 陈振 +1 位作者 浦树德 杨晴初 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期224-230,共7页
文章收集了1986年以来半导体物理国际会议发表的有关硅单晶质量的研究报告和成果。全文共分五大部分。内容包括氧、氢、碳、金属过渡元素等杂质的行为,硅中各种缺陷的产生及其性质,缺陷的消除及控制技术。
关键词 半导体材料 硅单晶 特性测试 微缺陷 杂质
下载PDF
雪崩探测器用硅材料中微缺陷的初步探讨 被引量:2
2
作者 浦树德 王旗 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期35-39,共5页
综述了国内外同行对硅材料中微缺陷的有关研究,叙述了微缺陷(下称MD)对硅雪崩光电探测器(Si-APD)性能的影响和消除措施,介绍了目前已有的检测方法,最后进行了讨论。
关键词 硅单晶 微缺陷 硅材料 雪崩探测器
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部